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공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖는 제 1 레이저 매질; 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행한 Np축, 상기 제 1 레이저 매질의 Np 축에 실질적으로 평행한 Nm축, 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행한 Ng축을 갖도록 배치된 제 2 레이저 매질; 및 상기 제 1 레이저 매질 및 상기 제 2 레이저 매질에 각각 인접하여 배치된 제 1 레이저 다이오드 및 제 2 레이저 다이오드를 포함하는 펨토초 레이저 장치에 있어서,상기 제 1 레이저 매질은, Np축에 평행한 높이(H)가 Nm축에 평행한 폭(W)보다 크거나 작고, 상기 제 2 레이저 매질은, Nm축에 평행한 높이(H)가 Ng축에 평행한 폭(W)보다 작거나 큰 형상을 갖도록 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향에 대해 서로 나란히 배치되는 펨토초 레이저 장치
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제 1항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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3 |
3
제 1항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향(Elaser)이 상기 제 1 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향(Elaser)이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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4
제 1항에 있어서, 상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 레이저 다이오드로부터 발생된 제 1 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 1 레이저 결정의 Nm 축에 대해 실질적으로 평행하도록 하고,상기 제 2 레이저 매질은, 상기 제 2 레이저 다이오드로부터 발생된 제 2 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 대해 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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5
제 1항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 소정의 표면 조도값을 갖는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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6 |
6
제 1항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 표면이 열전도성 물질로 둘러싸인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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7 |
7
제 1항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 냉각유로, 방열판, 공냉을 위한 수단 중 적어도 어느 하나가 형성된 하우징에 의해 둘러싸인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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8 |
8
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질은 각각 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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9
제 8항에 있어서,상기 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 Yb의 도핑 농도는 1 ~ 10 at
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10
제 1항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 각각 상기 레이저 빔의 진행방향에 대하여 직사각형 단면을 갖는 직사각면체 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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11
공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖는 제 1 레이저 매질; 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행한 Ng축, 상기 제 1 레이저 매질의 Np 축에 실질적으로 평행한 Nm축, 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행한 Np축을 갖도록 배치된 제 2 레이저 매질; 및 상기 제 1 레이저 매질 및 상기 제 2 레이저 매질에 각각 인접하여 배치된 제 1레이저 다이오드 및 제 2 레이저 다이오드를 포함하는 펨토초 레이저 장치에 있어서,상기 제 1 레이저 매질은, Np축에 평행한 높이(H)가 Nm축에 평행한 폭(W)보다 작거나 크고, 상기 제 2 레이저 매질은, Nm축에 평행한 높이(H)가 Np축에 평행한 폭(W)보다 크거나 작은 형상을 갖도록 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향에 대해 서로 나란히 배치되는 펨토초 레이저 장치
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제 11항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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13
제 11항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향(Elaser)이 상기 제 1 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향(Elaser)이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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14
제 11항에 있어서, 상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 레이저 다이오드로부터 발생된 제 1 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 1 레이저 결정의 Nm 축에 대해 실질적으로 평행하도록 하고,상기 제 2 레이저 매질은, 상기 제 2 레이저 다이오드로부터 발생된 제 2 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 대해 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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15
제 11항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 소정의 표면 조도값을 갖는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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16
제 11항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 표면이 열전도성 물질로 둘러싸인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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17
제 11항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 냉각유로, 방열판, 공냉을 위한 수단 중 적어도 어느 하나가 형성된 하우징에 의해 둘러싸인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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18
제 11항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질은 각각 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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제 18항에 있어서,상기 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 Yb의 도핑 농도는 1 ~ 10 at
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제 11항에 있어서,상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질은 각각 상기 레이저 빔의 진행방향에 대하여 직사각형 단면을 갖는 직사각면체 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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