| 1 |
1
전자 방출을 위한 에미터 어레이가 동심원 내의 두 직경 내의 범위에 트랙 형태로 형성되거나 또는 일정 직경의 원판 형태로 형성되어 있는 기판;
상기 기판에 대향하여 장착되고, 상기 에미터 어레이에 근접하게 일체로 형성되거나 체결 수단에 의하여 결합된 전자 유도부를 갖는 제1 게이트 전극;
개구부를 가지며 상기 기판과 상기 전자 유도부 사이에 상기 기판과 동일 전압이 인가되는 누설 전류 차단용 전극; 및
양극 타깃을 포함하고,
상기 기판과 상기 제1 게이트 전극 간의 전압 차이에 따라 상기 전자 유도부에 대향한 상기 에미터 어레이 중의 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 상기 누설 전류 차단용 전극과 상기 전자 유도부를 관통하여 상기 양극 타깃 쪽으로 방출시키되,
상기 누설 전류 차단용 전극의 상기 개구부 이내에서 상기 발생된 전자를 방출시켜 상기 전자 유도부의 가장자리 부분으로의 전류 흐름을 방지하며, 상기 에미터 군의 수명이 다한 경우에 상기 기판을 회전 이동시켜 상기 에미터 어레이 중에서 다른 에미터 군을 이용하여 전자를 발생하여 상기 양극 타깃에서 X 선을 발생시키기 위한 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,
상기 기판을 일정 속도로 회전시키면서 상기 에미터 어레이 중에서 연속적으로 선택되는 상기 전자 유도부에 대향된 에미터 군을 통해 전자를 발생시켜 나가는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,
상기 기판을 회전시키기 위한 회전 기구
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,
상기 회전 기구를 이용하여 상기 기판을 회전하여 상기 에미터 어레이 중에서 상기 전자 유도부에 대향한 에미터 군을 선택하는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 6 |
6
제4항에 있어서,
상기 기판은 상기 기판의 중심을 관통하는 체결 수단을 통하여 축에 장착되거나 상기 축에 장착된 테이블 위에 장착된 상기 기판을 회전시키기 위하여, 상기 축을 회전시키거나, 상기 축을 고정한 상태로 상기 축에 중심부가 장착된 상기 기판 또는 테이블을 회전시키는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,
상기 축이나 중심부를 외부 모터의 회전축에 직결시켜 회전시키거나,
상기 축이나 중심부의 주변에 DC 혹은AC 자기장을 발생시키는 고정자 수단을 추가하여, 상기 축이나 중심부가 회전자로서 회전되도록 하는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,
상기 기판 상에서 트랙 형태의 상기 에미터 어레이와 동심원을 이루는 트랙 형태의 제2 에미터 어레이를 포함하고,
상기 제2 에미터 어레이 중의 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 관통하여 방출시키기 위한 제2 전자 유도부를 갖는 제2 게이트 전극을 더 포함하며,
상기 제1 게이트 전극 또는 상기 제2 게이트 전극에 전압 인가에 따라 상기 양극 타깃의 서로 다른 면에서 X 선을 발생하는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,
상기 제1 게이트 전극과 다른 위치에 상기 에미터 어레이 중의 다른 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 관통하여 방출시키기 위한 제2 전자 유도부를 갖는 제2 게이트 전극을 더 포함하며,
상기 제1 게이트 전극 또는 상기 제2 게이트 전극에 전압 인가에 따라 상기 양극 타깃의 서로 다른 면에서 X 선을 발생하는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 12 |
12
제1항에 있어서,
상기 기판 상에서 트랙 형태의 상기 에미터 어레이와 동심원을 이루는 트랙 형태의 제2 에미터 어레이를 포함하고,
상기 제1 게이트 전극에 결합된 기구물을 이용해 슬라이딩 가이드를 따라 상기 전자 유도부를 수평으로 이동시키고,
상기 제2 에미터 어레이 중의 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 이동된 상기 전자 유도부를 관통하여 방출시켜서 상기 양극 타깃으로부터 X 선을 발생하는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 13 |
13
제1항에 있어서,
상기 에미터 어레이는 CNT, 그라핀(graphene), 나노파이버(nano-fiber), 나노로드(nano-rod), 나노니들(nano-needle), 또는 나노핀(nano-pin)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 장치
|
| 14 |
14
전자 방출을 위한 에미터 어레이가 동심원 내의 두 직경 내의 범위에 트랙 형태로 형성되거나 또는 일정 직경의 원판 형태로 형성되어 있는 기판;
상기 기판에 대향하여 장착되고, 상기 에미터 어레이에 근접하게 일체로 형성되거나 체결 수단에 의하여 결합된 전자 유도부를 갖는 제1 게이트 전극; 및
개구부를 가지며 상기 기판과 상기 전자 유도부 사이에 상기 기판과 동일 전압이 인가되는 누설 전류 차단용 전극을 포함하고,
상기 기판과 상기 제1 게이트 전극 간의 전압 차이에 따라 상기 전자 유도부에 대향한 상기 에미터 어레이 중에서 선택되는 에미터 군에서 전자를 발생시켜 상기 누설 전류 차단용 전극과 상기 전자 유도부를 관통하여 양극 타깃 쪽으로 방출시키되,
상기 누설 전류 차단용 전극의 상기 개구부 이내에서 상기 발생된 전자를 방출시켜 상기 전자 유도부의 가장자리 부분으로의 전류 흐름을 방지하며, 상기 에미터 군의 수명이 다한 경우에 상기 기판을 회전 이동시켜 상기 에미터 어레이 중에서 다른 에미터 군을 이용하여 전자를 발생하여 상기 양극 타깃 쪽으로 방출하기 위한 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,
상기 기판을 회전시키기 위한 회전 기구
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자
|
| 16 |
16
삭제
|
| 17 |
17
삭제
|
| 18 |
18
제14항에 있어서,
상기 기판 상에서 트랙 형태의 상기 에미터 어레이와 동심원을 이루는 트랙 형태의 제2 에미터 어레이를 포함하고,
상기 제2 에미터 어레이 중의 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 관통하여 방출시키기 위한 제2 전자 유도부를 갖는 제2 게이트 전극을 더 포함하며,
상기 제1 게이트 전극 또는 상기 제2 게이트 전극에 전압 인가에 따라 선택적으로 해당 트랙의 에미터 군에서 전자를 발생하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자
|
| 19 |
19
제14항에 있어서,
상기 제1 게이트 전극과 다른 위치에 상기 에미터 어레이 중의 다른 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 관통하여 방출시키기 위한 제2 전자 유도부를 갖는 제2 게이트 전극을 더 포함하며,
상기 제1 게이트 전극 또는 상기 제2 게이트 전극에 전압 인가에 따라 선택적으로 해당 에미터 군에서 전자를 발생하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자
|
| 20 |
20
제14항에 있어서,
상기 기판 상에서 트랙 형태의 상기 에미터 어레이와 동심원을 이루는 트랙 형태의 제2 에미터 어레이를 포함하고,
상기 제1 게이트 전극에 결합된 기구물을 이용해 슬라이딩 가이드를 따라 상기 전자 유도부를 수평으로 이동시키고,
상기 제2 에미터 어레이 중의 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 이동된 상기 전자 유도부를 관통하여 방출시키는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자
|
| 21 |
21
동심원 내의 두 직경 내의 범위에 트랙 형태로 형성되거나 또는 일정 직경의 원판 형태로 형성된 에미터 어레이를 포함하는 기판과 게이트 전극 사이에 전압을 인가하여,
상기 에미터 어레이에 근접하게 상기 게이트 전극에 일체로 형성되거나 체결 수단에 의하여 상기 게이트 전극에 결합된 전자 유도부에 대향한 상기 에미터 어레이 중의 일부 에미터 군에서 발생하는 전자를 그리드 형태의 상기 전자 유도부를 관통하여 양극 타깃 쪽으로 방출시켜 X 선을 발생시키되,
개구부를 가지며 상기 기판과 상기 전자 유도부 사이에 구비된 상기 기판과 동일 전압이 인가되는 누설 전류 차단용 전극의 상기 개구부 이내에서 상기 발생된 전자를 방출시켜 상기 전자 유도부의 가장자리 부분으로의 전류 흐름을 방지하며, 상기 에미터 군의 수명이 다한 경우에 상기 기판을 회전 이동시켜 상기 에미터 어레이 중에서 다른 에미터 군을 이용하여 전자를 발생하여 상기 양극 타깃에서 X 선을 발생시키기 위한 것을 특징으로 하는 X 선 발생 방법
|
| 22 |
22
삭제
|
| 23 |
23
제21항에 있어서,
상기 기판을 일정 속도로 회전시키면서 상기 에미터 어레이 중에서 연속적으로 선택되는 상기 전자 유도부에 대향된 에미터 군을 통해 전자를 발생시켜 나가는 것을 특징으로 하는 X 선 발생 방법
|
