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회전축을 중심으로 회전하도록 배치되는 회전축; 일단부는 상기 회전축의 외주면측에 고정되고, 타단부는 상기 회전축의 외측방향으로 연장되며, 연마대상의 표면에 슬라이딩되도록 유연한(flexible) 재질로 형성되는 여러 개의 브러쉬시트들; 및 상기 브러쉬시트들에 부착되며, 입자상 질화붕소(Boron Nitride)를 포함하는 연마재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제1항에서, 상기 브러쉬시트들을 회전시키기 위해서 상기 회전축을 회전시키도록 배치되는 구동부; 상기 브러쉬시트들의 일측을 감싸도록 배치되는 집진하우징; 상기 집진하우징의 내측면에 배치되어 금속성 입자를 끌어당기는 자석; 및 상기 집진하우징과 연결되어 입자상물질을 흡입하도록 배치되는 집진파이프; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제2항에서,상기 회전축과 상기 구동부가 장착되는 무빙바디; 상기 무빙바디를 전후 좌우로 움직이도록 배치되는 전후좌우 테이블; 및 상기 전후좌우 테이블이 배치되는 프레임; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제3항에서,상기 구동부를 통해서 상기 회전축의 회전속도를 제어하고, 상기 전후좌우 테이블의 작동을 통해서 상기 무빙바디의 위치를 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제2항에서,상기 구동부는 외부 전원에 의해서 회전하도록 배치되는 모터; 상기 모터의 출력축에 연결되는 풀리; 상기 풀리에서 상기 회전축으로 회전력을 전달하는 벨트; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제2항에서,상기 입자상 질화붕소의 입자크기는 수 ㎛인 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제4항에서,상기 제어부는, 상기 구동부를 통해서 상기 회전축을 설정된 속도로 회전시키고, 상기 무빙바디를 설정된 루트를 통해서 설정된 속도로 움직이는 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제1항에서,상기 브러쉬시트들 및 상기 질화붕소에 의해서 연마되는 대상은, 동합금으로 형성된 회전체, 평판형태의 판재, 또는 3차원 곡면을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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제1항에서,상기 질화붕소의 입자 크기는 3㎛ 이하이고, 상기 브러쉬롤의 회전속도는 4000rpm이상인 것을 특징으로 하는 미세조도를 확보하는 연마장치
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