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전도성 패턴의 선별적 가열을 위한 마이크로파 공정 장치 및 그 방법(Microwave Processing Apparatus For Selective Heating of Micro-structured Conductive Patterns)

  • 기술번호 : KST2016011733
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로 또는 나노 크기의 전도성 패턴을 갖는 구조체를 열처리하기 위한 마이크로파 공정 장치가 개시된다. 본 발명은 피가열 샘플을 열처리하기 위한 마이크로파 오븐; 상기 마이크로파 오븐에 마이크로파를 출력하기 위한 마그네트론; 상기 마그네트론에 펄스 전압을 인가하기 위한 펄스 전원; 및 상기 펄스 전원을 제어하는 마이크로파 오븐 제어기를 포함하며, 상기 마이크로파 오븐 제어기는 상기 마이크로파 오븐에 100ms이하의 펄스폭을 갖는 마이크로파를 인가하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 주변 기재 또는 매트릭스의 손상 없이 전도성 패턴을 선별적으로 가열할 수 있는 마이크로파 공정 장치를 제공할 수 있게 된다.
Int. CL H05B 6/64 (2006.01.01) H05B 6/80 (2006.01.01) H05B 6/68 (2006.01.01) H05B 6/68 (2006.01.01)
CPC H05B 6/64(2013.01) H05B 6/64(2013.01) H05B 6/64(2013.01) H05B 6/64(2013.01)
출원번호/일자 1020140173643 (2014.12.05)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0069009 (2016.06.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김대호 대한민국 경상남도 김해시
2 설승권 대한민국 서울특별시 노원구
3 장원석 대한민국 서울특별시 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-1185052-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
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번호 청구항
1 1
피가열 샘플을 열처리하기 위한 마이크로파 오븐;상기 마이크로파 오븐에 마이크로파를 출력하기 위한 마그네트론;상기 마그네트론에 펄스 전압을 인가하기 위한 펄스 전원; 및상기 펄스 전원을 제어하는 마이크로파 오븐 제어기를 포함하며, 상기 마이크로파 오븐 제어기는 상기 마이크로파 오븐에 100ms이하의 펄스폭을 갖는 마이크로파를 인가하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 펄스폭은 10ms 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 마이크로파는 단펄스인 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 마이크로파는 소정 주기의 멀티 펄스인 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 피가열 샘플은 전도성 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 마이크로파 오븐은 마이크로파를 집중시키기 위한 마이크로파 유도 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
7 7
전도성 패턴이 형성된 고분자 필름 기재를 제공하는 단계;상기 고분자 필름 기재에 펄스 폭이 100ms이하인 펄스 마이크로파를 조사하여 상기 전도성 패턴을 전도성 가열하는 단계; 및상기 전도성 패턴의 최소한 일부를 상기 고분자 필름 기재에 매몰하는 단계를 포함하는 전도성 패턴 구조체의 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 펄스 파형은 펄스 폭이 10ms이하인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 구조체의 제조 방법
9 9
제7항에 있어서,상기 전도성 패턴은 전도성 나노 패턴인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 구조체의 제조 방법
10 10
제7항에 있어서,상기 전도성 패턴은 카본 나노 패턴인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 구조물의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전기연구원 기본연구사업 물질 선택적 라만센서 기반의 마이크로파 열 나노공정 오븐 개발