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마이크로파 발생기로부터 마이크로파를 도입하여 피가열 샘플을 열처리하기 위한 마이크로파 공정 장치에 있어서,일단이 개방되어 상기 마이크로파 발생기로부터 발생된 마이크로파가 도입되며 타단이 폐쇄되는 도파관; 및상기 도파관 내부의 최소한 하나 이상의 도파관 벽면으로부터 연장되어, 연장된 선단으로 마이크로파를 집중하기 위한 마이크로파 유도 기구를 포함하는 유도체 마이크로파 공정 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 유도 기구의 선단에 마이크로파가 집중되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제1항에 있어서,상기 도파관으로 도입된 마이크로파는 상기 마이크로파 유도 기구와 상기 도파관의 폐쇄된 타단 사이에서 공진되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 유도 기구는 대향하는 벽면으로부터 연장되며 서로 이격되는 한 쌍의 마이크로파 유도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제4항에 있어서,상기 한 쌍의 마이크로파 유도체 사이에 형성되는 채널에 마이크로파가 집중되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제5항에 있어서, 상기 채널 간격은 도파관 폭의 1/2 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제4항에 있어서,상기 마이크로파 유도체의 두께는 상기 도파관 내에서 유입된 상기 마이크로파의 파장의 1/4 이하이고, 마이크로파 유도체의 폭은 도파관 내 마이크로파 파장의 1/2 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제1항에 있어서,상기 도파관 내에 설치되며, 상기 마이크로파 유도 기구를 내부 공간에 포함하도록 이격 배치되는 최소한 둘 이상의 윈도우를 포함하는 마이크로파 공정 장치
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제1항에 있어서,상기 폐쇄된 타단에 슬라이딩 쇼트를 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 유도 기구의 선단에 피가열 샘플을 배치하도록 하는 샘플 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 유도 기구는 도전성 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 공정 장치
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