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유체가 흐르는 채널; 및 상기 채널내로 돌출되어 있고, 상기 채널의 길이 방향으로 경사진 경사부와 상기 채널의 길이 방향과 수직인 수직부를 포함하는 분리부;를 포함하는 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 분리부의 양단은 상기 채널의 측벽과 연결된 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 경사부의 길이 방향이 상기 채널의 길이 방향에 경사진 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 유체는 임계 입자를 포함하고, 상기 경사부와 상기 채널간의 이격 거리는 상기 임계 입자의 지름보다 크고 상기 임계 입자의 지름의 2배이하인 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 경사부의 높이는 상기 경사부와 상기 채널간의 이격 거리보다 큰 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 경사부와 상기 수직부의 높이는 동일한 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 경사부는 상기 채널의 중심축을 기준으로 대칭되는 제1 서브 경사부 및 제2 서브 경사부를 포함하는 미세입자 분리 장치
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제 7항에 있어서,상기 수직부는, 상기 제1 서브 경사부와 상기 채널의 측벽 사이에 배치되는 제1 서브 수직부;상기 제2 서브 경사부와 상기 채널의 측벽 사이에 배치되는 제2 서브 수직부; 상기 제1 서브 경사부와 상기 제2 서브 경사부 사이에 배치되는 제3 서브 수직부; 중 적어도 하나를 포함하는 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 분리부는,제1 경사부와 제1 수직부를 포함하는 제1 분리부;상기 채널의 길이 방향으로 제1 분리부과 이격 배치되고, 제2 경사부와 제2 수직부를 포함하는 제2 분리부;를 포함하는 미세입자 분리 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 경사부와 상기 제2 경사부는 일부 영역이 중첩되고 나머지 영역은 중첩되지 않는 미세입자 분리 장치
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제 9항에 있어서,상기 제1 경사부는 제1 방향으로 경사진 제1 서브 경사부를 포함하고,상기 제2 경사부는 상기 제1 방향으로 경사진 제2 서브 경사부를 포함하는 미세입자 분리 장치
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제 11항에 있어서,상기 제1 서브 경사부에 대한 상기 제2 서브 경사부의 배열 방향은 상기 제1 방향과 부호가 서로 반대인 미세입자 분리 장치
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제 11항에 있어서,상기 제1 서브 경사부와 상기 제2 서브 경사부의 경사 정도 및 길이 중 적어도 하나는 동일한 미세입자 분리 장치
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제 9항에 있어서,상기 제1 분리부가 상기 채널의 일단과 인접하게 배치되는 경우, 상기 채널의 측벽과 접하거나 상기 채널의 중앙에 배치되는 미세입자 분리 장치
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유체가 흐르는 채널; 및 상기 채널내에서 상기 채널의 길이 방향으로 경사지게 돌출되며, 상기 채널의 길이 방향으로 이격 배치되는 복수 개의 경사부;를 포함하고,상기 복수 개의 경사부는 상기 채널의 길이 방향과 다른 제1 방향으로 순차적으로 배열된 미세입자 분리 장치
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제 15항에 있어서, 상기 복수 개의 경사부는 동일한 경사 방향을 갖는 미세입자 분리 장치
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제 16항에 있어서,상기 제1 방향은 상기 경사 방향과 부호가 반대인 미세입자 분리 장치
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제 15항에 있어서,상기 경사부는 상기 채널의 중심축을 기준으로 대칭되는 제1 서브 경사부 및 제2 서브 경사부를 포함하는 미세입자 분리 장치
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제 15항에 있어서,상기 복수 개의 경사부 중 인접하게 배치된 두 개의 경사부는,일부 영역은 중첩되고 나머지 영역은 중첩되지 않는 미세입자 분리 장치
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제 15항에 있어서, 상기 미세 입자 분리 장치는, 상기 복수 개의 경사부 중 적어도 하나와 상기 채널간의 이격 거리에 대한 1/2이상이고 상기 이격 거리보다 작은 지름을 갖는 입자가 유입되면, 상기 입자의 진행 방향을 방향성 있게 제어하는 미세입자 분리 장치
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