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산화아연/산화중석 나노선을 포함한 가스센서의 제조방법 및 이를 이용한 가스 검출 방법(Manufacturing method of sensor having Core-shell structured ZnO/WO3 nano wire and the detection of gas using the same)

  • 기술번호 : KST2016011837
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판; 산화아연(ZnO) 코어/산화중석(WO3) 쉘로 이루어진 코어/쉘 구조의 나노선(nanowire); 및 전극의 순서대로 적층된 수소 검출용 가스센서를 제공한다. 또한 본 발명의 가스센서는 기존의 단순 산화아연 나노선에 비해 향상된 수소 가스 검출 특성을 나타낼 수 있으며, 자외선 조사를 통해 상온에서도 수소 감지 특성을 나타낼 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) G01N 27/12 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020140175757 (2014.12.09)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1659320-0000 (2016.09.19)
공개번호/일자 10-2016-0070237 (2016.06.20) 문서열기
공고번호/일자 (20160926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종무 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 박성훈 대한민국 인천광역시 부평구
3 김수현 대한민국 서울특별시 은평구
4 박수영 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-1196532-73
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0012315-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0192139-31
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0463564-65
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0463450-69
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0546049-89
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0837036-97
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.08.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0837067-02
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2016.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0653983-85
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판상에 배치되는 절연층;산화아연(ZnO) 코어/산화중석(WO3) 쉘로 이루어진 코어/쉘 구조의 나노선(nanowire); 및 전극의 순서대로 적층되고, 상기 산화중석 쉘의 두께는 10 내지 20 nm이고, 수소 가스 검출을 위하여 사용되는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 절연층은 이산화규소(SiO2), 산화알루미륨(Al2O3), 산화탄탈륨(Ta2O5), 산화지르코늄(ZrO2), 이산화하프늄(HfO2), 이산화타이타늄(TiO2), 산화질화규소(SiON) 및 질화규소(Si3N4)로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스센서
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 산화아연 코어는 열 기화 증착법, 상기 산화중석 쉘은 스퍼터링 법으로 수행하여 증착되는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스센서
5 5
제 1항의 수소 검출용 가스센서를 사용하여,산화아연/산화중석 나노선에 자외선을 조사하는 단계; 및상온에서 상기 가스센서를 통해 수소 가스를 검출하는 단계;를 포함하는 수소 검출용 가스센서의 검출 방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 자외선 조사는 0
7 7
제 5항에 있어서, 상기 자외선 조사는 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인하대학교 산학협력단 중점연구소지원사업 그린 생체모방형 임플란터블 전자칩 및 U-생체정보처리 플랫폼 융합기술개발