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자성물질을 적어도 일부 포함한 제 1 전극;비자성물질을 적어도 일부 포함한 제 2 전극;상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 위치하고, 접지단에 연결된 공통 전극;상기 제 1 전극과 제 2 전극에 일단이 연결되고, 상기 공통 전극에 다른 일단이 연결되어 측정을 원하는 주파수 대역의 전원을 공급하는 전원 공급기;상기 제 1 전극과 상기 전원 공급기 사이의 저항값과 상기 제 2 전극과 상기 전원 공급기 사이의 저항값 중 적어도 하나의 저항값을 제어하는 가변 저항; 및양의 단자를 통해 상기 제 1 전극에 연결되고, 음의 단자를 통해 상기 제 2 전극에 연결되어 외부로부터 자기장 인가에 따라 상기 제 1 전극에 의해 형성된 제 1 커패시턴스와 상기 제 2 전극에 의해 형성된 제 2 커패시턴스 간의 차이값을 출력하는 차동 증폭기를 포함하고,상기 외부로부터의 자기장 인가에 의해 상기 제1 전극 및 상기 공통 전극 사이의 간격이 변화하고, 상기 외부로부터의 자기장 인가에 의해 상기 제2 전극 및 상기 공통 전극 사이의 간격은 변화하지 않는 자기장 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극과 상기 공통 전극이 하나의 전기 용량 센서를 형성하고, 상기 제 2 전극과 상기 공통 전극이 다른 하나의 전기 용량 센서를 형성하는 자기장 센서
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제 1 항에 있어서,상기 가변 저항은상기 제 1 전극과 상기 전원 공급기 사이에 위치하여 저항값을 제어하는 제 1 가변 저항 소자; 및상기 제 2 전극과 상기 전원 공급기 사이에 위치하여 저항값을 제어하는 제 2 가변 저항 소자 중 적어도 하나를 포함하는 자기장 센서
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 가변 저항 소자와 상기 제 2 가변 저항 소자는 저항 제어 신호에 응답하여 상기 차이값을 제로(0) 또는 최소값으로 조절하는 저항 변화값을 출력하는 자기장 센서
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5
제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극, 및 상기 공통 전극을 제로 가우스 챔버 내부에 포함시켜 자기장 측정을 위한 평형 상태를 측정하고, 상기 평형 상태에 따른 자기장 변화를 기준으로 인가되는 자기장에 따라 상기 차이값을 출력하고,상기 평형 상태는 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극, 및 상기 공통 전극으로부터 형성된 상기 차이값을 제로 또는 최소값이 되도록 설정된 상태인 자기장 센서
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6
제 1 항에 있어서,상기 자기장은 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극의 표면을 기준으로 수직한 방향으로 인가되는 자기장 센서
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7
자기장 변화에 따른 커패시턴스를 측정하는 적어도 하나의 자기장 센서; 및상기 커패시턴스를 수신하고, 상기 커패시턴스에 근거하여 상기 자기장을 측정하는 신호 처리기를 포함하고,상기 적어도 하나의 자기장 센서 각각은자성물질을 적어도 일부 포함한 제 1 전극;비자성물질을 적어도 일부 포함한 제 2 전극;상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 위치하고, 접지단에 연결된 공통 전극;상기 제 1 전극과 제 2 전극에 일단이 연결되고, 상기 공통 전극에 다른 일단이 연결되어 측정을 원하는 주파수 대역의 전원을 공급하는 전원 공급기;상기 제 1 전극과 상기 전원 공급기 사이의 저항값과 상기 제 2 전극과 상기 전원 공급기 사이의 저항값 중 적어도 하나의 저항값을 제어하는 가변 저항; 및양의 단자를 통해 상기 제 1 전극에 연결되고, 음의 단자를 통해 상기 제 2 전극에 연결되어 외부로부터 자기장 인가에 따라 상기 제 1 전극에 의해 형성된 제 1 커패시턴스와 상기 제 2 전극에 의해 형성된 제 2 커패시턴스 간의 차이값을 출력하는 차동 증폭기를 포함하고,상기 외부로부터의 자기장 인가에 의해 상기 제1 전극 및 상기 공통 전극 사이의 간격이 변화하고, 상기 외부로부터의 자기장 인가에 의해 상기 제2 전극 및 상기 공통 전극 사이의 간격은 변화하지 않는 자기장 측정 장치
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8
제 7 항에 있어서,상기 신호 처리기는상기 차이값을 수신하고, 수신된 차이값의 이득을 보상하는 이득 보상기;상기 차이값에 대응되는 자기장 크기가 저장된 자기장 측정 테이블을 저장하는 메모리;상기 이득이 보상된 차이값에 대응되는 자기장 세기를 상기 자기장 측정 테이블에 근거하여 획득하고, 상기 획득된 자기장 세기를 출력하는 제어기; 및상기 출력되는 자기장 크기를 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 자기장 측정 장치
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9
제 8 항에 있어서,상기 제어기는상기 가변 저항의 저항값을 상기 차이값을 제로 또는 최소가 되도록 제어 하는 저항 제어 신호를 출력하면, 상기 저항 제어 신호와, 상기 저항 제어 신호에 따라 제어되는 저항값 중 하나에 근거하여 상기 자기장을 측정하는 자기장 측정 장치
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10
제 7 항에 있어서,상기 제 1 전극과 상기 공통 전극이 하나의 전기 용량 센서를 형성하고, 상기 제 2 전극과 상기 공통 전극이 다른 하나의 전기 용량 센서를 형성하는 자기장 측정 장치
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11
제 7 항에 있어서,상기 가변 저항은상기 제 1 전극과 상기 전원 공급기 사이에 위치하여 저항값을 제어하는 제 1 가변 저항 소자; 및상기 제 2 전극과 상기 전원 공급기 사이에 위치하여 저항값을 제어하는 제 2 가변 저항 소자 중 적어도 하나를 포함하는 자기장 측정 장치
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12
제 11 항에 있어서,상기 제 1 가변 저항 소자와 상기 제 2 가변 저항 소자는 저항 제어 신호에 응답하여 상기 자기장 측정을 위해 상기 차이값을 제로(0) 또는 최소값으로 조절하는 저항 변화값을 출력하는 자기장 측정 장치
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13
제 7 항에 있어서,상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극, 및 상기 공통 전극을 제로 가우스 챔버 내부에 포함시켜 상기 자기장 측정을 위한 평형 상태를 측정하고, 상기 평형 상태에 따른 자기장 변화를 기준으로 인가되는 자기장에 따라 상기 차이값을 출력하고,상기 평형 상태는 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극, 및 상기 공통 전극으로부터 형성된 상기 차이값을 제로 또는 최소값이 되도록 설정된 상태인 자기장 측정 장치
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14
제 7 항에 있어서,상기 자기장은 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극의 표면을 기준으로 수직한 방향으로 인가되는 자기장 측정 장치
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자성물질을 적어도 일부 포함한 제 1 전극;비자성물질을 적어도 일부 포함한 제 2 전극;상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 위치하고, 접지단에 연결된 공통 전극;상기 제 1 전극과 상기 공통 전극에 연결되어 측정을 원하는 주파수 대역의 제 1 전원을 공급하는 제 1 전원 공급기;상기 제 2 전극과 상기 공통 전극에 연결되어 측정을 원하는 주파수 대역의 제 2 전원을 공급하는 제 2 전원 공급기; 및양의 단자를 통해 상기 제 1 전극에 연결되고, 음의 단자를 통해 상기 제 2 전극에 연결되어 외부로부터 자기장 인가에 따라 상기 제 1 전극에 의해 형성된 제 1 커패시턴스와 상기 제 2 전극에 의해 형성된 제 2 커패시턴스 간의 차이값을 출력하는 차동 증폭기를 포함하고,상기 외부로부터의 자기장 인가에 의해 상기 제1 전극 및 상기 공통 전극 사이의 간격이 변화하고, 상기 외부로부터의 자기장 인가에 의해 상기 제2 전극 및 상기 공통 전극 사이의 간격은 변화하지 않는 자기장 센서
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