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금속나노와이어 전극제조방법(Manufacturing method of Metal nanowire)

  • 기술번호 : KST2016012617
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 보다 간단하고 저비용으로 신뢰성 높은 금속나노와이어 전극을 제조할 수 있는 금속나노와이어 전극제조방법이 제공된다. 본 발명에 따른 금속나노와이어 전극제조방법에서는, 기판 상에 금속나노와이어 층을 형성하고, 금속나노와이어 층의 상측에 마스크를 위치시켜, 금속나노와이어 층에 대하여 산소 플라즈마 처리를 하여 금속나노와이어 전극을 제조한다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020140187050 (2014.12.23)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0077459 (2016.07.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성현 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 신권우 대한민국 경기도 화성시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-1250147-54
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 금속나노와이어 층을 형성하는 단계;상기 금속나노와이어 층의 상측에 마스크를 위치시키는 단계; 및상기 금속나노와이어 층에 대하여 산소 플라즈마 처리를 수행하는 단계;를 포함하는 금속나노와이어 전극제조방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 마스크를 위치시키는 단계는, 상기 금속나노와이어 층 상에 포토레지스트 층을 형성하는 단계; 및 상기 포토레지스트 층을 노광하고 현상하여 마스크를 형성하는 단계;를 포함하는 금속나노와이어 전극제조방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 마스크를 위치시키는 단계는,메탈마스크를 상기 금속나노와이어 층에 부착시키는 단계;를 포함하는 금속나노와이어 전극제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 마스크를 위치시키는 단계 후에, 상기 금속나노와이어 층 상에 투명반도체층 및 절연층 중 적어도 어느 하나를 형성하는 단계;를 더 포함하는 금속나노와이어 전극제조방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 산소 플라즈마 처리를 수행하는 단계 후에, 상기 금속나노와이어 층 상에 투명반도체층 및 절연층 중 적어도 어느 하나를 형성하는 단계;를 더 포함하는 금속나노와이어 전극제조방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 산소 플라즈마는, 아르곤 플라즈마를 더 포함하는 것인 금속나노와이어 전극제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 전자부품연구원 (산업부)기술료지원사업 (RCMS)에칭공정이 필요없는 신개념 은나노와이어 투명전극 패턴 형성 기술개발