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다성분계 복합 DLC 제조방법(multi-composited DLC coating method)

  • 기술번호 : KST2016012664
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다성분계 복합 DLC 제조방법에 관한 것으로서, 챔버 내에 마련된 제1스테이지와, 제1스테이지와 이격되어 대향되게 설치되며 스퍼터링 타겟체가 장착되는 제2스테이지의 중앙에 마련된 제1자석과, 제1자석과 이격되되 제1자석과 극성이 다른 제2자석이 형성된 자력발생부와, 제2스테이지에 바이어스를 인가하는 바이어스 인가부 및 챔버 내에 아르곤가스를 공급하는 가스 공급부를 갖는 스퍼터링 장비에 의해 제1스테이지에 장착된 기판 위에 박막을 형성하되, 스퍼터링 타겟체는 제1자석과 제2자석의 사이 영역에 대향되는 부분에 첨가물질로 된 첨가물질층이 형성되어 있고, 첨가물질층 이외의 부분은 카본소재로 형성되어 있다. 이러한 다성분계 복합 DLC 제조방법에 의하면, 경도, 밀착력, 적외선 투과율 등 원하는 물리적 특성을 조정하는 첨가물질이 카본에 포함된 박막을 제조할 수 있는 장점을 제공한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01)
출원번호/일자 1020140187226 (2014.12.23)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1651256-0000 (2016.08.19)
공개번호/일자 10-2016-0077497 (2016.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20160826) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장영준 대한민국 광주광역시 광산구
2 최주현 미국 광주광역시 광산구
3 김정호 대한민국 광주광역시 광산구
4 김혜정 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-1251112-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0076966-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0323765-32
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0640546-06
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.07.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0640547-41
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0584079-28
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
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챔버와, 상기 챔버 내에 마련된 제1스테이지와, 상기 제1스테이지와 이격되어 대향되게 설치되며 스퍼터링 타겟체가 장착되는 제2스테이지와, 상기 제2스테이지의 중앙에 마련된 제1자석과, 상기 제1자석과 이격되되 상기 제1자석과 극성이 다른 제2자석이 형성된 자력발생부와, 상기 제2스테이지에 바이어스를 인가하는 바이어스 인가부 및 상기 챔버내에 아르곤가스를 공급하는 가스 공급부를 갖는 스퍼터링 장비에 의해 상기 제1스테이지에 장착된 기판위에 박막을 형성하는 방법에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟체는 상기 제1자석과 제2자석의 사이영역에 대향되는 부분에 첨가물질로 된 첨가물질층이 형성되어 있고, 상기 첨가물질층 이외의 부분은 카본소재로 형성되어 있고,상기 기판은 칼코지나이드(Chalcogenide)로 형성된 것이 적용되고, 상기 첨가물질층은 Se, Sb, Ge, ZnS, ZnSe 중 어느 하나의 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 다성분계 복합 DLC 제조방법
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제4항에 있어서, 스퍼터링 타겟체의 직경은 3인치이고, 상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지의 이격거리는 9 내지 11인치인 것을 특징으로 하는 다성분계 복합 DLC 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 제2스테이지에 인가되는 바이어스 전압은 -150 내지 -200V인 것을 특징으로 하는 다성분계 복합 DLC 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟체의 중앙을 중심으로 상기 첨가물질층은 동일 이격 거리에 원궤도 상에 상호 이격되게 복수개 형성된 것을 특징으로 하는 다성분계 복합 DLC 제조방법
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