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나노/마이크로 구조체 제조 장치 및 그 제조 방법(APPARATUS FOR MANUFACTURING NANO/MICRO STRUCTURE AND METHOD THEREOF)

  • 기술번호 : KST2016012669
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노/마이크로 구조체 제조 장치가 제공된다. 나노/마이크로 구조체 제조 장치는, 유체를 토출하는 노즐, 노즐에 전압을 인가하여 유체를 토출시키는 전압 인가부를 포함하고 노즐은, 노즐의 일단에, 노즐에 인가된 전압에 의하여 상기 유체가 토출되는 사선부를 포함하고, 사선부의 단부면 및 내벽면 중 적어도 일면은 친수성을 가진다. 이로써, 미세 패턴 제작 및 구동 문턱 전압을 최소화할 수 있다.
Int. CL B41J 2/06 (2006.01) B05C 5/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01)
출원번호/일자 1020160078055 (2016.06.22)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0078316 (2016.07.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2014-0058225 (2014.05.15)
관련 출원번호 1020140058225
심사청구여부/일자 Y (2016.06.22)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영준 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 오제훈 대한민국 경기 안양시 동안구
3 장신 대한민국 경기 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2016.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0604113-17
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0526500-12
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0907450-51
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-1017197-41
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-1132962-83
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1132979-58
7 등록결정서
Decision to grant
2017.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0049723-10
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번호 청구항
1 1
유체를 토출하는 노즐; 및상기 노즐에 전압을 인가하여 상기 유체를 토출시키는 전압 인가부;를 포함하되,상기 노즐은, 상기 노즐의 일단에, 상기 노즐에 인가된 전압에 의하여 상기 유체가 토출되는 사선부를 포함하고, 상기 사선부를 이루는 사선 하단에 위치한 상기 사선부의 단부면과 상기 사선부를 이루는 사선 하단에 위치한 상기 사선부의 외벽면을 경계로 상기 단부면은 친수성을 가지고, 상기 외벽면은 소수성을 가지며, 상기 유체는 토출 시에 상기 소수성을 가지는 외벽면에 의하여 상기 친수성을 가지는 단부면에서 상기 외벽면으로의 진입이 차단되며,상기 사선부를 이루는 사선 하단에 위치한 내벽면도 친수성을 가지며,상기 외벽면이 소수성 처리 된 후, 상기 단부면 및 내벽면이 친수성 처리된 나노/마이크로 구조체 제조 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 사선부는 상기 노즐의 길이 방향과 같은 방향으로 연장하는 제1 측과 제2 측을 포함하고,상기 제1 측과 상기 제2 측은 상기 길이 방향으로 길이가 상이한 나노/마이크로 구조체 제조 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 사선부는 상기 노즐의 길이 방향에 대하여 19도의 경사각을 가지는나노/마이크로 구조체 제조 장치
4 4
제1 항에 있어서,상기 사선부를 통하여 토출된 유체는, 0
5 5
제1 항에 있어서,상기 사선부를 통하여 토출된 유체는, 상기 노즐의 내경 대비, 0
6 6
제1 항에 있어서,상기 사선부는, UV/O3, 플라즈마, 레이저, 스핀 코팅 및 SAM (Self Aligned Monolayer) 중 적어도 하나의 방법을 통하여 친수성을 가지는 나노/마이크로 구조체 제조 장치
7 7
제1 항에 있어서,상기 사선부의 외벽면은, UV/O3, 플라즈마, 레이저, 스핀 코팅 및 SAM (Self Aligned Monolayer) 중 적어도 하나의 방법을 통하여 소수성을 가지는 나노/마이크로 구조체 제조 장치
8 8
제1 항에 있어서,상기 유체가 토출되는 방향에 이격하여 위치하는 스테이지를 더 포함하고, 상기 노즐에 인가된 전압과 상기 스테이지에 인가된 전압의 차에 의하여 상기 유체가 토출되는 나노/마이크로 구조체 제조 장치
9 9
유체를 토출하는 노즐; 및상기 노즐에 전압을 인가하여 상기 유체를 토출시키는 전압 인가부;를 포함하되,상기 노즐은, 상기 노즐의 일단에, 상기 노즐에 인가된 전압에 의하여 상기 유체가 토출되는 사선부를 포함하고, 상기 사선부를 이루는 사선 하단에 위치한 상기 사선부의 내벽면과 상기 사선부를 이루는 사선 하단에 위치한 상기 사선부의 단부면을 경계로 상기 내벽면은 친수성을 가지고, 상기 단부면은 소수성을 가지며, 상기 유체는 토출 시에 상기 소수성을 가지는 단부면에 의하여 상기 친수성을 가지는 내벽면에서 테일러 콘이 형성되며,상기 단부면이 소수성 처리 된 후, 상기 내벽면이 친수성 처리된 나노/마이크로 구조체 제조 장치
10 10
전압 차에 의하여 유체를 토출하는 나노/마이크로 구조체 제조 장치의 제조 방법에 있어서,사선부를 포함하는 노즐을 준비하는 단계;상기 사선부를 이루는 사선 하단에 위치한 상기 사선부의 외벽면을 소수성 처리하는 단계; 및상기 소수성 처리 단계 이후, 상기 사선부를 이루는 사선 하단에 위치한 상기 사선부의 단부면 및 내벽면을 친수성 처리하는 단계를 포함하되,상기 유체는 토출 시에 상기 소수성을 가지는 외벽면에 의하여 상기 친수성을 가지는 단부면에서 상기 외벽면으로의 진입이 차단되는 나노/마이크로 구조체 제조 장치의 제조 방법
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1 KR1020150132645 KR 대한민국 FAMILY

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