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지지부에 탄성링크로 운동단이 연결되고, 상기 운동단에 탄성링크로 최종단이 연결되어, 상기 운동단과 최종단은 서로 직교하는 방향으로 이동 가능하도록 형성되며, 상기 운동단과 지지부 사이에 압전 액추에이터가 개재되는 한 쌍의 압전 구동부를 포함하여 이루어지며,상기 한 쌍의 압전 구동부는 이격되어 적층되며 평면상에서 서로 직교하도록 배치되고, 상기 한 쌍의 압전 구동부들의 최종단에는 회전관절의 양단이 결합되어 압전구동 메커니즘을 형성하며,상기 압전구동 메커니즘은 수직평면상에 배치되며, 상기 회전관절을 기준으로 상기 탄성링크들이 상측에 배치되고 상기 압전 액추에이터들이 하측에 배치되는 것을 특징으로 하는 압전구동 메커니즘
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제1항에 있어서,상기 한 쌍의 압전 구동부는 제1압전 구동부 및 제2압전 구동부로 형성되며,상기 제1압전 구동부는,제1지지부; 상기 제1지지부에 제1-1탄성링크로 연결되어 x축 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 제1운동단; 상기 제1지지부와 제1운동단 사이에 개재되어 상기 제1운동단을 x축 방향으로 구동시키는 제1압전 액추에이터; 및 상기 제1운동단에 제1-2탄성링크로 연결되어 y축 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 제1최종단; 을 포함하며,상기 제2압전 구동부는,제2지지부; 상기 제2지지부에 제2-1탄성링크로 연결되어 y축 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 제2운동단; 상기 제2지지부와 제2운동단 사이에 개재되어 상기 제2운동단을 y축 방향으로 구동시키는 제2압전 액추에이터; 및 상기 제2운동단에 제2-2탄성링크로 연결되어 x축 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 제2최종단; 을 포함하며,상기 제1압전 구동부의 제1최종단과 제2압전 구동부의 제2최종단에 상기 회전관절의 양단이 결합되는 것을 특징으로 하는 압전구동 메커니즘
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제1항에 있어서,상기 압전 액추에이터들은 수직방향에 대해 45도 회전된 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는 압전구동 메커니즘
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제1항에 있어서,상기 한 쌍의 압전 구동부의 최종단에는 각각 회전관절 결합공이 형성되어 상기 회전관절의 양단이 회전관절 결합공에 삽입되며,상기 회전관절 결합공들은 서로 중심이 일치하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 압전구동 메커니즘
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제1항에 있어서,상기 지지부는 "ㄱ"자형으로 형성되어 그 일측 내측면에 탄성링크가 연결되고 타측 내측면에 압전 액추에이터가 결합되는 것을 특징으로 하는 압전구동 메커니즘
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제1항에 있어서,상기 운동단은 내부에 공간이 형성되어, 상기 내부 공간에 최종단이 배치되고 상기 운동단의 내측면과 최종단의 외측면이 탄성링크에 의해 연결되는 것을 특징을 하는 압전구동 메커니즘
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제1항에 있어서,상기 압전 구동부들의 지지부가 각각 고정되도록 일측면에 2개의 돌출부가 각각 다른 두께로 돌출 형성되는 고정판을 더 포함하여 이루어져,상기 압전 구동부들이 적층된 상태로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 압전구동 메커니즘
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중심을 기준으로 서로 120도 간격으로 이격되어 3개가 배치되는 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 압전구동 메커니즘;상기 압전구동 메커니즘들의 회전관절에 결합되며, 상기 3개의 압전구동 메커니즘들 사이에 배치되는 플랫폼; 및상기 압전구동 메커니즘들의 지지부가 고정되며, 수직으로 배치되는 베이스;를 포함하여 이루어져,상기 압전구동 메커니즘들의 작동에 의해 상기 플랫폼이 수직평면상에서 병진운동 및 회전운동 되는 것을 특징으로 하는 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지
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제8항에 있어서,상기 3개의 압전구동 메커니즘은,높이방향 상측에 서로 이격되어 2개의 압전구동 메커니즘이 배치되되, 상기 2개의 압전구동 메커니즘은 서로 마주보는 방향으로 아래쪽에 적층된 압전 구동부가 위치하도록 배치되며,상기 2개의 압전구동 메커니즘의 사이의 하측에 이격되어 1개의 압전구동 메커니즘이 배치되는 것을 특징으로 하는 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지
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