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타겟 플레이트, 상기 타켓 플레이트의 일면에 형성된 유기 매트릭스, 및상기 유기 매트릭스가 형성된 타겟 플레이트 위에 형성되고, 상기 유기 매트릭스 상에 형성된 파릴렌 박막을 포함하며,레이저 조사에 의해 형성된 상기 유기 매트릭스의 성분은 상기 파릴렌 박막을 통과하지 못하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1에 있어서, 상기 시료 플레이트는 상기 파릴렌 박막 위에 형성된 분석 대상물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1에 있어서, 또한, 상기 파릴렌 박막은 파릴렌-N 박막인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 파릴렌 박막은 10nm 내지 100nm의 두께로 증착되는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시료 플레이트는 말디톱 질량분석기용 시료 플레이트인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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청구항 2에 있어서, 상기 분석 대상물은 100Da 내지 1,000Da의 분자량을 갖는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트
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타켓 플레이트의 일면에 유기 매트릭스를 형성하는 단계; 및 상기 유기 매트릭스가 형성된 타겟 플레이트 위에 형성되고, 상기 유기 매트릭스 상에 파릴렌 박막을 형성하는 단계를 포함하며,레이저 조사에 의해 형성된 상기 유기 매트릭스의 성분은 상기 파릴렌 박막을 통과하지 못하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 7에 있어서, 상기 방법은 상기 파릴렌 박막 위에 형성된 분석 대상물 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 7에 있어서, 상기 파릴렌 박막은 파릴렌-N 박막인 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 7에 있어서, 상기 파릴렌 박막은 10nm 내지 100nm의 두께로 증착되는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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청구항 7 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 상기 파릴렌 박막을 형성하는 단계는: 파릴렌 다이머를 파릴렌을 기화시키는 제 1 단계, 상기 기화된 파릴레 다이머를 열분해하여 중간 생성물을 형성하는 제 2 단계, 및 상기 중간생성물을 증착 챔버 내부로 도입하여, 유기 매트릭스가 형성된 타겟 플레이트 위에 파릴렌 박막을 증착시키는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 플레이트의 제조방법
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