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베이스; 및상기 베이스에 제공되는 스탬핑 어레이가 포함되고, 상기 스탬핑 어레이에는 상기 베이스로부터 돌출되는 적어도 두 개의 점착성 재질의 전사돌기가 서로 소정의 간격으로 이격되어 제공되는 마이크로 디바이스의 전사장치
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 점착성 재질의 전사돌기 중의 적어도 하나의 전사돌기는, 상기 베이스에 대한 수직선을 기준으로 할 때 어느 방향으로 비스듬히 경사지게 돌출되는 마이크로 디바이스의 전사장치
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제 1 항에 있어서, 적어도 두 개의 점착성 재질의 전사돌기 중의 적어도 하나의 전사돌기는 상기 베이스의 어느 수평면을 따르는 일방향으로 길게 제공되는 마이크로 디바이스의 전사장치
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 점착성 재질의 두 개의 전사돌기는 상기 베이스의 수평면에서 어느 일방향으로 모두가 같은 간격으로 제공되는 마이크로 디바이스의 전사장치
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 점착성 재질의 전사돌기는 상기 베이스의 수평면에서 가로방향 및 세로방향으로 일정간격으로 제공되는 마이크로 디바이스의 전사장치
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제 1 항에 있어서, 적어도 두 개의 점착성 재질의 전사돌기 중의 적어도 하나의 전사돌기는 탄성중합체를 재질로 하는 마이크로 디바이스의 전사장치
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제 1 항에 있어서, 적어도 두 개의 점착성 재질의 전사돌기 중의 적어도 하나의 전사돌기에는, 상기 베이스로부터 연장되고, 상기 베이스에서 멀어질수록 폭이 좁아지는 바디부; 및상기 바디부의 끝단에 라운드지는 형상으로 제공되는 끝단부가 포함되는 마이크로 디바이스의 전사장치
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점착력이 있는 점착성 재질의 전사돌기를 마이크로 디바이스에 접촉하여 하중을 가하여 상기 마이크로 디바이스를 전사장치에 접착시키는 것;상기 전사장치를 제 1 방향으로 이동시켜서, 상기 마이크로 디바이스를 원래 위치에서 분리하는 것; 상기 마이크로 디바이스를 피전사기판에 접촉시키는 것; 및상기 전사장치를 제 2 방향으로 이동시켜서, 상기 마이크로 디바이스를 상기 전사장치에서 분리시키는 것이 포함되는 마이크로 디바이스의 전사방법
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제 9 항에 있어서, 상기 점착성 재질의 전사돌기는 경사지게 제공되고, 상기 전사장치의 이동방향에 있어서, 상기 제 1 방향은 상기 전사돌기가 경사지는 방향과 같은 방향이고, 상기 제 2 방향은 상기 전사돌기가 경사지는 방향과 반대방향인 마이크로 디바이스의 전사방법
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베이스; 및상기 베이스에 제공되는 스탬핑 어레이가 포함되고, 상기 스탬핑 어레이에는 상기 베이스로부터 돌출되는 적어도 두 개의 점착성 재질의 전사돌기가 제공되고, 상기 전사돌기가 마이크로 디바이스에 접착된 상태에서, 상기 전사돌기의 이동방향, 상기 전사돌기의 이동속도, 및 상기 전사돌기와 상기 마이크로 디바이스와의 계면이 가하여지는 하중 중의 적어도 어느 하나를 조정함으로써, 상기 전사돌기와 상가 마이크로 디바이스 간의 점착력을 제어하여, 상기 전사돌기와 마이크로 디바이스의 접착 및 분리를 제어하는 마이크로 디바이스의 전사장치
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기판에 주형을 제공하는 것; 및상기 주형에 점착성 재질의 탄성중합체를 주입하여 전사장치를 제공하는 것이 포함되고, 상기 기판에 주형을 제공하기 위하여, 광감응물질을 상기 기판에 도포하는 것;포토레지스터를 도포하는 것; 및상기 포토레지스터가 도포된 상태에서 조사방향이 다른 두 빛을 상기 광감응물질에 조사하는 것이 포함되는 마이크로 디바이스의 전사장치의 제조방법
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제 13 항에 있어서, 상기 기판은 투명한 유리기판인 마이크로 디바이스의 전사장치의 제조방법
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제 13 항에 있어서, 상기 광감응물질을 도포하기 전에 접착층을 제공하는 것이 포함되는 마이크로 디바이스의 전사장치의 제조방법
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