| 1 |
1
제1압력전달부가 형성된 제1실리콘 기판;제2압력전달부가 형성된 제2실리콘 기판; 및상기 제1실리콘 기판 및 상기 제2실리콘 기판과 유리지지부에 의해 이격되고, 상기 제1 압력전달부 및 상기 제2압력전달부 중 적어도 하나로부터 전달된 압력에 의해 변형되는 제3실리콘기판;을 포함하는 차동형 압력센서
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 제3실리콘 기판은 두께가 상대적으로 얇은 다이어프램 영역을 포함하는 것인 차동형 압력센서
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서,상기 다이어프램 영역은 비대칭인 차동형 압력센서
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 제3실리콘 기판은 SOI(Silicon-On-Insulator) 기판인 차동형 압력센서
|
| 5 |
5
제1압력전달부가 형성된 제1실리콘 기판을 준비하는 단계;제2압력전달부가 형성된 제2실리콘 기판을 준비하는 단계; 및상기 제1실리콘 기판 및 상기 제2실리콘 기판 사이에 유리지지부에 의해 이격되고, 상기 제1 압력전달부 및 상기 제2압력전달부 중 적어도 하나로부터 전달된 압력에 의해 변형되도록 형성되는 제3실리콘기판을 상기 제1실리콘 기판 및 제2실리콘 기판에 사이에 접합하는 단계;를 포함하는 차동형 압력센서 제조방법
|
| 6 |
6
청구항 5에 있어서,상기 제1실리콘 기판 및 상기 제2실리콘 기판을 준비하는 단계;는,실리콘 기판의 외부면에 압력전달부가 형성될 위치를 식각하여 홀을 형성하는 단계;상기 실리콘 기판의 내부면의 양측에 단차를 형성하여 실리콘 기판 단차영역을 형성하는 단계;상면의 내부에 단차를 형성하여 된 유리기판 단차영역을 포함하는 유리기판을 상기 실리콘 기판 단차영역과 접합하는 단계;상기 유리기판의 하면에서 상기 실리콘 기판이 노출되도록 하는 두께만큼 상기 유리기판을 제거하여 상기 유리기판을 유리지지부로 형성하는 단계; 및상기 실리콘 기판의 내부면을 식각하여 상기 홀을 관통홀로 형성하는 단계;를 포함하는 차동형 압력센서 제조방법
|
