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챔버(100);챔버(100)의 내부에 구비되며, 상단에 압전소자(A)가 위치되는 전극판(210)과, 상단에 상기 전극판(210)이 위치되고, 천공되는 복수개의 제2 순환공(221)이 형성되는 받침판(220)을 포함하는 받침부(200);상기 받침부(200)의 상측에 일정거리 이격되어 형성되고, 탐침(310)이 상기 압전소자(A) 방향으로 돌출 형성되는 탐침부(300);상기 챔버(100)와 연결되어, 상기 챔버(100) 내부의 압력을 조절하는 진공부(400); 및상기 탐침부(300) 및 받침부(200)와 연결되어, 전원을 인가하는 전원부(500);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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챔버(100);챔버(100)의 내부에 구비되어, 압전소자(A)가 상단에 위치되는 받침부(200);상기 받침부(200)의 상측에 일정거리 이격되어 형성되고, 탐침(310)이 상기 압전소자(A) 방향으로 돌출 형성되는 탐침부(300);상기 챔버(100)의 상단에 구비되는 순환팬(600);상기 챔버(100)의 하단에 천공되어 형성되는 적어도 하나 이상의 제1 순환공(610); 및상기 탐침부(300) 및 받침부(200)와 연결되어, 전원을 인가하는 전원부(500);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제1항에 있어서,상기 챔버(100)는상기 받침부(200)와 연결되어, 상기 받침부(200)로 열을 공급하는 히터부(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제3항에 있어서,상기 받침부(200)는상단은 상기 받침판(220)과 결합되고 하단은 상기 챔버(100)의 내부 하단에 고정 결합되어, 상기 받침판(220)을 상하방향으로 이동시키는 리프트(230);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제4항에 있어서,상기 받침판(220)은내부에 유체가 유통되는 유체순환로(240)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 탐침(310)은 적어도 한 개 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제1항에 있어서,상기 전극판(210)은천공되어 형성되는 복수개의 제3 순환공(211)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제2항에 있어서,상기 챔버(100)는상기 받침부(200)와 연결되어, 상기 받침부(200)로 열을 공급하는 히터부(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제9항에 있어서,상기 받침부(200)는압전소자(A)가 상단에 위치되는 전극판(210);상기 전극판(210)이 상단에 위치되는 받침판(220); 및상단은 상기 받침판(220)과 결합되고 하단은 상기 챔버(100)의 내부 하단에 고정 결합되어, 상기 받침판(220)을 상하방향으로 이동시키는 리프트(230);를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제10항에 있어서,상기 받침판(220)은내부에 유체가 유통되는 유체순환로(240)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제10항에 있어서,상기 받침판(220)은천공되어 형성되는 복수개의 제2 순환공(221)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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제12항에 있어서,상기 전극판(210)은천공되어 형성되는 복수개의 제3 순환공(211)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 폴링장치
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