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기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법(METHOD FOR FABRICATING GEOMETRICALLY CONTROLLED CARBON COILS)

  • 기술번호 : KST2016013079
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법에 관한 것으로, 세라믹 기판을 화학기상증착장치에 설치한 후에 H2 가스를 주입하면서 C2H2 가스 및 SF6 가스 중 선택된 하나의 가스를 주입하는 제 1 단계와, 상기 H2 가스를 주입하면서 상기 선택된 하나의 가스의 주입을 중단하고, 상기 제 1 단계에서 선택되지 않은 다른 가스를 주입하는 제 2 단계와, 상기 제 1 단계 및 제 2 단계를 2-12회의 교차 주입 횟수로 교차 반복하는 제 3 단계와, 상기 제 3 단계가 완료된 후 상기 H2 가스 및 C2H2 가스를 주입하는 제 4 단계를 포함함으로써, 기하구조가 제어된 탄소코일을 제조할 수 있다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01)
CPC C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01)
출원번호/일자 1020140193434 (2014.12.30)
출원인 신라대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1685261-0000 (2016.12.05)
공개번호/일자 10-2016-0080699 (2016.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20161209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.30)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 신라대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 사상구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성훈 대한민국 경남 양산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나동규 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 신라대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 사상구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1278460-85
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1280175-70
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.10.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0069360-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0343960-08
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0602566-28
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0602558-63
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2016.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0771898-36
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1104584-26
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-1104583-81
11 등록결정서
Decision to grant
2016.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0859820-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5020091-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세라믹 기판을 화학기상증착장치에 설치한 후에 H2 가스를 주입하면서 C2H2 가스 및 SF6 가스 중 선택된 하나의 가스를 주입하는 제 1 단계와,상기 H2 가스를 주입하면서 상기 선택된 하나의 가스의 주입을 중단하고, 상기 제 1 단계에서 선택되지 않은 다른 가스를 주입하는 제 2 단계와,상기 제 1 단계 및 제 2 단계를 2-12회의 교차 주입 횟수로 교차 반복하는 제 3 단계와,상기 제 3 단계가 완료된 후 상기 H2 가스 및 C2H2 가스를 주입하는 제 4 단계를 포함하며,상기 SF6 가스가 먼저 주입되면서 한주기 내에 상기 SF6 가스의 중단 및 주입 시간 비율이 동일한 상태보다 낮은 상태에서 탄소마이크로코일의 형성 및 규칙적인 결정 구조의 성장을 촉진하고,상기 C2H2 가스의 주입 중단 및 상기 SF6 가스의 주입 공정에서 기하구조가 제어된 탄소마이크로코일의 형성을 촉진하는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제 1 단계는, 0
5 5
제 4 항에 있어서,상기 제 2 단계는, 0
6 6
제 1 항에 있어서,상기 H2 가스는, 20-50 sccm의 유속으로 주입되는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 H2 가스는, 30-120 분의 총 주입 시간으로 주입되는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 C2H2 가스는, 10-30 sccm의 유속으로 주입되는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 C2H2 가스는, 28-110 분의 총 주입 시간으로 주입되는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 SF6 가스는, 20-50 sccm의 유속으로 주입되는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
11 11
제 10 항에 있어서,상기 SF6 가스는, 2-10 분의 총 주입 시간으로 주입되는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
12 12
제 1 항에 있어서,상기 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법은, 90-110 Torr의 전체 압력, 30-120 분의 전체 증착 시간 및 600-900 ℃의 기판 온도의 공정 조건으로 수행되는 기하구조가 제어된 탄소코일의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 신라대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업 일반연구자지원사업 기본연구지원 기하구조가 제어된 탄소코일의 합성과 이를 이용한 전자파 차폐 효과 연구
2 산업통상자원부 신라대학교 산학협력단 2013년 산학연도약기술개발사업 고탄성 탄소 나노/마이크로일소재 기반 고내열 플러깅 헤드 엘리먼트 개발