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고온 국부가열 방식의 서셉터 및 이를 갖는 히팅 장치(HIGH TEMPERATURE LOCAL HEATING TYPE SUSCEPTOR AND HEATING APPARATUS HAVING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016013248
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 열을 방출하는 부분의 단면적이 열을 전달받는 부분의 단면적에 비하여 작게 형성되어 열 방출 부분에서 열이 집중되도록 설계된 고온 국부가열 방식의 서셉터 및 이를 갖는 히팅 장치에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 고온 국부가열 방식의 서셉터는 열원에 장착되어, 상기 열원으로부터의 열을 전달받아 피가열체를 국부 가열하기 위한 고온 국부가열 방식의 서셉터로서, 제1 단면적을 갖는 서셉터 몸체; 및 상기 서셉터 몸체로부터 돌출되어, 상기 제1 단면적보다 작은 제2 단면적을 갖는 돌출부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/683(2013.01) H01L 21/683(2013.01)
출원번호/일자 1020140194635 (2014.12.31)
출원인 한국기계연구원, 주식회사 넥스트론
등록번호/일자 10-1670807-0000 (2016.10.25)
공개번호/일자 10-2016-0082134 (2016.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20161101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.31)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 넥스트론 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승언 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 나영상 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 김성웅 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 임가람 대한민국 경상남도 김해시
5 장윤형 대한민국 부산광역시 연제구
6 문학범 대한민국 경남 양산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 넥스트론 대한민국 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-1283182-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0073328-95
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0637062-40
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-1112889-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-1195564-90
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.12.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1195627-78
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0298021-16
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0611473-92
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0719035-17
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0719027-41
12 등록결정서
Decision to grant		 2016.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0756119-02
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.06.07 수리 (Accepted) 4-1-2017-5087481-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2018-0058735-04
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.10 수리 (Accepted) 4-1-2018-5254317-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
열원에 장착되어, 상기 열원으로부터의 열을 전달받아 피가열체를 국부 가열하기 위한 고온 국부가열 방식의 서셉터로서, 제1 단면적을 가지며, 중앙을 관통하는 삽입 홀을 구비하는 서셉터 몸체; 상기 서셉터 몸체로부터 연장되며, 상기 서셉터 몸체를 감싸는 환형 구조로 형성되어, 내부에 중공을 구비하는 서셉터 연장부; 및 상기 서셉터 몸체의 삽입 홀 내에 체결되어, 상기 서셉터 몸체로부터 돌출되며, 상기 제1 단면적보다 작은 제2 단면적을 갖는 국부 가열수단;을 포함하며, 상기 국부가열 수단은 상기 서셉터 몸체의 중앙 부분에 배치된 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 서셉터
2 2
제1항에 있어서,상기 서셉터 몸체 및 서셉터 연장부는 각각 실리콘 카바이드(SiC)로 형성되거나, 또는 실리콘 카바이드(SiC)에 그라파이트, 카본(C) 및 니켈(Ni) 중 1종 이상이 코팅된 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 서셉터
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
제1항에 있어서,상기 국부 가열수단은 상기 서셉터 몸체의 삽입 홀 내에 슬라이딩 방식으로 체결되어, 상기 서셉터 몸체에 결합되는 일단에 반대되는 타단이 상기 피가열체와 접촉되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 서셉터
12 12
제1항에 있어서,상기 서셉터 연장부는 상기 서셉터 몸체에 일체로 결합된 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 서셉터
13 13
제1항에 있어서,상기 국부 가열수단은 봉 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 서셉터
14 14
반사 거울; 상기 반사 거울을 밀봉하는 몰딩체; 상기 반사 거울의 상단에 결합되어, 적외선을 조사하는 적외선 램프; 상기 몰딩체에 장착되어 온도를 제어하기 위한 냉각 라인; 및 상기 반사 거울의 하단에 결합되며, 상기 적외선 램프로부터 출사되어 반사 거울에 반사되어 굴절된 적외선을 집광시켜 피가열체를 국부 가열하기 위한 서셉터;를 포함하며, 상기 서셉터는 제1 단면적을 가지며, 중앙을 관통하는 삽입 홀을 구비하는 서셉터 몸체와, 상기 서셉터 몸체로부터 연장되며, 상기 서셉터 몸체를 감싸는 환형 구조로 형성되어, 내부에 중공을 구비하는 서셉터 연장부와, 상기 서셉터 몸체의 삽입 홀 내에 체결되어, 상기 서셉터 몸체로부터 돌출되며, 상기 제1 단면적보다 작은 제2 단면적을 갖는 국부 가열수단을 포함하며, 상기 국부가열 수단은 상기 서셉터 몸체의 중앙 부분에 배치된 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 히팅 장치
15 15
제14항에 있어서,상기 히팅 장치는 상기 반사 거울과 서셉터 사이에 장착되어, 상기 적외선 램프로부터의 열을 상기 서셉터로 전달하기 위한 쿼츠 봉을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 히팅 장치
16 16
제14항에 있어서,상기 반사 거울은 상단 및 하단을 각각 노출시키는 상부 홀 및 하부 홀을 구비하며, 타원 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 고온 국부가열 방식의 히팅 장치
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