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도전성 압입자를 갖는 투과 전자 현미경 시편 홀더 및 상기 도전성 압입자에 대향하며, 압전 나노 분말이 분산된 분말 지지체를 구비한 나노 분말 압입부;상기 시편 홀더에 포함된 압전 나노 튜브에 전압을 인가하여 상기 압입자의 위치를 제어하는 압입자 위치 제어부;상기 시편 홀더에 포함되어, 상기 압입자 및 압전 나노 튜브와 연결된 하중 변환기를 이용하여 상기 압전 나노 분말에 가해지는 압입 하중을 제어하는 압입 하중 제어부; 및 상기 분말 지지체 및 도전성 압입자와 전기적으로 연결된 계측기를 이용하여 상기 압전 나노 분말에서 발생되는 전기 신호를 실시간으로 측정하는 전기 신호 측정부를 포함하고,상기 하중 변환기는 두 개의 고정된 고정 금속판 및 상기 두 개의 고정된 금속판 사이에 위치되고, 상기 도전성 압입자와 연결되어 상기 압입자의 전/후 운동을 가능하게 하는 하나의 이동 금속판을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 분말 지지체는,실리콘 단결정이며, 상기 도전성 압입자와 대향하는 일면에 도포된 금 전극층을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 2항에 있어서, 상기 도전성 압입자와 대향하는 상기 분말 지지체의 일면은 1 ㎛ 내지 200nm의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 도전성 압입자는 다이아몬드를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 압입 하중 제어부는, 상기 압입자의 전/후 운동에 의해 고정 금속판과 이동 금속판의 간격이 달라짐에 따라, 상기 금속판 간의 정전 용량의 변화를 측정하여 상기 압입자에 가해진 하중을 측정하는 데이터 계측기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 6항에 있어서, 상기 하중 변환기는 용량형 변환기(capacitive transducer)인 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 압입 하중 제어부는, 상기 고정 금속판과 이동 금속판 사이에 전위차를 생성하여 상기 금속판 간의 간격 및 압입자에 가해지는 응력을 제어하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 압입자 위치 제어부는,상기 시편 홀더에 포함된 압전 나노 튜브에 전압을 인가하는 전원 공급 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치
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제 1항 내지 제 4항 및 제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치; 및상기 압전 특성 측정 장치와 전기적으로 연결되어, 상기 압전 특성 측정 장치에 제어 신호를 송신하고, 상기 압전 특성 측정 장치로부터 수신된 압전 나노 분말의 이미지 데이터 및 압전 나노 분말로부터 측정된 전하, 전류 및 전압 데이터를 출력하는 PC장치를 포함하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 시스템
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도전성 압입자를 갖는 투과 전자 현미경 시편 홀더에 압전 나노 분말이 분산된 분말 지지체를 장착하는 단계;상기 시편홀더에 포함된 압전 나노 튜브에 전압을 인가하여 상기 압입자의 위치를 제어하는 단계;상기 압전 나노 분말에 가해지는 압입 하중을 제어하는 단계; 상기 압전 나노 분말에서 발생되는 전기 신호를 측정하는 단계; 및상기 압전 나노 분말의 이미지 및 상기 압전 나노 분말로부터 측정된 전하, 전류 및 전압 데이터를 출력하는 단계를 포함하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 방법
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제 11항에 있어서, 상기 압전 나노 분말에 가해지는 압입 하중을 제어하는 단계는, 상기 시편 홀더에 포함되어, 상기 압입자 및 압전 나노 튜브와 연결된 하중 변환기를 이용하여 상기 압전 나노 분말에 가해지는 압입 하중을 제어하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 방법
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제 11항에 있어서, 상기 압전 나노 분말에서 발생되는 전기 신호를 측정하는 단계는, 상기 분말 지지체 및 도전성 압입자와 전기적으로 연결된 계측기를 이용하여 상기 압전 나노 분말에서 발생되는 전기 신호를 실시간으로 측정하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 방법
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제 11항에 있어서, 상기 분말 지지체는,실리콘 단결정이며, 상기 도전성 압입자와 대향하는 상기 분말 지지체의 일면에 도포된 금 전극층을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 방법
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제 14항에 있어서, 상기 도전성 압입자와 대향하는 상기 분말 지지체의 일면은 1 ㎛ 내지 200nm의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 방법
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제 11항에 있어서, 상기 도전성 압입자는 다이아몬드를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 방법
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