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전자 빔을 수용하여, 이온을 방출하는 이온화부;상기 이온화부에 상기 전자 빔을 주입하는 냉전자 공급부;상기 이온화부로부터 방출된 상기 이온을 감지하는 이온 검출부; 및상기 이온화부와 상기 이온 검출부를 연결하는 이온 분리부를 포함하되,상기 냉전자 공급부는 자외선을 수용하여 상기 전자 빔을 방출하는 마이크로채널 플레이트(Microchannel Plate), 상기 전자 빔을 집적(focusing)하여 상기 이온화부로 방출하는 이온 렌즈, 및 상기 이온 렌즈에서 방출된 상기 전자 빔이 상기 이온화부로 주입되는 것을 제어하는 게이트 전극를 포함하되,상기 이온화부는, 상기 전자 빔과 충돌을 통해 상기 이온을 발생시키는 시료가 배치되는 시료부 및 상기 시료부의 표면에 수직한 방향으로 이격되는 메쉬부를 포함하되,상기 메쉬부는 그리드 형태를 가지며,상기 시료부는 양의 전압을 가지고, 상기 게이트 전극 및 상기 메쉬부는 음의 전압을 가지며,상기 이온화부에서 방출된 상기 이온은 상기 이온 분리부를 통과하여 상기 이온 검출부에 도달하고,상기 이온 분리부는 곧은 관(straight tube) 형상을 가지고,상기 이온화부와 상기 냉전자 공급부는 동일한 진공 상태를 가지는 비행시간 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 냉전자 공급부는 상기 마이크로채널 플레이트로 상기 자외선을 방출하는 자외선 다이오드를 더 포함하는 비행시간 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로채널 플레이트는 상기 자외선을 수용하여 전자들을 생성하는 전면판; 및상기 전자 빔을 방출하는 후면판을 포함하고,상기 전자 빔은 상기 마이크로채널 플레이트 내에서 증배(multiply)된 상기 전자들인 비행시간 질량분석기
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제 3 항에 있어서,상기 증배는 104배 내지 109배인 비행시간 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 냉전자 공급부는 상기 마이크로채널 플레이트에서 방출된 상기 전자 빔을 증배(multiply)하는 채널트론 전자 증배기(channeltron electron multiplier)를 더 포함하는 비행시간 질량분석기
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제 5 항에 있어서,상기 채널트론 전자 증배기는 상기 마이크로채널 플레이트에서 방출된 상기 전자 빔을 104배 내지 109배 증배하는 비행시간 질량분석기
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제 5 항에 있어서,상기 이온 렌즈는 상기 채널트론 전자 증배기를 통해 증배된 상기 전자 빔을 집적(focusing)하는 비행시간 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 이온 검출부는 상기 이온을 수용하여, 전자를 생성, 증폭 및 감지하고,상기 이온 검출부는 상기 전자를 증폭하는 마이크로채널 플레이트 또는 채널트론 전자 증배기를 포함하는 비행시간 질량분석기
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제 1 항에 있어서,내부 공간이 진공인 비행시간 질량분석기
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제 1 항에 있어서,내부 공간의 압력이 10-10~10-4Torr인 비행시간 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 이온화부는 상기 전자 빔과 충돌하여, 상기 이온을 발생하는 시료가 배치되는 시료부; 및상기 시료부 상에 상기 시료를 공급하는 시료 공급부를 포함하는 비행시간 질량분석기
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제 12 항에 있어서,상기 시료 공급부는 기체 시료를 상기 시료부 상에 분사하고,상기 기체 시료는 상기 시료부 상면에 흡착되는 비행시간 질량분석기
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제 13 항에 있어서,상기 시료 공급부는 상기 기체 시료를 펄스(pulse) 방식으로 상기 시료부 상에 제공하는 비행시간 질량분석기
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제 13 항에 있어서,상기 시료 공급부는 액체 시료를 상기 시료부 상에 분무하고,상기 액체 시료는 상기 시료부 상에 흡착되는 비행시간 질량분석기
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