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저탄소강 부재로 형성되며, 중공이 형성된 본체;상기 저탄소강 부재로 형성되고, 상기 본체의 일면에 형성되며, 진공부품과 연결되는 접속관; 및상기 접속관에 용접되는 플랜지를 포함하고, 상기 플랜지는 스테인리스 스틸로 형성되며, TIG 용접을 통해 상기 접속관에 용접되고, 상기 저탄소강 부재는 탄소(C) 함량이 0
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중공이 형성된 본체 및 상기 본체의 일면에 형성되며 진공부품과 연결되는 접속관을 성형하는 성형단계;상기 접속관에 플랜지를 용접하는 플랜지 용접단계; 및상기 본체, 상기 접속관 및 상기 플랜지 중 적어도 하나의 이물질을 제거하는 세척단계를 포함하되,상기 본체 및 상기 접속관은 저탄소강 부재로 형성되고, 상기 플랜지는 스테인리스 스틸로 형성되고, 상기 플랜지 용접단계는 TIG 용접을 이용하여 상기 접속관과 상기 플랜지를 접합하고, 상기 저탄소강 부재는 탄소(C) 함량이 0
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제3항에 있어서, 상기 진공용기 제조방법은 상기 세척단계 이후에상기 본체, 상기 접속관, 상기 플랜지 중 적어도 하나의 내표면 또는 외표면 중 적어도 하나에 부식방지용 물질을 코팅하는 부식방지 코팅단계를 더 포함하는 진공용기 제조방법
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제4항에 있어서,상기 부식방지 코팅단계는 상기 본체, 상기 접속관, 상기 플랜지 중 적어도 하나의 내표면 또는 외표면을 니켈, 니켈-인, 크롬 및 테플론 중 적어도 하나를 포함하는 코팅물질로 코팅하는 진공용기 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 플랜지는 콘플랫 형태인 진공용기 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 성형단계는 벤딩(bending)단계, 절삭(cutting 0026# machining)단계, 연마(grinding)단계, 용접(welding)단계 중 적어도 하나를 포함하는 진공용기 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 절삭단계는광물질과 유기물질로 이루어진 수용성 절삭유를 이용하는 진공용기 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 세척단계는상기 본체, 상기 접속관 및 상기 플랜지 중 적어도 하나의 오염원을 제거하는 단계 및 상기 본체, 상기 접속관 및 상기 플랜지 중 적어도 하나의 표면 산화막을 제거하는 단계 중 적어도 하나를 포함하는 진공용기 제조방법
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