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위치 제어 시스템 및 방법(POSITION CONTROL SYSTEM AND METHOD)

  • 기술번호 : KST2016013449
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시예에 따른 위치 제어 시스템은, 일 측에 대상체가 고정되고, 대상체의 위치를 제어할 수 있는 구동부; 상기 대상체의 하부에 배치되어, 상기 대상체의 위치 제어 기준을 제공하는 검사부; 및 상기 검사부의 하부에 배치되어, 상기 대상체 및 검사부의 위치 정보를 획득할 수 있는 비전부;를 포함하고, 상기 대상체 및 검사부에는 적어도 두 개의 마커가 서로 대응되는 위치에 각각 구비되고, 상기 구동부에 의해 상기 대상체에 구비된 마커와 상기 검사부에 구비된 마커를 일치시킬 수 있다.
Int. CL G01S 5/10 (2006.01) B25J 9/16 (2006.01) G01S 1/68 (2006.01)
CPC G01S 5/10(2013.01) G01S 5/10(2013.01) G01S 5/10(2013.01)
출원번호/일자 1020140194998 (2014.12.31)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단, 주식회사 프로이천
등록번호/일자 10-1649424-0000 (2016.08.11)
공개번호/일자 10-2016-0081333 (2016.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20160830) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
2 주식회사 프로이천 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***번길 **, ***호(

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허헌 대한민국 서울특별시 강남구
2 허남중 대한민국 경기도 화성

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
2 주식회사 프로이천 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***번길 **, ***호(
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-1284441-14
2 보정요구서
Request for Amendment
2015.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0010174-18
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2015-5007619-56
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0074833-94
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0007630-54
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0204227-31
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0204204-92
8 등록결정서
Decision to grant
2016.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0531878-61
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번호 청구항
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일 측에 대상체가 고정되고, 대상체의 위치를 제어할 수 있는 구동부;상기 대상체의 하부에 이격 배치되어, 상기 대상체의 위치 제어 기준을 제공하는 검사부; 및상기 검사부의 하부에 이격 배치되어, 상기 대상체 및 검사부의 위치 정보를 획득할 수 있는 비전부;를 포함하고,상기 대상체 및 검사부에는 적어도 두 개의 마커가 서로 대응되는 위치에 각각 구비되고, 상기 구동부에 의해 상기 대상체에 구비된 마커와 상기 검사부에 구비된 마커를 일치시킬 수 있고,상기 구동부는 상기 대상체를 직선 이동시켜, 상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커 중 하나와 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커 중 하나를 일치시킨 후에, 상기 대상체를 회전 이동시켜, 상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분이 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분과 평행하게 하며, 상기 대상체를 직선 이동시켜, 상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분과 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분을 일치시킬 수 있으며,상기 대상체는 상기 검사부에 대하여 비접촉 상태에서 상기 구동부에 의해 이동되며, 상기 구동부에 의해 상기 대상체의 위치 보정 및 회전각 보정이 동시적으로 수행되는 위치 제어 시스템
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일 측에 대상체가 고정된 구동부, 상기 대상체의 하부에 배치된 검사부 및 상기 검사부 하부에 배치된 비전부를 포함하는 위치 제어 시스템이 제공되는 단계;상기 비전부에 의해 상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커의 좌표값 및 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커의 좌표값이 각각 측정되는 단계;상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분과 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분이 평행하도록 상기 대상체가 상기 구동부에 의해 이동되는 단계; 및상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커와 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커가 일치하도록 상기 대상체가 상기 구동부에 의해 이동되는 단계;를 포함하고,상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분과 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분이 평행하도록 상기 대상체가 상기 구동부에 의해 이동되는 단계는,상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커 중 하나와 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커 중 하나가 일치하도록 상기 대상체가 상기 구동부에 의해 직선 이동되는 단계;상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커 중 다른 하나의 좌표값이 상기 비전부에 의해 새로 측정되는 단계; 및상기 대상체에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분과 상기 검사부에 구비된 적어도 두 개의 마커를 연결한 선분이 평행하도록 상기 대상체가 상기 구동부에 의해 회전 이동되는 단계;를 더 포함하며,상기 대상체는 상기 검사부에 대하여 비접촉 상태에서 상기 구동부에 의해 이동되며, 상기 구동부에 의해 상기 대상체의 위치 보정 및 회전각 보정이 동시적으로 수행되는 위치 제어 방법
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1 교육부 한국연구재단 산학협력선도대학육성사업 반도체 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지 및 제어기 개발