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탑다운 방식의 그래핀 전사 방법(Top-down type graphene transfer method)

  • 기술번호 : KST2016013928
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탑다운 방식의 그래핀 전사 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 기판상의 금속 촉매층 위에 성장시킨 그래핀 막을 따로 분리시키는 단계와, 타겟 기판이 바닥에 침수되어 있는 용기를 준비한 다음 상기 용기 내의 물 위에 상기 그래핀 막을 띄우는 단계와, 상기 용기 내에서 상기 물의 수위를 점점 낮추어 가면서 상기 용기로부터 상기 물을 점차로 제거하는 단계, 및 상기 물이 제거되면서 상기 타겟 기판에 상기 그래핀 막이 접촉되어 상기 타겟 기판 상에 상기 그래핀 막이 전사되는 단계를 포함하는 그래핀 전사 방법을 제공한다.상기 탑다운 방식의 그래핀 전사 방법에 따르면, 금속 촉매층 상에 성장시킨 그래핀 막을 분리한 후 이를 원하는 기판 상에 직접적으로 전사시킬 수 있으며 별도의 지지층을 사용하지 않아 그래핀 막의 외형적 손상을 최소화할 수 있고 공정이 간단하며 비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.
Int. CL C01B 31/04 (2006.01)
CPC C01B 32/194(2013.01)
출원번호/일자 1020150004364 (2015.01.12)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1653478-0000 (2016.08.26)
공개번호/일자 10-2016-0087405 (2016.07.22) 문서열기
공고번호/일자 (20160901) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.01.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 시바프래탑래디 인도 경상북도 경산시
2 박혜리 대한민국 경상북도 경산시 경안로**길 **
3 장자순 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0030230-53
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.09.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0072495-61
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0406259-10
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.07.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0677823-04
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0677827-86
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0613818-33
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판상의 금속 촉매층 위에 성장시킨 그래핀 막을 따로 분리시키는 단계;타겟 기판이 바닥에 침수되어 있는 용기를 준비한 다음 상기 용기 내의 물 위에 상기 그래핀 막을 띄우는 단계; 및상기 용기 내에서 상기 물의 수위를 점점 낮추어 가면서 상기 용기로부터 상기 물을 점차로 제거하는 단계를 포함하며,상기 물이 제거되면서 상기 타겟 기판에 상기 그래핀 막이 접촉되어 상기 타겟 기판 상에 상기 그래핀 막이 전사되며,상기 용기로부터 상기 물을 점차로 제거하는 단계는,상기 용기 내의 물을 피펫을 이용하여 모두 배출하거나 상기 용기의 둘레에 형성된 적어도 하나의 배출구를 통해 상기 물을 모두 배수하는 단계; 및핫 플레이트 위에서 상기 용기를 가열하면서 상기 그래핀 위에 잔여한 수분을 증발시키는 단계를 포함하는 그래핀 전사 방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 그래핀 막을 분리시키는 단계는,상면에 SiO2층이 적층되어 있는 Si기판 위에 상기 금속 촉매층을 형성하고 상기 금속 촉매층 상에서 상기 그래핀 막을 성장시키는 단계;제1 에칭액을 이용하여 상기 SiO2층을 제거하여 상기 금속 촉매층 및 상기 그래핀 막으로 된 시료만을 분리시키는 단계; 및제2 에칭액을 이용하여 상기 금속 촉매층을 제거하여 상기 시료로부터 상기 그래핀 막을 분리시키는 단계를 포함하는 그래핀 전사 방법
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청구항 3에 있어서,상기 금속 촉매층은 Ni 촉매층이며,상기 제1 에칭액은 버퍼옥사이드에찬트(Buffer Oxide Etchant;BOE) 용액이고 상기 제2 에칭액은 염화제이철(FeCl3) 용액인 그래핀 전사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 영남대학교 산학협력단 영남대학교 산학협력단 LED-IT융합산업화연구센터 성과활용사업 LED-IT융합산업화연구센터 성과활용사업(1차년도)