| 1 |
1
하기 화학식 1로서 표시되는 금속(M) 전구체 및 반응가스를 사용하여 원자층 증착법을 통해 산화금속 박막을 기재에 증착시키는 것을 포함하는, 산화금속 박막의 제조 방법:[화학식 1]상기 화학식 1에 있어서,M은, Co, Ni, Mn, 또는 Fe이고,R1 내지 R4는, 각각 독립적으로 C1 ~ C6 알킬기임
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 화학식 1 중 R1 내지 R4는 각각 이소프로필인 것인, 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 반응가스는 산소(O2), 오존(O3), H2O, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 산화금속 박막의 증착은 100℃ 내지 400℃의 온도 범위에서 수행되는 것인, 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 산화금속 박막은 0
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 기재에 증착된 산화금속 박막은 스피넬(spinel) 구조로 형성된 것을 포함하는, 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 7 |
7
하기 화학식 1로서 표시되는 금속(M) 전구체 및 제 1 반응가스를 사용하여 원자층 증착법을 통해 산화금속 박막을 기재에 증착시키는 것; 및리튬 전구체 및 제 2 반응가스를 사용하여 원자층 증착법을 통해 산화리튬 박막을 상기 산화금속 박막에 증착시키는 것을 포함하는, 리튬-함유 산화금속 박막의 제조 방법:[화학식 1]상기 화학식 1에 있어서,M은, Co, Ni, Mn, 또는 Fe이고,R1 내지 R4는, 각각 독립적으로 C1 ~ C6 알킬기임
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 리튬-함유 산화금속 박막의 제조 방법을 1 회 이상 반복 수행하는 것을 포함하는, 리튬-함유 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 9 |
9
제 7 항에 있어서,상기 리튬-함유 산화금속 박막은 LiCoO2, LiNiO2, LiMnO2, 또는 LiCoxNiyMn1-x-yOz를 포함하는 것인, 리튬-함유 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 10 |
10
제 7 항에 있어서,상기 제 1 반응가스 및 상기 제 2 반응가스는 산소(O2), 오존(O3), H2O, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 리튬-함유 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 11 |
11
제 7 항에 있어서, 상기 산화금속 박막의 증착은 100℃ 내지 400℃의 온도 범위에서 수행되는 것인, 리튬-함유 산화금속 박막의 제조 방법
|
| 12 |
12
하기 화학식 1로서 표시되는 금속(M) 전구체 및 제 1 반응가스를 사용하여 원자층 증착법을 통해 기재에 증착된 산화금속 박막을 포함하는 애노드;상기 애노드 상에 도핑된 고체 전해질; 및상기 전해질 상에 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조된 리튬-함유 산화금속 박막을 포함하는 캐소드를 포함하는, 리튬이차전지:[화학식 1]상기 화학식 1에 있어서,M은, Co, Ni, Mn, 또는 Fe이고,R1 내지 R4는, 각각 독립적으로 C1 ~ C6 알킬기임
|
| 13 |
13
제 12 항에 있어서, 상기 리튬이차전지는 3 차원 박막전지인 것을 포함하는, 리튬이차전지
|
