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탄화규소 분말의 질소함유량을 감소시키는 방법, 이에 의해 제조된 탄화규소 단결정(Method for reducing the content of nitrogen of Silicon Carbide Powder, and Silicon carbide single crystal thereof)

  • 기술번호 : KST2016014259
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄화규소 분말의 질소함유량을 감소시키는 방법 및 이에 의해 제조된 탄화규소 단결정에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 탄화규소 분말의 질소함유량을 100 ppm 이하로 낮출 수 있고, 이를 이용하여 탄화규소 단결정 성장시 103 ohm-cm 이상의 고저항 탄화규소 단결정의 수득이 가능하다.
Int. CL C30B 23/00 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01)
CPC C30B 23/00(2013.01) C30B 23/00(2013.01)
출원번호/일자 1020150009672 (2015.01.21)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1674585-0000 (2016.11.03)
공개번호/일자 10-2016-0089973 (2016.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20161109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.01.21)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서원선 대한민국 서울특별시 강남구
2 김영희 대한민국 서울특별시 서대문구
3 이명현 대한민국 경기도 수원시 영통구
4 김수룡 대한민국 서울특별시 관악구
5 권우택 대한민국 서울특별시 강남구
6 신동근 대한민국 서울특별시 종로구
7 정은진 대한민국 서울특별시 광진구
8 정성민 대한민국 경기도 광명시 하안로 ***,
9 권용진 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0061606-32
2 보정요구서
Request for Amendment
2015.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0029561-18
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0171778-78
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0059655-19
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0351598-15
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0692391-78
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0755237-66
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2016-0755225-18
11 등록결정서
Decision to grant
2016.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0779318-64
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번호 청구항
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탄화규소 분말을 진공 분위기 하에서, 10-1000 Pa의 압력 범위에서 2-4회의 사이클 열처리(thermo cycle)하여 탄화규소 단결정을 수득하고,상기 사이클 열처리는, 상기 10-1000 Pa의 압력 범위 중 해당 압력에서 상기 탄화규소 분말을 승화시키는 1850-2250 ℃의 온도에서 10-60 분 동안 온도를 유지하는 제1 열처리 단계; 및 상기 제1 열처리 후, 상기 10-1000 Pa의 압력 범위 중 해당 압력에서 상기 탄화규소 분말을 재결정시키는 1650-2050 ℃에서 30-90 분 동안 온도를 유지하는 제2 열처리 단계;를 포함하는 탄화규소 분말의 질소함유량을 감소시키는 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국세라믹기술원 정책연구사업 단결정 성장용 Low N2-SiC 분말 제조 및 적용기술개발