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제1 방향으로 배열된 제1 전극 패턴들;상기 제1 전극 패턴들을 전기적으로 연결시키는 제1 연결 패턴들;상기 제1 방향과 교차된 제2 방향으로 배열되고, 상기 제1 전극들과 절연된 제2 전극 패턴들;상기 제1 연결 패턴의 상부에 위치된 절연 패턴들; 및상기 절연 패턴들의 상부에 위치되고, 상기 제2 전극 패턴들을 전기적으로 연결시키는 제2 연결 패턴들을 포함하고, 상기 제1 전극 패턴들, 상기 제1 연결 패턴들, 상기 제2 전극 패턴들 및 상기 제2 연결 패턴들 중 적어도 하나는 도전성 물질이 침투된 고분자막을 포함하고, 상기 절연 패턴들은 유전 물질이 침투된 고분자막을 포함하는터치 스크린 패널
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제1항에 있어서,상기 고분자막은 포토레지스트, 폴리비닐 알콜(Polyvinyl alcohol), 폴리 아미드(Polyamide), 폴리에스터(Polyester), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리메틸 메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate) 및 폴리에틸렌 옥사이드(Polyethylene oxide) 중 적어도 하나를 포함하는터치 스크린 패널
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제1항에 있어서,상기 도전성 물질은 NiS를 포함하고, 상기 유전 물질은 AlOx를 포함하는터치 스크린 패널
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제1항에 있어서,상기 도전성 물질 또는 유전 물질은 상기 고분자막 내의 프리 볼륨의 표면에 화학적 흡착된터치 스크린 패널
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제1 도전막;상기 제1 도전막의 상부에 위치된 제2 도전막; 및상기 제1 도전막과 상기 제2 도전막 사이에 개재된 절연막을 포함하고,상기 제1 도전막, 상기 절연막 및 상기 제2 도전막 중 적어도 하나는 도전성 물질 또는 유전 물질이 침투된 고분자막을 포함하는디스플레이 장치
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제5항에 있어서,상기 제1 도전막은 제1 방향으로 확장되고, 상기 제2 도전막은 상기 제1 방향과 교차되는 제2 방향으로 확장되고, 상기 절연막은 상기 제1 도전막과 상기 제2 도전막의 교차 영역에 개재된 디스플레이 장치
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제6항에 있어서,상기 제1 도전막은 터치 스크린 패널의 제1 센싱 전극이고, 상기 제2 도전막은 터치 스크린 패턴의 제2 센싱 전극인 디스플레이 장치
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기판 상에, 제1 도전 패턴을 형성하는 단계;상기 제1 도전 패턴 상에 절연 패턴을 형성하는 단계; 및상기 절연 패턴 상에 제2 도전 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 도전 패턴, 상기 절연 패턴 및 상기 제2 도전 패턴 중 적어도 하나는 고분자 패턴에 도전성 물질 또는 유전 물질을 침투시켜 형성하는디스플레이 장치의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 제1 도전 패턴은 제1 방향으로 배열된 제1 센싱 전극들, 상기 제1 센싱 전극들을 전기적으로 연결시키는 제1 연결 패턴들 및 상기 제1 방향과 교차된 제2 방향으로 배열되고 상기 제1 센싱 전극들과 절연된 제2 센싱 전극들을 포함하고, 상기 제2 도전 패턴은 상기 제2 센싱 전극들을 전기적으로 연결시키는 제2 연결 패턴인디스플레이 장치의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 절연 패턴은 상기 제1 연결 패턴 상에 형성된디스플레이 장치의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 고분자 패턴에 도전성 물질 또는 유전 물질을 침투시키는 단계는,상기 기판이 로딩된 챔버 내에 소스 가스를 주입하는 단계;상기 소스 가스에 상기 기판을 노출시켜, 상기 제1 또는 제2 고분자 패턴들 내의 프리 볼륨으로 상기 소스 가스를 확산 및 흡착시키는 단계; 및상기 제1 또는 제2 고분자 패턴들 내에 흡착되지 않은 상기 소스 가스를 퍼징하는 단계를 포함하는터치 스크린 패널의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 소스 가스 주입 단계, 소스 가스의 확산 및 흡착 단계 및 퍼징 단계는 복수회 반복 실시되는터치 스크린 패널의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 도전성 물질 또는 상기 유전 물질은 상기 고분자 패턴 내의 프리 볼륨의 표면에 화학적 흡착되는터치 스크린 패널의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 도전성 물질 또는 유전 물질을 침투시키는 단계는, 하나의 챔버에 복수의 기판들을 로딩하여 실시되는터치 스크린 패널의 제조 방법
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