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원통형 스퍼터링 캐소드(Cylindrical Sputtering Cathode)

  • 기술번호 : KST2016014268
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 원통형의 스퍼터링 타깃(10), 스퍼터링 타깃(10)의 내부에 스퍼터링 타깃(10)의 길이방향으로 배치되며 자기장을 형성하는 마그넷(20), 마그넷(20)을 지지하는 마그넷 지지유닛(30)을 포함하고, 마그넷(20)은 스퍼터링 타깃(10)의 내주면과 간극(G)을 두고 대면하는 대향면(22)을 가지며 대향면(22)이 스퍼터링 타깃(10)의 내주에 대응되는 곡률을 갖도록 형성된 원통형 스퍼터링 캐소드를 제공한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01)
CPC C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01)
출원번호/일자 1020150009502 (2015.01.20)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단, (주) 누리베큠
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0089952 (2016.07.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.01.20)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
2 (주) 누리베큠 대한민국 경기도 안산시 단원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경국 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 김동준 대한민국 서울특별시 동작구
3 김택균 대한민국 경기도 부천시 원미구
4 조하나 대한민국 서울특별시 은평구
5 김소현 대한민국 경기도 의정부시 부용로 **,
6 이병길 대한민국 경기도 부천시 오정구
7 김환삼 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0060130-33
2 보정요구서
Request for Amendment
2015.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0023966-66
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0206925-04
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0080080-60
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0261914-17
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0563537-55
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0563579-62
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0778167-98
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.11.30 수리 (Accepted) 7-1-2016-0066659-32
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1293308-29
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.12.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1293309-75
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0051719-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중공을 갖는 원통형의 스퍼터링 타깃(10)과;상기 스퍼터링 타깃(10)의 내부에 스퍼터링 타깃(10)의 길이방향으로 배치되며 자기장을 형성하는 마그넷(20)과;상기 마그넷(20)을 지지하는 마그넷 지지유닛(30)을 포함하고,상기 마그넷(20)은 상기 스퍼터링 타깃(10)의 내주면과 간극(G)을 두고 대면하는 대향면(22)을 가지며 상기 대향면(22)이 상기 스퍼터링 타깃(10)의 내주에 대응되는 곡률을 갖도록 형성된,원통형 스퍼터링 캐소드
2 2
청구항 1에 있어서,상기 마그넷(20)은 상기 스퍼터링 타깃(10)의 내주에 대응되는 곡률의 호 형상으로 형성된,원통형 스퍼터링 캐소드
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 마그넷(20)은 스퍼터링 타깃(10)의 센터를 중심으로 90도 내지 180도의 범위에 걸쳐 있도록 구비된,원통형 스퍼터링 캐소드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.