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금속층;상기 금속층에 가상의 제1 기준선을 따라 배열된 제1 금속슬릿들; 및상기 제1 기준선과 일정 간격 이격된 가상의 제2 기준선을 따라 배열된 제2 금속슬릿들;을 포함하고,상기 제1 기준선과 상기 제2 기준선 사이의 간격은, 상기 제1 금속슬릿들과 상기 제2 금속슬릿들의 슬릿 각도를 기초로 결정되는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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제 1항에 있어서, 상기 슬릿각도는 다음 수학식을 이용하여 결정되는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치(여기서, n은 0을 포함하는 자연수이고, θ0은 상기 슬릿각도, λspp는 표면 플라즈몬의 유효 파장)
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제 1항에 있어서,상기 제1 금속슬릿들 사이의 간격과 상기 제2 금속슬릿들 사이의 간격은 입사광에 의해 만들어지는 표면 플라즈몬의 파장 이하인 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제1 금속슬릿들 및 상기 제2 금속슬릿들은 직사각형 모양인 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 금속슬릿들 및 상기 제2 금속슬릿들은 상기 제1 기준선 및 상기 제2 기준선에 대해 일정 각도 기울어져 있는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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제 1항에 있어서,상기 금속층에 상기 제1 기준선 및 상기 제2 기준선을 따라 적어도 하나 이상의 슬릿구간과 적어도 하나 이상의 비슬릿구간이 서로 교차하여 위치하고,상기 제1 금속슬릿들 및 상기 제2 금속슬릿들은 상기 적어도 하나 이상의 슬릿구간에 배열되는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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제 7항에 있어서, 상기 슬릿구간과 비슬릿구간의 배치 간격은 프레넬 렌즈의 반지름 공식을 이용하여 결정되는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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제 7항에 있어서, 상기 제1 금속슬릿들 및 상기 제2 금속슬릿들은 각각,제1 초점거리를 가지도록 적어도 하나 이상의 제1 슬릿구간에 제1 슬릿각도로 배치되는 제1 유형의 금속슬릿들;제2 초점거리를 가지도록 적어도 하나 이상의 제2 슬릿구간에 제2 슬릿각도로 배치되는 제2 유형의 금속슬릿들; 및상기 제1 슬릿구간과 상기 제2 슬릿구간의 중첩 구간에 제3 슬릿각도로 배치되는 제3 유형의 금속슬릿들;을 포함하는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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제 9항에 있어서,제1 슬릿각도와 제2 슬릿각도는 서로 반대의 부호를 지니고, 제3 슬릿각도는 상기 제1 기준선 및 제2 기준선에 대해 0도인 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치
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복수의 금속슬릿의 슬릿 각도에 따른 두 개의 기준선 사이의 간격을 산출하는 단계; 및상기 두 개의 기준선을 따라 상기 슬릿 각도를 가지는 상기 복수의 금속슬릿을 금속층 위에 새기는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치의 제조 방법
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제 11항에 있어서, 상기 새기는 단계는,설계 대상 초점 거리에 대한 프레넬 렌즈의 적어도 하나 이상의 반지름을 산출하는 단계; 및상기 적어도 하나 이상의 반지름을 기초로 슬릿이 존재하는 적어도 하나 이상의 슬릿구간과 슬릿이 존재하지 아니하는 적어도 하나 이상의 비슬릿구간이 교차 배치되는 영역을 파악하고, 상기 적어도 하나 이상의 슬릿구간에 금속슬릿을 새기는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초점 조절 장치의 제조 방법
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제 11항에 있어서, 상기 새기는 단계는,제1 초점 거리에 대한 프레넬 렌즈의 적어도 하나 이상의 반지름을 산출하여 슬릿이 존재하는 적어도 하나 이상의 제1 슬릿구간과 슬릿이 존재하지 아니하는 적어도 하나 이상의 제1 비슬릿구간의 교차 배치 영역을 파악하는 단계;제2 초점 거리에 대한 프레넬 렌즈의 적어도 하나 이상의 반지름을 산출하여 슬릿이 존재하는 적어도 하나 이상의 제2 슬릿구간과 슬릿이 존재하지 아니하는 적어도 하나 이상의 제2 비슬릿구간의 교차 배치 영역을 파악하는 단계;상기 제1 슬릿구간과 상기 제2 슬릿구간의 중첩 구간을 파악하는 단계;상기 중첩구간에 제1 슬릿각도를 가지는 적어도 하나 이상의 금속슬릿을 새기는 단계;상기 적어도 하나 이상의 제1 슬릿구간에서 상기 중첩 구간을 제외한 구간에 제2 슬릿각도를 가지는 적어도 하나 이상의 금속슬릿을 새기는 단계;상기 적어도 하나 이상의 제2 슬릿구간에서 상기 중첩 구간을 제외한 구간에 제3 슬릿각도를 가지는 적어도 하나 이상의 금속슬릿을 새기는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초절 조정 장치의 제조 방법
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