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금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법에 있어서,포일 형태의 금속 기판 상에 확산 방지막을 형성하는 단계; 및상기 확산 방지막 상에 전이금속 전구체 및 칼코겐 함유 기체를 공급하여 금속 칼코게나이드 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 기판은, 두께가 25 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 기판은 Cu, Ni, Pt, Fe, Au, brass, 및 스테인레스 스틸(strainless steel) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 확산 방지막은 Al2O3, HfO2, SiO2, Si3N4, SrTiO3, 수정 (quartz), 유리(glass), mica(운모), 그래핀(graphene), 그라파이트(graphite), hBN, Cu2O, CuO, Cu2O3, NiO, Ni2O3, PtO2, PtO, Pt3O4, FeO, Fe3O4, Fe4O5, 및 Fe2O3 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 확산 방지막은, 절연체, 그래핀, 상기 금속 기판을 산화하여 형성한 산화막 및 이들이 조합된 다층 구조 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 칼코게나이드 박막은 MX2 (여기서, M은 Mo, W, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Tc, Re, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt 중 적어도 어느 하나이고, X는 S, Se, Te 중 적어도 어느 하나이다
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제1항에 있어서, 상기 칼코겐 함유 기체는 S, Se, Te 중 적어도 어느 하나를 함유하는 기체, H2S, H2Se, 및 H2Te 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 칼코게나이드 박막을 형성하는 단계는 롤투롤(Roll-to-roll) 공정에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 칼코게나이드 박막을 최종 기판으로 전사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 전사하는 단계는,상기 금속 칼코게나이드 박막 상에 지지 기판을 형성하는 단계;상기 금속 기판 및 확산 방지막을 제거하는 단계; 및상기 금속 칼코게나이드 박막을 상기 최종 기판으로 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 지지 기판을 형성하는 단계는, 전사 테이프를 이용하여 상기 지지 기판을 상기 금속 칼코게나이드 박막 상에 부착하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 전사하는 단계는 롤투롤 공정에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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