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감쇠장과 상호 작용하는 광도파로형 포화 흡수체를 제조하는 방법으로서,(a) 웨이퍼 상에 배열식 광도파로를 제작하는 단계;(b) 단계 (a)에서 제작된 배열식 광도파로를 진행하는 빛의 감쇠장이 표면에 누설되도록 상기 배열식 광도파로의 상부를 일정한 간격을 두고 선택적으로 제거하고, 상기 제거된 부분을 포함한 배열식 광도파로 상부에 포화 흡수 물질을 코팅하여 일정한 간격을 가지는 배열식 포화 흡수체를 제작하는 단계; 및(c) 단계 (b)에서 제작된 일정한 간격을 가지는 배열식 포화 흡수체를 다이싱하여 개별 분리시키는 단계;를 포함하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계 (a)는(Ⅰ) 웨이퍼를 준비하는 단계;(Ⅱ) 단계 (Ⅰ)에서 준비된 웨이퍼 상에 상기 웨이퍼의 굴절률보다 높은 굴절률을 갖는 코어층을 증착하는 단계;(Ⅲ) 단계 (Ⅱ)에서 증착된 코어층을 포토리소그래피(photolithography) 및 에칭(etching) 공정을 통해 배열식 광도파로 코어를 제작하는 단계; 및(Ⅳ) 단계 (Ⅲ)에서 제작된 배열식 광도파로 코어를 포함한 웨이퍼 상에 상기 코어층보다 낮은 굴절률을 갖는 클래딩층을 증착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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청구항 2에 있어서,상기 단계 (Ⅱ)에서 상기 단계 (Ⅰ)에서 준비된 웨이퍼의 굴절률이 상기 코어층의 굴절률보다 높을 경우, 상기 웨이퍼 상에 상기 코어층의 굴절률보다 낮은 굴절률을 갖는 클래딩층을 증착하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 포화 흡수 물질은 물질에 입력되는 빛의 세기가 증가함에 따라 빛이 겪는 손실률이 감소하는 비선형 손실을 갖는 물질인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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청구항 4에 있어서,상기 비선형 손실을 갖는 물질은 탄소 나노 구조물 또는 위상학적 절연체 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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청구항 5에 있어서,상기 탄소 나노 구조물은 그래핀 또는 탄소 나노관 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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청구항 5에 있어서,상기 위상학적 절연체는 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 웨이퍼는 실리콘 또는 실리카 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체 제조 방법
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감쇠장과 상호 작용하는 광도파로형 포화 흡수체로서,기판;상기 기판 상의 일면에 도파로 형태로 형성된 코어층;상기 코어층을 포함한 기판 상에 형성되며 상기 코어층을 도파하는 빛의 감쇠장이 표면에 누설되도록 형성된 클래딩층; 및상기 클래딩층 상에 형성되며 상기 클래딩층 표면에 누설된 빛의 감쇠장과 상호 작용하는 포화 흡수층;을 포함하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체
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청구항 9에 있어서,상기 기판은 상기 코어층의 굴절률보다 낮은 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체
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청구항 9에 있어서,상기 기판이 상기 코어층의 굴절률보다 높을 경우, 상기 코어층의 굴절률보다 낮은 하부 클래딩층;을 더 포함하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체
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12
청구항 9에 있어서,상기 포화 흡수층은 물질에 입력되는 빛의 세기가 증가함에 따라 빛이 겪는 손실률이 감소하는 비선형 손실을 갖는 물질인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체
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청구항 12에 있어서,상기 비선형 손실을 갖는 물질은 탄소 나노 구조물 또는 위상학적 절연체 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체
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청구항 13에 있어서,상기 탄소 나노 구조물은 그래핀 또는 탄소 나노관 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체
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청구항 14에 있어서,상기 위상학적 절연체는 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체
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청구항 9 또는 15에 기재된 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체는 기판 공정시 일정한 간격을 가지는 직사각형 형태의 배열식으로 구성되어 개별 분리하도록 제작된 배열식 포화 흡수체
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청구항 9 또는 15에 기재된 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체를 이용하여 광섬유 기반으로 제작된 펄스 레이저 장치
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청구항 9 또는 15에 기재된 감쇠장 상호 작용을 이용한 광도파로형 포화 흡수체를 이용하여 광도파로 기반으로 제작된 펄스 레이저 장치
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청구항 17 또는 18에 기재된 펄스 레이저 장치를 이용한 펄스 레이저
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