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웨이퍼 상에 서로 일정한 간격으로 이격되어 배치되는 복수의 광도파로를 포함하는 광도파로 어레이를 형성하는 단계; 상기 복수의 광도파로 각각의 수직 경계면 - 상기 수직 경계면은 상기 웨이퍼가 연장하는 평면에 대하여 수직 방향으로 형성됨 - 의 적어도 일부를 감싸는 오버클래딩층을 형성하는 단계; 상기 복수의 광도파로 각각의 적어도 일부를 도파하는 빛의 감쇠장과 상호작용할 수 있는 영역으로서 상기 수직 경계면에 인접한 영역에 포화 흡수 물질을 배치하는 단계; 및 상기 웨이퍼를 절단하여 상기 복수의 광도파로 각각에 대응하는 복수의 광도파로형 포화 흡수체로 분리하는 단계를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 오버클래딩층의 일부를 제거하여 상기 빛의 감쇠장과 상호작용할 수 있는 영역을 형성하는 단계를 더 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 광도파로 어레이를 형성하는 단계는, 상기 웨이퍼 상에 코어층을 형성하는 단계; 및 상기 코어층의 적어도 일부를 제거하여 상기 복수의 광도파로를 형성하는 단계를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 코어층은 상기 웨이퍼보다 높은 굴절률을 가지는 물질을 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 광도파로 어레이를 형성하는 단계는, 상기 웨이퍼 상에 패터닝된 마스크를 형성하는 단계; 및이온 교환 공정을 통해 상기 복수의 광도파로를 형성하는 단계를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 복수의 광도파로 각각은 직사각형 형태의 단면을 가지고 연장하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 포화 흡수 물질은 탄소 나노 구조물 또는 위상학적 절연체 중 적어도 하나를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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웨이퍼;상기 웨이퍼의 일면 상에 형성된 서로 일정한 간격으로 이격되어 배치되는 복수의 광도파로를 포함하는 광도파로 어레이;상기 복수의 광도파로 각각의 수직 경계면 - 상기 수직 경계면은 상기 웨이퍼가 연장하는 평면에 대하여 수직 방향으로 형성됨 - 의 적어도 일부를 감싸는 오버클래딩층; 및 상기 복수의 광도파로 각각의 적어도 일부를 도파하는 빛의 감쇠장과 상호작용할 수 있는 영역으로서 상기 수직 경계면에 인접한 영역에 배치된 포화 흡수 물질을 포함하는 포화 흡수체 어레이
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웨이퍼 상에 서로 일정한 간격으로 이격되어 배치되는 복수의 광도파로를 포함하는 광도파로 어레이를 형성하는 단계; 상기 복수의 광도파로 각각을 도파하는 빛이 투과할 수 있는 영역으로서 상기 복수의 광도파로 각각의 수직 경계면 - 상기 수직 경계면은 상기 웨이퍼가 연장하는 평면에 대하여 수직 방향으로 형성됨 - 의 적어도 일부에 인접한 영역에 포화 흡수 물질을 배치하는 단계; 및 상기 웨이퍼를 절단하여 상기 복수의 광도파로 각각에 대응하는 복수의 광도파로형 포화 흡수체로 분리하는 단계를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 복수의 광도파로 각각의 적어도 일부를 제거하여 상기 복수의 광도파로 각각을 도파하는 빛이 투과할 수 있는 영역을 형성하는 단계를 더 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 광도파로 어레이를 형성하는 단계는, 상기 웨이퍼 상에 코어층을 형성하는 단계; 및 상기 코어층의 적어도 일부를 제거하여 상기 복수의 광도파로를 형성하는 단계를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 코어층은 상기 웨이퍼보다 높은 굴절률을 가지는 물질을 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 광도파로 어레이를 형성하는 단계는, 상기 웨이퍼 상에 패터닝된 마스크를 형성하는 단계; 및이온 교환 공정을 통해 상기 복수의 광도파로를 형성하는 단계를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 복수의 광도파로 각각은 직사각형 형태의 단면을 가지고 연장하는, 포화 흡수체 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 포화 흡수 물질은 탄소 나노 구조물 또는 위상학적 절연체 중 적어도 하나를 포함하는, 포화 흡수체 제조 방법
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웨이퍼;상기 웨이퍼의 일면 상에 형성된 서로 일정한 간격으로 이격되어 배치되는 복수의 광도파로를 포함하는 광도파로 어레이; 및 상기 복수의 광도파로 각각을 도파하는 빛이 투과할 수 있는 영역으로서 상기 복수의 광도파로 각각의 수직 경계면 - 상기 수직 경계면은 상기 웨이퍼가 연장하는 평면에 대하여 수직 방향으로 형성됨 - 의 적어도 일부에 인접한 영역에 배치된 포화 흡수 물질을 포함하는 포화 흡수체 어레이
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제1항 또는 제10항에 기재된 포화 흡수체 제조 방법을 이용하여 제조된 포화 흡수체를 포함하는, 광섬유 기반의 펄스 레이저 장치
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제1항 또는 제10항에 기재된 포화 흡수체 제조 방법을 이용하여 제조된 포화 흡수체를 포함하는, 광도파로 기반의 펄스 레이저 장치
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