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증착용 불소계고분자 복합 타겟(Fluoropolymer composite target for deposition)

  • 기술번호 : KST2016014601
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 RF 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟은 전압을 인가하는 금속 전극과의 접합력이 우수하고, 휨 발생을 억제할 수 있으며, 전도성을 부여함으로써 향상된 플라즈마 형성이 가능하여 불소계고분자의 절연파괴를 방지 및 우수한 증착율을 나타낼 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/12 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/14 (2006.01.01) H01B 1/04 (2006.01.01) H01B 1/12 (2006.01.01)
CPC C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01)
출원번호/일자 1020160010440 (2016.01.28)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-2020319-0000 (2019.09.04)
공개번호/일자 10-2016-0092947 (2016.08.05) 문서열기
공고번호/일자 (20190911) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020150131751   |   2015.09.17
대한민국  |   1020150013556   |   2015.01.28
대한민국  |   1020150099731   |   2015.07.14
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020170111191;1020170171497;
심사청구여부/일자 Y (2016.01.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상진 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재흥 대한민국 대전광역시 유성구
3 최우진 대한민국 대전광역시 유성구
4 김철환 대한민국 경상남도 밀양시 중앙로 ***
5 김성현 대한민국 경상남도 김해시 인제로 ***
6 조성근 대한민국 대전광역시 서구
7 함동석 대한민국 대전시 유성구
8 김광제 대한민국 충청남도 공주시
9 박동순 대한민국 대전광역시 유성구
10 박재성 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0093038-37
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0157236-31
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0420029-43
4 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2017.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0060652-16
5 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2017.08.31 취하 (Withdrawal) 1-1-2017-0847284-16
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0848157-05
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0848171-34
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0709131-94
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2017.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-1117805-61
12 법정기간연장승인서
 2017.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0164066-87
13 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2017.12.08 취하 (Withdrawal) 1-1-2017-1223293-93
14 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2017.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1243290-14
15 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2018.01.15 수리 (Accepted) 7-8-2018-0000900-05
16 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0189657-13
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.05.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0489487-59
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0489583-34
19 등록결정서
Decision to grant		 2019.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0469059-10
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
불소계고분자, 및전도성입자, 전도성고분자 및 금속성분에서 선택되는 하나 이상의 도전성 기능화제, 입자 성분을 포함하는 혼합물을 열성형하여 제조된 RF 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟을 RF 스퍼터링 챔버 내에 전극면과 접촉하는 단계와 전극면과 접촉된 상기 불소계고분자 복합 타겟에 RF를 인가하여 증착하는 단계를 포함하는 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
2 2
제1항에 있어서,금속유기물, 금속산화물, 금속탄소체, 금속수산화물, 금속카보네이트, 금속바이카보네이트, 금속질화물 및 금속불화물에서 선택되는 하나 이상의 금속화합물을 더 포함하는 것인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
3 3
제1항에 있어서,상기 전도성입자는 카본나노튜브, 카본나노섬유, 카본블랙, 그래핀, 그라파이트 및 탄소섬유에서 선택되는 하나 이상인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
4 4
제1항에 있어서,상기 전도성 고분자는 폴리아닐린, 폴리아세틸렌, 폴리티오펜, 폴리피롤, 폴리플루렌, 폴리피렌, 폴리아줄렌, 폴리나프탈렌, 폴리페닐렌, 폴리페닐렌비닐렌, 폴리카르바졸, 폴리인돌, 폴리아제핀, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌비닐렌, 폴리페닐렌설파이드, 폴리퓨란, 폴리셀레노펜 및 폴리텔루로펜에서 선택되는 하나 이상인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
5 5
제1항에 있어서,상기 금속성분은 Cu, Al, Ag, Au, W, Mg, Ni, Mo, V, Nb, Ti, Pt, Cr 및 Ta 에서 선택되는 하나 이상인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
6 6
제2항에 있어서, 상기 금속화합물은 SiO2, Al2O3, ITO, IGZO, ZnO, In2O3, SnO2, TiO2, AZO, ATO, SrTiO3, CeO2, MgO, NiO, CaO, ZrO2, Y2O3, Al2O3, MgF2, CuF2, Si3N4, CuN 및 AlN에서 선택되는 하나 이상인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 불소계고분자는 폴리테트라 플루오로에틸렌, 폴리클로로트리플루오로에틸렌, 폴리비닐리덴디플루오라이드, 플로린화 에틸렌 프로필렌 공중합체, 에틸렌-테트라플루오로에틸렌 공중합체 , 에틸렌-클로로트리플루오로 에틸렌 공중합체, 퍼플루오로알콕시 공중합체, 비닐플루오라이드 단일중합체 고무, 비닐플루오라이드 공중합체 고무, 비닐리덴플루오라이드 단일중합체 고무 및 비닐리덴플루오라이드 공중합체 고무에서 선택되는 하나 이상인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
8 8
삭제
9 9
제2항에 있어서,상기 불소계고분자 복합 타겟은 두께 방향으로 상기 도전성 기능화제 또는 도전성 기능화제와 금속화합물의 혼합성분의 함량 구배를 가지도록 제조되는 것인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
10 10
제9항에 있어서,상기 구배는 전극면을 향하여 도전성 기능화제 또는 도전성 기능화제와 금속화합물의 혼합성분의 함량이 높고, 피착체의 방향으로는 도전성 기능화제 또는 도전성 기능화제와 금속화합물의 혼합성분의 함량이 감소되도록 전극면상에 접착되는 것이거나 또는 그 반대로 접착된 것인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
11 11
제 9항에 있어서,상기 불소계고분자 복합 타겟의 구배는 2 단 이상의 복합 타겟이 적층된 형태로 열성형되어 제조되거나 연속적인 함량의 구배를 가지는 것인 RF스퍼터링에 의해 플라즈마화된 불소계고분자의 증착막 형성방법
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
삭제
15 15
삭제
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4 KR1020160092896 KR 대한민국 FAMILY
5 KR1020160092897 KR 대한민국 FAMILY
6 KR1020160092904 KR 대한민국 FAMILY
7 KR1020160092948 KR 대한민국 FAMILY
8 KR1020170102858 KR 대한민국 FAMILY
9 KR1020170140148 KR 대한민국 FAMILY
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11 WO2016122223 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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7 KR20160092948 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
8 KR20170102858 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
9 KR20170127396 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
10 KR20170140148 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
11 US2018277341 US 미국 DOCDBFAMILY
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1 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 기능성 코팅 소재 및 공정 개발 지원