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양극; 및방전 공간을 형성하기 위해 상기 양극의 상방에 제1 간격만큼 이격되도록 제1 음극 및 제2 음극이 배치되고, 상기 제1 음극 및 제2 음극은 상기 방전 공간에서 형성된 이온빔을 인출하기 위해 서로 제2 간격만큼 이격되는 음극을 포함하고,상기 제1 음극 및 제2 음극은 각각, 상기 방전 공간을 확장하기 위해 상기 양극과 마주보는 저면과 상기 제1 음극과 상기 제2 음극이 서로 마주보는 측면이 만나는 모서리에 제1 경사부; 및상기 인출되는 이온빔에 의한 식각이나 스퍼터링에 상기 제1 음극과 상기 제2 음극이 손상되어 상기 제2 간격이 넓어지는 것을 방지하기 위해, 상기 제1 음극 및 제2 음극은 각각, 상기 제1 음극과 상기 제2 음극이 서로 마주보는 측면에서 상기 제1 경사부와 연속하도록 상기 제1 경사부의 상방에 배치되는 수직부를 가지고, 상기 수직부는 1 ~ 5 mm의 간격으로 형성되고, 상기 제1 경사부는 제1 음극과 제2 음극의 저면에서 상기 수직부보다 6 mm 이내의 크기만큼 큰 간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이온빔 소스
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제1항에 있어서, 상면에 일정한 깊이로 형성되는 내부 공간을 갖는 몸체를 더 포함하고, 상기 양극은 상기 내부 공간에 배치되며, 상기 음극은 상기 몸체의 상면에 상기 내부 공간을 노출하도록 배치되며, 상기 음극을 상기 몸체에 정확하게 위치시키기 위해 상기 음극의 하부면에 상기 몸체의 상면과 대응하는 형태의 체결홈을 가지며, 상기 체결홈은 한 개의 홈이 연장된 형태 또는 다수 개의 홈이 일정 간격으로 배열된 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 소스
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제1항에 있어서, 상기 제1 음극 및 제2 음극은 각각, 상기 인출되는 이온빔의 확산을 위해 상기 제1 음극과 상기 제2 음극이 서로 마주보는 측면에서 상기 수직부와 연속하도록 상기 수직부의 상방에 배치되는 제2 경사부를 갖는 것을 특징으로 하는 이온빔 소스
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제3항에 있어서, 상기 제1 경사부의 높이는 0 내지 5 mm이며, 상기 수직부의 높이는 0
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제4항에 있어서, 상기 제1 간격은 1 내지 5 mm인 것을 특징으로 하는 이온빔 소스
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