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권출롤러(111) 및 권취롤러(112)에 의하여 이동되는 유연 기판(500)에, 용매에 전도성 입자가 함유된 형태로 이루어지는 전도성 잉크를 사용하여 패턴을 인쇄하여 전자 소자를 제작하는 인쇄 장치에 있어서,상기 권출롤러(111) 및 상기 권취롤러(112) 사이에 배치되며, 상기 유연 기판(500) 상에 인쇄를 통해 전도성 잉크로 이루어지는 인쇄 패턴을 형성하는 인쇄기(120);상기 권출롤러(111) 및 상기 권취롤러(112) 사이에 배치되되 상기 인쇄기(120) 후단에 배치되어, 인쇄 패턴에 열처리를 수행하여 경화시키는 열처리기(130);를 포함하여 이루어지되, 상기 열처리기(130)는상기 인쇄기(120) 후단에 배치되며, 상기 인쇄기(120)에 의하여 만들어진 인쇄 패턴의 용매를 건조시키되, 함체 형태로 형성되어 상기 유연 기판(500)을 통과시키면서 상기 유연 기판(500)의 상부로부터 IR(infrared)을 조사하고 하부로부터 열풍을 유입시켜 용매를 건조시키도록 이루어지는 IR 건조기(131),상기 IR 건조기(130)의 후단에 배치되며, 상기 IR 건조기(131)에 의하여 용매가 건조된 인쇄 패턴에 잔존된 전도성 입자를 IPL(Intense Pulsed Light)을 이용하여 소결시키는 IPL 소결기(132)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤투롤 IR-IPL 열처리기를 사용하는 인쇄 장치
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제 1항에 있어서, 상기 열처리기(130)는상기 IR 건조기(131)에 의하여 인쇄 패턴 내 용매를 80 ~ 100 % 범위 내의 양만큼 기화시키고,상기 IPL 소결기(132)에 의하여 잔존된 용매 기화 및 전도성 입자의 소결이 수행되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 IR-IPL 열처리기를 사용하는 인쇄 장치
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제 1항에 있어서, 상기 열처리기(130)는상기 IR 건조기(131)의 길이가 1 ~ 2 m 범위 내로 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 IR-IPL 열처리기를 사용하는 인쇄 장치
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제 1항에 있어서, 상기 IR 건조기(131)는함체 형태로 형성되는 몸체(1311),상기 몸체(1311) 일측에 형성되어 상기 몸체(1311) 내로 상기 유연 기판(500)을 유입시키는 유입슬릿(1312),상기 몸체(1311) 타측에 형성되어 상기 몸체(1311)로부터 상기 유연 기판(500)을 배출시키는 배출슬릿(1313),상기 몸체(1311) 내측 상단에 구비되어 상기 유연 기판(500)으로 IR을 조사하는 다수 개의 IR램프(1314),상기 몸체(1311) 하부에 형성되어 상기 몸체(1311) 내로 열풍을 유입시키는 열풍유입구(1315),상기 몸체(1311) 상부에 형성되어 상기 몸체(1311)로부터 공기를 배출하는 공기배출구(1316),상기 몸체(1311) 내부 상기 유입슬릿(1312) 측에 구비되어 상기 유연 기판(500) 측 온도를 측정하는 기판온도센서(1317),상기 몸체(1311) 내부 상기 IR램프(1314) 측에 구비되어 상기 IR램프(1314) 측 온도를 측정하는 IR온도센서(1318),상기 몸체(1311) 내부 상기 열풍유입구(1315) 측에 구비되어 유입되는 열풍 온도를 측정하는 열풍온도센서(1319)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤투롤 IR-IPL 열처리기를 사용하는 인쇄 장치
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제 1항에 의한 인쇄 장치를 이용하여 전자 소자를 제작하는 인쇄 방법에 있어서,상기 인쇄기(120)에 의하여, 상기 권출롤러(111)로부터 풀려나온 상기 유연 기판(500) 상에 인쇄를 통해 전도성 잉크로 이루어지는 인쇄 패턴이 형성되는 인쇄 단계;상기 IR 건조기(131)에 의하여, 상기 인쇄기(120)에 의하여 만들어진 인쇄 패턴의 용매가 건조되는 IR 건조 단계;상기 IPL 소결기(132)에 의하여, 용매가 건조된 인쇄 패턴에 잔존된 전도성 입자가 소결되는 IPL 소결 단계;상기 IR 건조기(131) 및 상기 IPL 소결기(132)에 의하여 열처리가 완료된 패턴이 인쇄된 상기 유연 기판(500)이 상기 권취롤러(112)에 감기는 전자 소자 제작 완료 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤투롤 IR-IPL 열처리기를 사용하는 인쇄 방법
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제 5항에 있어서, 상기 IR 건조 단계는인쇄 패턴 내 용매를 80 ~ 100 % 범위 내의 양만큼 기화시키도록,60 ~ 120 초 범위 내의 시간 동안 IR가 조사되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 IR-IPL 열처리기를 사용하는 인쇄 방법
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제 5항에 있어서, 상기 IPL 소결 단계는상기 IR 건조 단계 이후 잔존된 용매를 기화시키고 전도성 입자를 소결시키도록,10 ~ 20 ms 범위 내의 시간 동안 2 ~ 60 J/cm2 범위 내의 에너지밀도를 가지는 IPL이 조사되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 IR-IPL 열처리기를 사용하는 인쇄 방법
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