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제1 방향으로 연장되는 슬릿을 포함하는 진공 용기;상기 슬릿에 삽입되어 상기 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하는 수납 공간을 포함하고, 도전성 재질로 형성되고, 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 발생시키고, 상기 수납 공간에 각각 연통되는 복수의 노즐부를 통하여 상기 증기를 분사하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 증발 도가니;유도 전기장을 형성하고, 상기 증발 도가니를 유도 가열하고 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기의 외부에 배치되어 상기 증발 도가니를 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및상기 진공 용기의 상기 슬릿 주위에 결합하여 상기 진공 용기를 밀폐시키고 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이에 배치되고, 상기 유도 가열 코일에 의하여 형성된 유도 전기장을 투과시키고, 상기 제1 방향으로 연장되는 유전체 창문을 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 증발 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되고 상기 증착 물질을 수납하는 상기 수납 공간;상기 제1 방향으로 배열된 노즐 결합 관통홀들을 포함하고 상기 수납 공간을 둘러싸고 있는 사각통 형상인 몸체부;상기 몸체부의 측면에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 돌출되어 상기 진공 용기의 상기 슬릿에 결합하는 폭방향 걸림부; 및 각각의 외주면에 형성된 결합 나사산을 포함하고, 상기 수납 공간의 내부로 삽입되어 배치되고, 상기 수납 공간과 연통되고, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 노즐부;를 포함하고,상기 노즐 결합 관통홀은 상기 결합 나사산과 나사 결합하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제2 항에 있어서,상기 노즐부는: 상기 수납 공간 내에 배치되고 그 중심에 관통홀을 가지는 분출 노즐; 및상기 분출 노즐에 의하여 압착되어 상기 노즐 결합 관통홀을 밀봉하는 개스킷부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제2 항에 있어서,상기 폭방향 걸림부와 상기 진공 용기 사이에 배치되는 단열부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제2 항에 있어서,상기 몸체부는 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 몸체부의 상부면에 배치된 몸체부 상판을 포함하고, 상기 몸체부 상판은 상기 몸체부와 용접되어 일체화되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 증발 도가니는 상기 진공 용기의 하부면에 배치되고, 중력 방향에 반하여 증기를 상향식으로 분사하여 기판에 박막을 형성하고,상기 증발 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되고 상기 증착 물질을 수납하는 수납 공간;상부면에 상기 제1 방향으로 배열된 노즐 결합 관통홀들을 포함하고 상기 수납 공간을 둘러싸고 있는 사각통 형상인 몸체부;상기 몸체부의 측면에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 돌출되어 상기 진공 용기의 상기 슬릿의 턱에 결합하는 폭방향 걸림부; 및각각의 외주면의 상부에 형성된 결합 나사산을 포함하고, 상기 노즐 결합 관통홀에 각각 삽입되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 상기 수납 공간과 연통되고, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 노즐부;를 포함하고,상기 결합 나사산은 상기 노즐 결합 관통홀과 나사 결합하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제6 항에 있어서,상기 노즐부는: 상기 수납 공간 내에 배치되고 그 중심에 관통홀을 가지는 분출 노즐; 및상기 수납 공간을 밀봉하는 개스킷부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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8
제1 항에 있어서,상기 증발 도가니는 중력 방향으로 증기를 하향식으로 분사하여 기판에 박막을 형성하고,상기 증발 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되고 상기 증착 물질을 수납하는 수납 공간;상기 제1 방향으로 배열된 노즐 결합 관통홀들을 포함하고 상기 수납 공간을 둘러싸고 있는 사각통 형상인 몸체부;상기 몸체부의 측면에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 돌출되어 상기 진공 용기의 상기 슬릿의 턱에 결합하는 폭방향 걸림부; 및 각각의 외주면의 하부에 형성된 결합 나사산을 포함하고, 상기 진공 용기의 내부를 향하여 배치되고, 상기 노즐 결합 관통홀에 각각 삽입되어, 상기 결합 나사산과 상기 노즐 결합 관통홀은 나사 결합하고, 상기 수납 공간과 연통되고, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제8 항에 있어서,상기 증기를 안내하는 노즐 뚜껑을 더 포함하고,상기 노즐 뚜껑은:상기 가이드 분출 노즐을 감싸도록 배치되고 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하고 측면을 따라 복수의 관통홀을 포함하고, 일단이 개방되고 타단은 막힌 원통 형상의 뚜껑 몸체부; 및상기 고정 분출 노즐의 외주면에 삽입되어 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하는 위치 조절 너트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 유전체 창문은 그 하부면에 적외선을 반사하는 반사 코팅을 포함하고,상기 반사 코팅은 상기 증발 도가니를 유도 가열할 때 상기 제1 방향으로 온도를 균일하게 하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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11
제1 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은 상기 유전체 창문의 배치 평면 상에 배치되고 상기 제1 방향으로 연장되는 제1 유도 가열 라인 및 상기 제1 유도 가열 라인과 나란히 연장되는 제2 유도 가열 라인을 포함하고,상기 제1 유도 가열 라인 및 상기 제2 유도 가열 라인은 전기적으로 직렬 연결되고,상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 공급하는 교류 전원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은 상기 유전체 창문의 배치 평면에 수직한 방향으로 절곡되어 상기 제1 방향으로 연장되고,상기 증발 도가니의 위치에 따라 가열 온도를 제어하기 위하여 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이의 거리는 상기 증발 도가니의 위치에 따라 다른 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은:상기 진공 용기의 중심 부위에서 상기 제1 방향으로 연장되는 제1 유도 가열 코일; 및상기 진공 용기의 양측 가장 자리 부위에서 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 및 제3 유도 가열 코일을 포함하고,상기 제1 유도 가열 코일은 제1 교류 전원에 연결되고,상기 제2 유도 가열 코일은 제2 교류 전원에 연결되고,상기 제3 유도 가열 코일은 제3 교류 전원에 연결되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제2 항에 있어서,상기 몸체부는 상기 제2 방향으로 관통하는 관통홀과 상기 관통홀에 탈부착되어 상기 수납 공간에 상기 증착 물질을 재충전하기 위한 마개부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 방향으로 연장되는 슬릿을 포함하는 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하는 수납 공간을 포함하고, 도전성 재질로 형성되고, 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 발생시키고, 상기 수납 공간에 각각 연통되는 복수의 노즐부를 통하여 상기 증기를 분사하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 증발 도가니;유도 전기장을 형성하고, 상기 증발 도가니를 유도 가열하고 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기의 외부에 배치되어 상기 증발 도가니를 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및상기 진공 용기의 상기 슬릿 주위에 결합하여 상기 진공 용기를 밀폐시키고 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이에 배치되고, 상기 유도 가열 코일에 의하여 형성된 유도 전기장을 투과시키고, 상기 제1 방향으로 연장되는 유전체 창문을 포함하고,상기 증발 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되고 상기 증착 물질을 수납하는 상기 수납 공간;상기 제1 방향으로 배열된 노즐 결합 관통홀들을 포함하고 상기 수납 공간을 둘러싸고 있는 사각통 형상인 몸체부; 및 상기 수납 공간의 내부로 삽입되어 배치되고, 상기 노즐 결합 관통홀에 각각 삽입되고, 상기 수납 공간과 연통되고, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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