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유도 가열 선형 증발 증착 장치(Inductive Heating Linear Evaporation Deposition Apparatus)

  • 기술번호 : KST2016014700
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 선형 증발 증착 장치를 제공한다. 이 선형 증발 증착 장치는 제1 방향으로 연장되는 슬릿을 포함하는 진공 용기; 상기 슬릿에 삽입되어 상기 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하는 수납 공간을 포함하고, 도전성 재질로 형성되고, 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 발생시키고, 상기 수납 공간에 각각 연통되는 복수의 노즐부를 통하여 상기 증기를 분사하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 증발 도가니; 유도 전기장을 형성하고, 상기 증발 도가니를 유도 가열하고 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기의 외부에 배치되어 상기 증발 도가니를 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및 상기 진공 용기의 상기 슬릿 주위에 결합하여 상기 진공 용기를 밀폐시키고 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이에 배치되고, 상기 유도 가열 코일에 의하여 형성된 유도 전기장을 투과시키고, 상기 제1 방향으로 연장되는 유전체 창문을 포함한다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020150015306 (2015.01.30)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0094122 (2016.08.09) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020160038076;
심사청구여부/일자 Y (2015.01.30)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이주인 대한민국 대전광역시 유성구
2 신용현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0105747-82
2 보정요구서
Request for Amendment		 2015.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0081496-57
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0460081-65
4 보정요구서
Request for Amendment		 2015.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0087206-74
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0517188-66
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0086898-57
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0303899-36
8 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2016.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0303913-99
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0303871-69
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0551004-53
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.09.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0858473-62
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0858492-29
13 등록결정서
Decision to grant		 2017.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0018992-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
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제1 방향으로 연장되는 슬릿을 포함하는 진공 용기;상기 슬릿에 삽입되어 상기 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하는 수납 공간을 포함하고, 도전성 재질로 형성되고, 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 발생시키고, 상기 수납 공간에 각각 연통되는 복수의 노즐부를 통하여 상기 증기를 분사하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 증발 도가니;유도 전기장을 형성하고, 상기 증발 도가니를 유도 가열하고 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기의 외부에 배치되어 상기 증발 도가니를 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및상기 진공 용기의 상기 슬릿 주위에 결합하여 상기 진공 용기를 밀폐시키고 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이에 배치되고, 상기 유도 가열 코일에 의하여 형성된 유도 전기장을 투과시키고, 상기 제1 방향으로 연장되는 유전체 창문을 포함하고,상기 증발 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되고 상기 증착 물질을 수납하는 상기 수납 공간;상기 제1 방향으로 배열된 노즐 결합 관통홀들을 포함하고 상기 수납 공간을 둘러싸고 있는 사각통 형상인 몸체부;상기 몸체부의 측면에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 돌출되어 상기 진공 용기의 상기 슬릿에 결합하는 폭방향 걸림부; 및 각각의 외주면에 형성된 결합 나사산을 포함하고, 상기 수납 공간의 내부로 삽입되어 배치되고, 상기 수납 공간과 연통되고, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 노즐부;를 포함하고,상기 노즐 결합 관통홀은 상기 결합 나사산과 나사 결합하고,상기 노즐부는: 상기 수납 공간 내에 배치되고 그 중심에 관통홀을 가지는 분출 노즐; 및상기 분출 노즐에 의하여 압착되어 상기 노즐 결합 관통홀을 밀봉하는 개스킷부를 포함하고,상기 분출 노즐은:상기 수납 공간의 내부에 배치되고 일정한 내직경의 제1 관통홀을 가지고 원통 형상의 상부 노즐;상기 수납 공간의 내부에 배치되고 내직경이 점차 증가하는 제2 관통홀을 가지고 상기 상부 노즐에 연속적으로 연결되고 외직경 및 내직경이 점차 증가하는 테이퍼 노즐; 일정한 직경의 제3 관통홀을 가지고 상기 테이퍼 노즐에 연속적으로 연결되고 원통 형상의 하부 노즐; 및상기 수납 공간의 외부에 배치되고 상기 하부 노즐에 연결되는 와셔 형상인 노즐 플랜지를 포함하고,상기 결합 나사산은 상기 하부 노즐의 외주면에 형성된 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
5 5
제4 항에 있어서,상기 상부 노즐은: 상기 증기를 가이드하고 일정한 외직경을 가지는 가이드 상부 노즐; 및상기 가이드 상부 노즐에 연결되고 상기 가이드 상부 노즐의 외직경보다 큰 외직경을 가지는 고정 상부 노즐을 포함하고,상기 고정 상부 노즐은 외측면에 형성된 위치 조절 나사산을 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
6 6
제5 항에 있어서,상기 증기를 안내하는 노즐 뚜껑을 더 포함하고,상기 노즐 뚜껑은:상기 상부 노즐을 감싸도록 배치되고 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하고 그 측면을 따라 복수의 관통홀을 포함하고, 일단이 개방되고 타단은 막힌 원통 형상의 뚜껑 몸체부; 및상기 고정 상부 노즐의 외주면에 삽입되어 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하는 위치 조절 너트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
7 7
제4 항에 있어서,상기 폭방향 걸림부와 상기 진공 용기 사이에 배치되는 단열부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
8 8
제4 항에 있어서,상기 몸체부는 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 몸체부의 상부면에 배치된 몸체부 상판을 포함하고, 상기 몸체부 상판은 상기 몸체부와 용접되어 일체화되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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제1 방향으로 연장되는 슬릿을 포함하는 진공 용기;상기 슬릿에 삽입되어 상기 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하는 수납 공간을 포함하고, 도전성 재질로 형성되고, 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 발생시키고, 상기 수납 공간에 각각 연통되는 복수의 노즐부를 통하여 상기 증기를 분사하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 증발 도가니;유도 전기장을 형성하고, 상기 증발 도가니를 유도 가열하고 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기의 외부에 배치되어 상기 증발 도가니를 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및상기 진공 용기의 상기 슬릿 주위에 결합하여 상기 진공 용기를 밀폐시키고 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이에 배치되고, 상기 유도 가열 코일에 의하여 형성된 유도 전기장을 투과시키고, 상기 제1 방향으로 연장되는 유전체 창문을 포함하고,상기 증발 도가니는 상기 진공 용기의 하부면에 배치되고, 중력 방향에 반하여 증기를 상향식으로 분사하여 기판에 박막을 형성하고,상기 증발 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되고 상기 증착 물질을 수납하는 수납 공간;상부면에 상기 제1 방향으로 배열된 노즐 결합 관통홀들을 포함하고 상기 수납 공간을 둘러싸고 있는 사각통 형상인 몸체부;상기 몸체부의 측면에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 돌출되어 상기 진공 용기의 상기 슬릿의 턱에 결합하는 폭방향 걸림부; 및각각의 외주면의 상부에 형성된 결합 나사산을 포함하고, 상기 노즐 결합 관통홀에 각각 삽입되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 상기 수납 공간과 연통되고, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 노즐부;를 포함하고,상기 결합 나사산은 상기 노즐 결합 관통홀과 나사 결합하고,상기 노즐부는: 상기 수납 공간 내에 배치되고 그 중심에 관통홀을 가지는 분출 노즐; 및상기 수납 공간을 밀봉하는 개스킷부를 포함하고,상기 분출 노즐은:상기 수납 공간의 내부에 배치되고 일정한 내직경의 제1 관통홀을 가지고 원통 형상인 하부 노즐;상기 수납 공간의 내부에 배치되고 내직경이 점차 증가하는 제2 관통홀을 가지고 상기 하부 노즐에 연속적으로 연결되고 외직경이 점차 증가하는 테이퍼 노즐; 상기 수납 공간의 내부에 배치되고 제3 관통홀을 가지고 상기 테이퍼 노즐에 연속적으로 연결되고 원통 형상의 상부 노즐; 및상기 수납 공간의 외부에 배치되고 상기 상부 노즐에 연결되는 와셔 형상인 노즐 플랜지를 포함하고,상기 결합 나사산은 상기 상부 노즐의 외주면에 형성된 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
12 12
제11 항에 있어서,상기 하부 노즐은: 상기 증착 물질을 가이드하고 일정한 외직경을 가지는 가이드 하부 노즐; 및상기 가이드 하부 노즐에 연결되고 상기 가이드 하부 노즐의 외직경보다 큰 외직경을 가지는 고정 하부 노즐을 포함하고,상기 고정 하부 노즐은 외측면에 형성된 위치 조절 나사산을 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
13 13
제12 항에 있어서,상기 증기를 안내하는 노즐 뚜껑을 더 포함하고,상기 노즐 뚜껑은:상기 하부 노즐을 감싸도록 배치되고 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하고 측면을 따라 복수의 관통홀을 포함하고, 일단이 개방되고 타단은 막힌 원통 형상의 뚜껑 몸체부; 및상기 고정 하부 노즐의 외주면에 삽입되어 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하는 위치 조절 너트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
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15 15
제1 방향으로 연장되는 슬릿을 포함하는 진공 용기;상기 슬릿에 삽입되어 상기 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하는 수납 공간을 포함하고, 도전성 재질로 형성되고, 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 발생시키고, 상기 수납 공간에 각각 연통되는 복수의 노즐부를 통하여 상기 증기를 분사하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 증발 도가니;유도 전기장을 형성하고, 상기 증발 도가니를 유도 가열하고 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기의 외부에 배치되어 상기 증발 도가니를 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및상기 진공 용기의 상기 슬릿 주위에 결합하여 상기 진공 용기를 밀폐시키고 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이에 배치되고, 상기 유도 가열 코일에 의하여 형성된 유도 전기장을 투과시키고, 상기 제1 방향으로 연장되는 유전체 창문을 포함하고,상기 증발 도가니는 중력 방향으로 증기를 하향식으로 분사하여 기판에 박막을 형성하고,상기 증발 도가니는:상기 제1 방향으로 연장되고 상기 증착 물질을 수납하는 수납 공간;상기 제1 방향으로 배열된 노즐 결합 관통홀들을 포함하고 상기 수납 공간을 둘러싸고 있는 사각통 형상인 몸체부;상기 몸체부의 측면에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 돌출되어 상기 진공 용기의 상기 슬릿의 턱에 결합하는 폭방향 걸림부; 및 각각의 외주면의 하부에 형성된 결합 나사산을 포함하고, 상기 진공 용기의 내부를 향하여 배치되고, 상기 노즐 결합 관통홀에 각각 삽입되어, 상기 결합 나사산과 상기 노즐 결합 관통홀은 나사 결합하고, 상기 수납 공간과 연통되고, 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 노즐부;를 포함하고,상기 노즐부는: 상기 수납 공간 내에 배치되고 그 중심에 관통홀을 가지는 분출 노즐; 상기 수납 공간의 외부에 배치되고 상기 관통홀에 연통되고 구좌표계에서 반경(radial) 방향으로 연장되는 복수의 보조 관통홀을 포함하고, 절두 원뿔(truncated circular cone) 형상인 노즐 플랜지; 및상기 노즐 플랜지와 상기 노즐 결합 관통홀 사이에 배치되어 상기 수납 공간을 밀봉하는 개스킷부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
16 16
제15 항에 있어서,상기 분출 노즐은: 상기 증착 물질을 가이드하고 일정한 외직경을 가지는 가이드 분출 노즐; 및상기 가이드 분출 노즐에 연결되고 상기 가이드 분출 노즐의 외직경보다 큰 외직경을 가지는 고정 분출 노즐을 포함하고,상기 고정 분출 노즐은 외측면에 형성된 위치 조절 나사산을 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
17 17
제16 항에 있어서,상기 증기를 안내하는 노즐 뚜껑을 더 포함하고,상기 노즐 뚜껑은:상기 가이드 분출 노즐을 감싸도록 배치되고 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하고 측면을 따라 복수의 관통홀을 포함하고, 일단이 개방되고 타단은 막힌 원통 형상의 뚜껑 몸체부; 및상기 고정 분출 노즐의 외주면에 삽입되어 상기 위치 조절 나사산에 나사 결합하는 위치 조절 너트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
18 18
제4 항, 제11항, 및 제15 항 중에서 어느 한 항에 있어서,상기 유전체 창문은 그 하부면에 적외선을 반사하는 반사 코팅을 포함하고,상기 반사 코팅은 상기 증발 도가니를 유도 가열할 때 상기 제1 방향으로 온도를 균일하게 하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
19 19
제4 항, 제11 항, 및 제15 항 중에서 어느 한 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은 상기 유전체 창문의 배치 평면 상에 배치되고 상기 제1 방향으로 연장되는 제1 유도 가열 라인 및 상기 제1 유도 가열 라인과 나란히 연장되는 제2 유도 가열 라인을 포함하고,상기 제1 유도 가열 라인 및 상기 제2 유도 가열 라인은 전기적으로 직렬 연결되고,상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 공급하는 교류 전원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
20 20
제4 항, 제11 항, 및 제15 항 중에서 어느 한 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은 상기 유전체 창문의 배치 평면에 수직한 방향으로 절곡되어 상기 제1 방향으로 연장되고,상기 증발 도가니의 위치에 따라 가열 온도를 제어하기 위하여 상기 유도 가열 코일과 상기 증발 도가니 사이의 거리는 상기 증발 도가니의 위치에 따라 다른 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
21 21
제4 항, 제11 항, 및 제15 항 중에서 어느 한 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은:상기 진공 용기의 중심 부위에서 상기 제1 방향으로 연장되는 제1 유도 가열 코일; 및상기 진공 용기의 양측 가장 자리 부위에서 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 및 제3 유도 가열 코일을 포함하고,상기 제1 유도 가열 코일은 제1 교류 전원에 연결되고,상기 제2 유도 가열 코일은 제2 교류 전원에 연결되고,상기 제3 유도 가열 코일은 제3 교류 전원에 연결되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
22 22
제4 항, 제11항, 및 제15 항 중에서 어느 한 항에 있어서,상기 몸체부는 상기 제2 방향으로 관통하는 관통홀과 상기 관통홀에 탈부착되어 상기 수납 공간에 상기 증착 물질을 재충전하기 위한 마개부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치
23 23
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2 WO2016122046 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2016122046 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 첨단융합기술개발 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발