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표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파가 생성되도록 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하는 단계;상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 단계; 및상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격 및 상기 표면파의 전파 거리에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계를 포함하고,상기 표면파의 전파 거리는 상기 슬릿의 간격인 표면파 전파 속도 산출 방법
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제1항에 있어서,상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계는상기 표면파로부터 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분들을 검출하는 단계;검출된 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분의 발생 시간과 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간 사이의 시간 간격 및 상기 표면파의 전파거리에 기초하여 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도를 도출하는 단계; 및상기 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균 값을 산출하고, 상기 평균 값을 표면파의 전파 속도로 도출하는 단계를 포함하는 표면파 전파 속도 산출 방법
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제1항에 있어서,상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행하는 단계를 더 포함하고,상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 단계는상기 자기 상관 연산의 수행 결과에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 표면파 전파 속도 산출 방법
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제3항에 있어서,상기 표면파를 증폭하는 단계를 더 포함하고,상기 자기 상관 연산은상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 방법
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제1항에 있어서,상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 도출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 표면파 전파 속도 산출 방법
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표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파가 생성되도록 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하는 단계;상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 단계;상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 상기 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출하는 단계; 및상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 메인 주파수와 상기 표면파의 파장에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 산출하는 단계를 포함하고,상기 표면파의 파장은 상기 슬릿 간격에 대응하여 결정되는 표면파 전파 속도 산출 방법
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제6항에 있어서,상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 증폭하는 단계를 더 포함하고,상기 주파수 스펙트럼의 생성은상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 방법
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제6항에 있어서,상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 산출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 표면파 전파 속도 산출 방법
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소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 표면파가 생성되도록 피검사체의 표면에 조사하는 조사부;상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 표면파 수신부; 및상기 표면파의 연속된 피크 성분의 발생 시간 간격 및 상기 표면파의 전파 거리에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 속도 도출부를 포함하고,상기 표면파의 전파 거리는 상기 슬릿의 간격인 표면파 전파 속도 산출 장치
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제9항에 있어서,상기 속도 도출부는상기 표면파로부터 미리 설정된 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분들을 검출하는 피크 성분 검출부;검출된 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분의 발생 시간과 상기 임계치 이상의 크기를 갖는 각각의 피크 성분에 이어지는 또 다른 피크 성분의 발생 시간 사이의 시간 간격 및 상기 표면파의 전파거리에 기초하여 상기 각각의 피크 성분의 전파 속도를 산출하는 전파 속도 도출부; 및상기 각각의 피크 성분의 전파 속도의 평균 값을 산출하고, 상기 평균 값을 표면파의 전파 속도로 도출하는 평균 속도 도출부를 포함하는 표면파 전파 속도 산출 장치
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제9항에 있어서,상기 표면파에 대하여 자기 상관 연산을 수행하는 연산 수행부를 더 포함하고,상기 속도 도출부는상기 자기 상관 연산의 수행 결과에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 도출하는 표면파 전파 속도 산출 장치
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제11항에 있어서,상기 표면파를 증폭하는 증폭부를 더 포함하고,상기 자기 상관 연산은상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 장치
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제9항에 있어서,상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 도출된 표면파의 전파 속도에 기초하여 상기 피검사체 표면의 열화 여부를 판단하는 열화 판단부를 더 포함하는 표면파 전파 속도 산출 장치
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표면파 전파 속도 산출 장치가 표면파가 생성되도록 소정의 광원과 슬릿을 이용하여 생성된 슬릿 광을 피검사체의 표면에 조사하는 조사부;상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 슬릿 광에 의하여 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 상기 표면파를 수신하는 표면파 수신부;상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 표면파의 주파수 스펙트럼을 생성하여 상기 주파수 스펙트럼의 피크 성분 중 최대 값에 해당하는 주파수인 메인 주파수를 검출하는 메인 주파수 검출부; 및상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 메인 주파수와 상기 표면파의 파장에 기초하여 상기 표면파의 전파 속도를 산출하는 전파 속도 산출부를 포함하고,상기 표면파의 파장은 상기 슬릿 간격에 대응하여 결정되는 표면파 전파 속도 산출 장치
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제14항에 있어서,상기 표면파 전파 속도 산출 장치가 상기 피검사체의 표면에서 발생하는 표면파를 증폭하는 증폭부를 더 포함하고,상기 주파수 스펙트럼의 생성은상기 증폭된 표면파에 대하여 수행되는 표면파 전파 속도 산출 장치
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