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진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 회전가능하게 설치되어 파우더를 코팅하기 위한 리액터와, 상기 리액터의 회전을 제어하는 회전 유닛과, 상기 리액터 내로 공정가스를 제공하기 위한 공정가스 공급유닛과, 상기 리액터 주위에 설치되어 공정에 필요한 온도를 제공하기 위한 히터 유닛과, 상기 진공 챔버 내부를 진공 상태로 만들거나 상기 진공 챔버로부터 공정가스를 배기시키기 위한 진공/배기 유닛을 포함하는 파우더 코팅 장치를 이용하여 기능성 화장품용 무기분체를 제조하는 방법으로서, (a) 제1 금속산화물 파우더를 리액터에 넣는 단계;(b) 상기 진공/배기 유닛에 의해 상기 진공 챔버 내의 압력이 대기압 미만이 되게 하여 진공 상태로 유지하고, 상기 히터 유닛의 히터 제어 수단을 통해 히터를 컨트롤하여 공정 온도로 상기 진공 챔버 내의 온도를 설정하며, 상기 회전 유닛을 작동하여 상기 리액터가 주기적으로 회전 운동을 하게 하는 단계;(c) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 코팅 소스를 상기 리액터 내로 공급하는 단계;(d) 상기 코팅 소스가 역류되는 것을 방지하기 위하여 상기 코팅 소스의 공급을 차단하고, 상기 리액터 내로의 주입을 유도하기 위하여 주입 유도 펌핑이 이루어지는 단계;(e) 펌핑 밸브를 닫은 상태에서 상기 코팅 소스를 상기 리액터 내에 유지시켜 상기 코팅 소스가 파우더의 표면에 흡착되게 하는 단계;(f) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 퍼지 가스를 상기 리액터 내로 주입하여 잔류하는 코팅 소스를 제거하는 단계;(g) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 산화제를 상기 리액터 내로 공급하는 단계;(h) 상기 산화제가 역류되는 것을 방지하기 위하여 상기 산화제의 공급을 차단하고, 상기 리액터 내로의 주입을 유도하기 위하여 주입 유도 펌핑이 이루어지는 단계;(i) 펌핑 밸브를 닫은 상태에서 상기 산화제를 상기 리액터 내에 유지시켜 상기 제1 금속산화물 파우더 표면에 흡착된 코팅 소스가 상기 산화제와 반응하여 산화가 이루어지게 하는 단계; 및(j) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 퍼지 가스를 상기 리액터 내로 주입하여 잔류하는 산화제를 제거하는 단계를 포함하고, 상기 (c) 단계 내지 상기 (j) 단계의 원자층증착 시퀀스를 복수 사이클 수행하여 제1 금속산화물에 제2 금속산화물이 코팅된 무기분체를 제조하며, 상기 제1 금속산화물 파우더는 SiO2, TiO2, ZnO, FeO, α-Fe2O3 및 γ-Fe2O3 중에서 선택된 1종 이상의 산화물을 포함하는 파우더이고,상기 코팅 소스는 제2 금속산화물의 금속 성분을 포함하는 전구체이며,상기 제2 금속산화물은 상기 제1 금속산화물과 다른 산화물로서 Al2O3, TiO2 SiO2 및 ZnO 중에서 선택된 1종 이상의 산화물 혹은 Al, Ti, Si 및 Zn 중에서 선택된 2종 이상을 포함하는 다성분계 산화물을 포함하고,상기 제2 금속산화물이 0
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제5항에 있어서, 상기 진공/배기 유닛은 원자층증착 동안에 항상 온(On) 상태를 유지하고 있고, 펌핑은 펌핑 밸브의 개방(open)과 닫음(close)을 통해 제어되며, 상기 (c) 내지 상기 (d) 단계, 상기 (f) 내지 상기 (h) 단계 및 상기 (j) 단계는 상기 펌핑 밸브가 개방(open)되게 제어되고, 상기 (e) 단계 및 상기 (i) 단계는 상기 펌핑 밸브가 닫음(close)되게 제어되는 것을 특징으로 하는 기능성 화장품용 무기분체의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 (d) 단계의 주입 유도 펌핑은 상기 리액터 내로 코팅 소스의 유입을 유도하기 위하여 상기 진공/배기 유닛이 온(On) 된 상태에서 코팅 소스의 공급 차단 후에도 0
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제6항에 있어서, 상기 (e) 단계 후 상기 (f) 단계 전에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 코팅 소스를 제거하는 단계를 더 포함하고,상기 (f) 단계 후 상기 (g) 단계 전에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 퍼지 가스를 제거하는 단계를 더 포함하며,상기 (i) 단계 후 상기 (j) 단계 전에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 산화제를 제거하는 단계를 더 포함하고,상기 (j) 단계 후에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 퍼지 가스를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 화장품용 무기분체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 (c) 단계에서 상기 코팅 소스의 주입 시간은 1∼20초로 설정하며,상기 (e) 단계에서 상기 코팅 소스를 상기 리액터 내에 유지시키는 시간은 5∼120초 범위이고,상기 (f) 단계에서 상기 퍼지 가스의 주입 시간은 10∼120초로 설정하며,상기 (g) 단계에서 상기 산화제의 주입 시간은 1∼20초로 설정하며,상기 (i) 단계에서 상기 산화제를 상기 리액터 내에 유지시키는 시간은 5∼120초 범위이고, 상기 (j) 단계에서 상기 퍼지 가스의 주입 시간은 10∼120초로 설정하는 것을 특징으로 하는 기능성 화장품용 무기분체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 상기 제1 금속산화물 파우더와 함께 비드를 상기 리액터에 투입하며, 상기 비드는 0
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제5항에 있어서, 상기 공정 온도는 상온 보다 높고 300℃ 이하의 온도로 설정하는 것을 특징으로 하는 기능성 화장품용 무기분체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 제1 금속산화물 파우더는 이산화티탄(TiO2) 파우더이고, 상기 제2 금속산화물은 산화알루미늄(Al2O3)이며, 상기 코팅 소스로 트리메틸알루미늄(Al(CH3)3), 에틸피페리딘 트리메틸알루미늄(Al(CH3)3N(CH2)5C2H5), 메틸피롤리딘 트리메틸알루미늄(Al(CH3)3N(CH2)4CH3), 부틸피롤리딘 트리메틸알루미늄(Al(CH3)3N(CH2)4C4H9), 메틸피롤리딘 트리에틸알루미늄(Al(C2H5)3N(CH2)4CH3), 부틸피롤리딘 트리에틸 알루미늄(Al(C2H5)3N(CH2)4C4H9) 및 에틸피페리딘 트리에틸알루미늄(Al(C2H5)3N(CH2)5C2H5) 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 사용하고,상기 기능성 화장품용 무기분체는 자외선 차단제에 사용되는 것을 특징으로 기능성 화장품용 무기분체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 제1 금속산화물 파우더는 산화아연(ZnO) 파우더이고, 상기 제2 금속산화물은 이산화티탄(TiO2)이며, 상기 코팅 소스로 티타늄 이소프로폭사이드(Ti(OCH(CH3)2)4, 티타늄 클로라이드(TiCl4), 티타늄 테트라아이오다이드(TiI4), 티타늄 에톡사이드(Ti4(OCH2CH3)16), 테트라키스(디에틸아미노) 티타늄(Ti(N(C2H5)2)4), 테트라키스(디메틸아미노) 티타늄(Ti(N(CH3)2)4), 티타늄 n-부톡사이드(Ti(C4H9)4) 및 테트라키스(에틸메틸아미노) 티타늄(((CH3C2H5)N)4Ti) 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 사용하고,상기 기능성 화장품용 무기분체는 피부결함 은폐용 화장품에 사용되는 것을 특징으로 기능성 화장품용 무기분체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 제1 금속산화물 파우더는 기능성 화장품용으로 사용되는 것을 고려하여 100nm∼900㎛의 평균 입경을 갖는 파우더를 사용하는 것을 특징으로 하는 기능성 화장품용 무기분체의 제조방법
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