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광학 분광 분석 장치 및 이를 구비한 플라즈마 처리 장치(APPARATUS FOR OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY AND PLASMA PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016014881
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광학 분광 분석 장치 및 플라즈마 처리 장치가 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 광학 분광 분석 장치는 플라즈마 공정 챔버 내의 광을 수집하기 위한 오목렌즈; 및 오목렌즈에 의해 수집된 광을 플라즈마 상태를 분석하기 위한 분석부로 전달하기 위한 광전달부를 포함한다. 오목렌즈는 광전달부로 제공될 플라즈마 공정 챔버 내의 광의 입사각 범위를 수평 방향으로 확장시키고 플라즈마 공정 챔버 내에 배치된 기판의 상부 영역의 광을 수집하도록 수평 방향으로의 곡률이 기판의 크기에 대응하는 광 입사각 범위를 갖는다.
Int. CL H05H 1/00 (2006.01.01) H01J 37/32 (2006.01.01) G01J 3/02 (2006.01.01)
CPC H05H 1/0025(2013.01) H05H 1/0025(2013.01) H05H 1/0025(2013.01) H05H 1/0025(2013.01) H05H 1/0025(2013.01) H05H 1/0025(2013.01)
출원번호/일자 1020160018600 (2016.02.17)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0093574 (2016.08.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2015-0013650 (2015.01.28)
관련 출원번호 1020150013650;1020200081155
심사청구여부/일자 Y (2016.02.17)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤일구 대한민국 서울특별시 강남구
2 이상명 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2016.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-0158447-55
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0007540-88
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0216563-27
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0309024-99
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0309025-34
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0567999-09
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0889025-82
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.09.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0889024-36
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0713549-14
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1140728-83
11 법정기간연장승인서
2017.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0168864-98
12 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2018.01.30 수리 (Accepted) 7-8-2018-0002381-44
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.10.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0717881-19
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-1241539-10
15 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0001948-19
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.02.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0112831-46
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2020-0112830-01
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0240348-65
19 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0442159-78
20 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.04.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0442160-14
21 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.06.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0390354-68
22 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2020.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2020-0685318-18
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번호 청구항
1 1
플라즈마 공정 챔버 내의 광을 수집하기 위한 오목렌즈; 및상기 오목렌즈에 의해 수집된 광을 플라즈마 상태를 분석하기 위한 분석부로 전달하기 위한 광전달부를 포함하고,상기 오목렌즈는, 상기 광전달부로 제공될 상기 플라즈마 공정 챔버 내의 광의 입사각 범위를 수평 방향으로 확장시키고 상기 플라즈마 공정 챔버 내에 배치된 기판의 상부 영역의 광을 수집하도록, 수평 방향으로의 곡률이 상기 기판의 크기에 대응하는 광 입사각 범위를 갖도록 가공된 것인 광학 분광 분석 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 오목렌즈는 상하 방향으로 일정한 횡단면 형상을 갖도록 가공된 것인 광학 분광 분석 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 오목렌즈는 횡단면이 오목한 형상을 가지며, 종단면이 직사각 형상을 갖도록 가공된 것인 광학 분광 분석 장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 오목렌즈는 수평 방향으로의 광 수용 각도가 160°이상이 되도록 상기 횡단면이 가공된 것인 광학 분광 분석 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 광전달부는 광섬유를 포함하는 광학 분광 분석 장치
6 6
플라즈마를 발생하여 기판을 처리하는 플라즈마 공정 챔버;상기 플라즈마 공정 챔버에 마련된 투광부를 통해 상기 플라즈마 공정 챔버 내의 광을 수집하는 오목렌즈;상기 오목렌즈에 의해 수집된 광을 전달하는 광전달부; 및상기 광전달부를 통해 제공된 광을 분석하여 플라즈마 상태를 분석하는 분석부를 포함하고,상기 오목렌즈는, 상기 광전달부로 제공될 상기 플라즈마 공정 챔버 내의 광의 입사각 범위를 수평 방향으로 확장시키고 상기 플라즈마 공정 챔버 내에 배치된 기판의 상부 영역의 광을 수집하도록, 수평 방향으로의 곡률이 상기 기판의 크기에 대응하는 광 입사각 범위를 갖도록 가공된 것인 플라즈마 처리 장치
7 7
제6 항에 있어서,상기 오목렌즈는 상하 방향으로 일정한 횡단면 형상을 갖도록 가공된 것인 플라즈마 처리 장치
8 8
제6 항에 있어서,상기 오목렌즈는 횡단면이 오목한 형상을 가지며, 종단면이 직사각 형상을 갖도록 가공된 것인 플라즈마 처리 장치
9 9
제8 항에 있어서,상기 오목렌즈는 수평 방향으로의 광 수용 각도가 160°이상이 되도록 상기 횡단면이 가공된 것인 플라즈마 처리 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105824041 CN 중국 FAMILY
2 KR101600520 KR 대한민국 FAMILY
3 US10408680 US 미국 FAMILY
4 US20160216155 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105824041 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN105824041 CN 중국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.