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매크로 프리패턴을 이용한 편광 패널의 제조방법(Method for Preparing Polarizer Panel Using Macro Pre-pattern)

  • 기술번호 : KST2016015041
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 매크로 프리패턴을 이용한 편광 패널의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 매크로 프리패턴이 형성된 기판을 에칭하여 매크로 프리패턴의 측면에 편광물질을 증착한 다음, 매크로 프리패턴을 제거하여 수득하는 매크로 프리패턴을 이용한 편광 패널의 제조방법에 관한 것이다.본 발명은 대면적에 수십 나노미터 두께의 전도성 격벽을 매크로 프리패턴을 이용하여 이온 식각 공정을 통해 형성함으로써, 기존의 편광 패널에서 문제가 되었던 투명도를 획기적으로 개선할 수 있고, 편광도를 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 설계안과 같은 고정밀의 편광 패널을 손쉽게 제조할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G02B 5/30 (2006.01.01)
CPC G02B 5/30(2013.01)
출원번호/일자 1020150125411 (2015.09.04)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0096006 (2016.08.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020150017527   |   2015.02.04
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.09.01)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정희태 대한민국 대전광역시 유성구
2 정우빈 대한민국 대전광역시 유성구
3 서문종 대한민국 대전광역시 서구
4 조수연 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이처영 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, **층 (역삼동, 윤익빌딩)(*T국제특허법률사무소)
2 장제환 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, **층 (역삼동, 윤익빌딩)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-0861728-46
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0620595-64
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
6 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2020-0923198-42
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.09.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0923199-98
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번호 청구항
1 1
다음 단계를 포함하는 매크로 프리패턴을 이용한 세워진 형태의 편광 패턴을 가지는 편광 패널의 제조방법:(a) 매크로 프리패턴이 형성된 패널 기판에 편광물질을 증착하는 단계; 및(b) 에칭을 통하여 패널 기판에 증착된 편광물질을 매크로 프리패턴의 측면에 재증착하는 단계
2 2
다음 단계를 포함하는 매크로 프리패턴을 이용한 “U”자 형태의 편광 패턴을 가지는 편광 패널의 제조방법:(a) 패널 기판에 편광물질을 도포한 다음, 매크로 프리패턴을 형성하는 단계; 및(b) 에칭을 통하여 편광물질을 상기 매크로 프리패턴의 측면에 증착하는 단계
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 (b)단계 이후;(c) 매크로 프리패턴을 제거하여 세워진 형태 또는 “U”자 형태의 편광 패턴을 가지는 편광 패널을 수득하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 매크로 프리패턴은 기판 상에 프리패턴 물질을 증착시키고 리소그래피 또는 임프린팅 공정을 수행하여 형성하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 편광 패턴은 높이 10nm ~ 100㎛, 두께 1~100nm이며, 패턴사이의 간격은 10nm ~ 100㎛인 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
6 6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 에칭은 밀링 또는 스퍼터링으로 수행되는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 밀링은 0
8 8
제1항 또는 제2항에 있어서;(c) 패널을 코팅하여 패턴 보호층을 형성하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
9 9
제3항에 있어서;(d) 패널을 코팅하여 패턴 보호층을 형성하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
10 10
제3항에 있어서, 상기 (c) 단계의 매크로 프리 패턴의 제거 이후;(d) 에칭을 통하여 “U”자 형태의 편광 패턴의 바닥면을 제거하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
11 11
제1항 또는 제2항에 있어서, 기판과 매크로 프리패턴이 형성된 시트가 롤로부터 언와인드되면서 상기 기판과 매크로 프리패턴 시트를 접착시켜 상기 기판 상에 상기 매크로 프리패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 재조방법
12 12
제1항 또는 제2항에 있어서, 기판이 롤로부터 언와인드되면서 상기 기판 상에 전도성 물질과 매크로 프리패턴 물질을 증착한 다음 상기 매크로 프리패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
13 13
다음 단계를 포함하는 매크로 프리패턴을 이용한 적층형 편광 패널의 제조방법: (i) 제1 매크로 프리패턴이 형성된 기판에 제1 편광 물질을 증착하는 단계;(ii) 에칭을 통하여 제1 편광물질을 제1 매크로 프리패턴의 측면에 재증착하여 제1 편광 패턴을 수득하는 단계;(iii) 상기 제1 편광 패턴이 형성된 기판 상에 제1 편광 패턴과 동일한 각도로 제2 매크로 프리패턴을 형성하고 난 후에, 제2 편광 물질을 증착하는 단계; 및(iv) 에칭을 통하여 제2 편광물질을 제2 매크로 프리패턴의 측면에 재증착하여 제2 패턴을 수득하는 단계
14 14
다음 단계를 포함하는 매크로 프리패턴을 이용한 적층형 편광 패널의 제조방법: (i) 기판에 제1 편광 물질을 도포한 다음, 제1 매크로 프리패턴을 형성하는 단계;(ii) 상기 제1 매크로 프리패턴의 측면에 에칭을 통하여 제1 편광 물질을 재증착하여 “U”자 형태의 제1 편광 패턴을 수득하는 단계;(iii) 상기 제1 편광 패턴이 형성된 기판 상에 제1 편광 패턴과 동일한 각도로 제2 편광 물질을 도포한 다음, 제2 매크로 프리패턴을 형성하는 단계; 및(iv) 상기 제2 매크로 프리패턴의 측면에 에칭을 통하여 제2 편광물질을 재증착하여 “U”자 형태의 제2 패턴을 수득하는 단계
15 15
다음 단계를 포함하는 매크로 프리패턴을 이용한 격자형 편광 패널의 제조방법:(i) 제1 매크로 프리패턴이 형성된 기판에 제1 편광 물질을 증착하는 단계;(ii) 에칭을 통하여 제1 편광 물질을 제1 매크로 프리패턴의 측면에 재증착하여 제1 편광 패턴을 수득하는 단계;(iii) 상기 제1 편광 패턴이 형성된 기판상에 제1 편광 패턴과 각도를 달리하여 제2 매크로 프리패턴을 형성하고 난 후에 제2 편광 물질을 증착하는 단계; 및(iv) 에칭을 통하여 제2 편광 물질을 제2 매크로 프리패턴의 측면에 재증착하여 제2 패턴을 수득하는 단계
16 16
다음 단계를 포함하는 매크로 프리패턴을 이용한 격자형 편광 패널의 제조방법:(i) 기판에 제1 편광 물질을 도포한 다음, 제1 매크로 프리패턴을 형성하는 단계;(ii) 상기 제1 매크로 프리패턴의 측면에 에칭을 통하여 제1 편광 물질을 재증착하여 “U”자 형태의 제1 편광 패턴을 수득하는 단계;(iii) 상기 제1 편광 패턴이 형성된 기판상에 제1 편광 패턴과 각도를 달리하여 제2 편광 물질을 도포한 다음, 제2 매크로 프리패턴을 형성하는 단계; 및(iv) 상기 제2 매크로 프리패턴의 측면에 에칭을 통하여 제2 편광 물질을 재증착하여 “U”자 형태의 배향된 제2 패턴을 수득하는 단계
17 17
제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 (ii) 단계의 재증착 후에 제1 매크로 프리패턴을 제거하거나 상기 (iv) 단계의 재증착 후에 제2 매크로 프리패턴을 제거하는 단계를 추가로 수행하는 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
18 18
제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 패턴은 보안 패턴, 터치 패턴 및 편광 패턴인 것을 특징으로 하는 편광 패널의 제조방법
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1 WO2016125996 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업〉글로벌프론티어연구개발사업〉나노기반소프트일렉트로닉스연구 2차 스퍼터링 현상을 이용한 유연기판 용 10nm대 나노패터닝 공정기술의 개발
2 미래창조과학부 한국과학기술원 도약연구지원사업 새로운 방식의 나노패턴 기술 개발과 응용