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내부에 샘플(1)이 장착되는 진공챔버(100);진공상태의 상기 진공챔버(100) 내부의 샘플(1)로 레이저광을 입사시켜 레이저 용발(laser ablation)에 의해 샘플을 원자화하는 원자화광원부(200);광섬유를 기반으로 하는 레이저광원이되, 레이저광을 상기 진공챔버(100) 내부로 입사시켜 원자를 공명이온화시키는 이온화광원부(300); 및상기 이온화광원부(300)에 의해 공명이온화되어 발생된 이온의 질량을 분석하는 질량분석부(400);를 포함하되,상기 진공챔버(100)는상기 원자화광원부(200)의 원자화에 의해 발생된 플라즈마를 제거하는 이온제거전극이 구비되는 플라즈마제거부(110)를 포함하며,상기 이온화광원부(300)는레이저광의 파장 변환 및 선폭 변환이 용이한 분포 궤환형 레이저(DFB, Distributed Feedback Laser)를 씨앗광원으로 사용하되, 씨앗광원을 펄스화하는 음향광학변조기와, 씨앗광원의 출력을 증폭시키는 광섬유증폭기를 포함하는 레이저광발생부(310)와,상기 레이저광발생부(310)에서 발생된 레이저광의 파장을 선택되는 원자의 공명전이선에 맞도록 변환시키는 파장변환부(320) 및상기 레이저광발생부(310)에서 발생된 레이저광의 선폭을 변환시키는 선폭변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 레이저 기반 공명이온화 질량분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 파장변환부(320)는제2고조파레이저광으로 변환시키는 제2고조파변환부(321); 및제3고조파레이저광으로 변환시키는 제3고조파변환부(322);를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 레이저 기반 공명이온화 질량분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 질량분석부(400)는상기 진공챔버(100) 일측에 일단이 관통되어 형성되며, 공명이온화된 이온이 이동하는 이동로(410);상기 진공챔버(100) 내부에 구비되며, 공명이온화된 이온을 상기 이동로 타단방향으로 이동시키기 위한 전기장을 발생시키는 가속판(420); 및상기 이동로(410) 타단에 형성되며, 공명이온화된 이온의 이동시간을 측정하여 분석하는 분석부(430);를 포함하는 시간비행 질량분석장치(time-of-flight mass spectrometer)인 것을 특징으로 하는 광섬유 레이저 기반 공명이온화 질량분석 장치
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제 7항에 있어서,상기 질량분석부(400)는상기 이동로(410) 일단에 형성되며, 상기 분석부(430)로 이동하는 이온의 방향을 제어하는 편향판(440)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 레이저 기반 공명이온화 질량분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 광섬유 레이저 기반 공명이온화 질량분석 장치는상기 질량분석부(400)에서 분석 결과값을 공급받되, 분석 결과값의 평균값과 표준편차를 측정하는 신호처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 레이저 기반 공명이온화 질량분석 장치
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