맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

ECR 플라즈마 발생장치(ECR PLASMA GENERATING DEVICE)

  • 기술번호 : KST2016015066
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 ECR 플라즈마 발생장치가 개시된다. ECR 플라즈 발생장치는, 전자파가 유입되는 도파관으로서, 상기 도파관의 저면부에 형성되어 상기 전자파를 상기 저면부의 아래로 유도하는 적어도 하나의 슬릿이 형성된 도파관; 상기 슬릿의 아래에서 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 배열된 제1 자석들로 이루어지고, 상기 제1 자석들을 통해 상기 전자파에 대응하는 공진 자기장을 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 형성하는 제1 전자 사이클로트론 공명부; 및 상기 슬릿의 아래에서 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 배열된 제2 자석들로 이루어지고, 상기 제2 자석들을 통해 상기 전자파에 대응하는 공진 자기장을 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 형성하는 제2 전자 사이클로트론 공명부를 포함하고, 상기 제1 자석들 및 상기 제2 자석들은 상기 슬릿을 사이에 두고 서로 대향되게 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01)
CPC H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01)
출원번호/일자 1020150017351 (2015.02.04)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1654084-0000 (2016.08.30)
공개번호/일자 10-2016-0095865 (2016.08.12) 문서열기
공고번호/일자 (20160905) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.04)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종식 대한민국 전라북도 군산시 수송로 **, *
2 김영우 대한민국 경기도 화성
3 홍승표 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-0120376-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.10.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0063687-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0048424-50
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.03.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0265966-16
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0265950-97
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0493514-87
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자파가 유입되는 도파관으로서, 상기 도파관의 저면부에 형성되어 상기 전자파를 상기 저면부의 아래로 유도하는 적어도 하나의 슬릿이 형성된 도파관;상기 슬릿의 아래에서 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 배열된 제1 자석들로 이루어지고, 상기 제1 자석들을 통해 상기 전자파에 대응하는 공진 자기장을 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 형성하는 제1 전자 사이클로트론 공명부; 및상기 슬릿의 아래에서 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 배열된 제2 자석들로 이루어지고, 상기 제2 자석들을 통해 상기 전자파에 대응하는 공진 자기장을 상기 저면부에 수직한 방향을 따라 형성하는 제2 전자 사이클로트론 공명부를 포함하고,상기 제1 자석들 및 상기 제2 자석들은 상기 슬릿을 사이에 두고 서로 대향되게 배치되어 있는 것을 특징으로 하고,상기 제1 자석들 및 상기 제2 자석들의 대향하는 면을 정면으로 하여 볼 때, 상기 슬릿의 길이방향에 수직하게 배열된 자석들 중 동일 극성을 갖는 자석들의 양측 끝단부들의 수직 방향으로 이격된 공간은 막혀 있고, 상기 동일 극성을 갖는 자석들 사이에 위치하는 다른 극성을 갖는 자석은 상기 동일 극성을 갖는 자석들로부터 일정 거리 이격되어 있는 것을 특징으로 하는,ECR 플라즈마 발생장치
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 제1 자석 및 상기 복수의 제2 자석은 상기 슬릿의 길이방향에 수직한 단면으로 보았을 때 3개 이상의 홀수의 열로 이루어지고, 각각의 자석들은 길이방향이 상기 슬릿의 길이방향에 평행하도록 배치된 것을 특징으로 하는,ECR 플라즈마 발생장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 복수의 제1 자석과 마주하는 상기 복수의 제2 자석의 극성은 상기 복수의 제1 자석의 극성과 반대인 것을 특징으로 하는,ECR 플라즈마 발생장치
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 자석들 및 상기 제2 자석들을 덮는 자석덮개부를 더 포함하고,상기 자석덮개부는 상기 제1 자석들 및 상기 제2 자석들의 서로 대향하는 면을 제외한 나머지 면들을 덮도록 상기 제1 자석들 및 상기 제2 자석들을 감싸고 있는 것을 특징으로 하는,ECR 플라즈마 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구사업 플라즈마융합원천연구사업