| 1 |
1
기판 상에, 상기 기판에서 멀어지는 방향으로 신장하며, 상기 기판과 일체를 이루는, 하나 이상의 마이크로 필라(micro-pillar)를 형성하는 단계;상기 하나 이상의 마이크로 필라 상에 시드층을 코팅하는 단계;상기 시드층 상에 하나 이상의 나노로드를 성장시키는 단계; 및상기 하나 이상의 마이크로 필라, 상기 시드층 및 상기 하나 이상의 나노로드 상에 폴리머층을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 기판 상에 하나 이상의 마이크로 필라를 형성하는 단계;는, 에칭 공정을 이용하여 상기 기판을 식각함으로써 상기 하나 이상의 마이크로 필라를 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 기판과 상기 마이크로 필라는 동일한 물질로 구성된, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 에칭 공정의 공정시간에 따라 상기 기판에 형성되는 상기 마이크로 필라의 높이를 제어할 수 있는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 기판 상에, 상기 기판에서 멀어지는 방향으로 신장하며, 상기 기판과 일체를 이루는, 하나 이상의 마이크로 필라(micro-pillar)를 형성하는 단계;는,상기 기판 상에, 상기 기판과 수직한 방향으로 신장하며, 상기 기판과 일체를 이루는, 하나 이상의 마이크로 필라(micro-pillar)를 형성하는 단계;를 포함하는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 하나 이상의 나노로드 상에 폴리머층을 형성하는 단계; 이후에,상기 폴리머층의 상부 및 상기 기판의 하부에 전극층을 형성하는 단계;를 더 포함하는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 시드층 상에 하나 이상의 나노로드를 성장시키는 단계;는수열합성법(hydrothermal method)을 이용하여, 상기 시드층 상에 하나 이상의 나노로드를 성장시키는 단계;를 포함하는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 하나 이상의 나노로드 상에 폴리머층을 형성하는 단계;는스핀 코팅법(spin coating method)을 이용하여, 상기 하나 이상의 마이크로 필라, 상기 시드층 및 상기 하나 이상의 나노로드 상에 폴리머층을 형성하는 단계;를 포함하는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 기판은, 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 탄소(C), 갈륨비소(GaAs), 알루미늄비소(AlAs), 인듐비소(InAs), 인화갈륨(GaP), 인화알루미늄(AlP), 인화인듐(InP), 안티몬화갈륨(GaSb), 안티몬화알루미늄(AlSb) 및 안티몬화인듐(InSb) 중 어느 하나로 이루어진 반도체를 포함하거나 또는 니켈(Ni), 스테인레스 스틸(stainless steel), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 이루어진 금속 포일을 포함하는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서,상기 나노로드는 산화아연(ZnO), 산화카드뮴(CdO), 산화마그네슘(MgO), 셀렌화아연(ZnSe), 황화아연(ZnS), 카드뮴셀레나이드(CdSe), 황화카드뮴(CdS), 질화갈륨(GaN), 질화알루미늄(AlN), 질화인듐(InN) 중 어느 하나로 이루어진 반도체, 티탄산바륨(BaTiO3), 티탄산연(PbTiO3), 티탄산 지르콘산연(PbTiZrO3), 이산화규소(SiO2), 나이오븀산 리튬(LiNbO3), 리튬 탄탈레이트(LiTaO3), 니오브산칼륨(KNbO3), 포타슘 탄탈레이트(KTaO3), (Na1-yLiy) (Nb1-xTax)O3, SrBi4 Ti4O15 중 어느 하나로 이루어진 압전 세라믹 재료를 포함하거나 또는 PVDF(Polyvinylidene fluoride)를 함유하는 압전 폴리머 재료를 포함하는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서,상기 폴리머층은 PDMS(Polydimethylsiloxane), PMMA(poly(methylmethacrylate), PET(Polyethylene terephthalate), PI(Pyridoxylideneisoleucine), Polyacetate, PEDOT:PSS 중 어느 하나로 이루어진 유연성을 가지는 폴리머를 포함하는, 마이크로 필라 구조를 구비하는 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 12 |
12
삭제
|
