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1
기판 상에 서로 이격되어 제공되는 제1 전극 및 제2 전극; 및상기 기판 상에 제공되어 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 덮는 감지층을 포함하되,상기 감지층은 아래의 화학식으로 표현되는 스피넬 구조를 갖는 금속 산화물을 포함하는 이산화탄소 가스 센서
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2
청구항 1에 있어서,상기 제1 금속 원소 및 상기 제2 금속 원소는 각각 4족 내지 12족의 전이금속 원소인 이산화탄소 가스 센서
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3
청구항 2에 있어서,상기 감지층은 상기 금속 산화물 내에 도핑된 첨가물을 더 포함하는 이산화탄소 가스 센서
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4
청구항 3에 있어서,상기 첨가물은 1족 금속 원소, 2족 금속 원소, 또는 전이금속 원소 중 적어도 하나를 포함하는 이산화탄소 가스 센서
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5
청구항 4에 있어서,상기 첨가물은 상기 제1 및 제2 금속 원소들에 대하여 0
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6
청구항 4에 있어서,상기 첨가물은 Ba, Pd, Pt, Au, Ru, Rh, Ta, Nb, Ni 중 적어도 하나를 포함하는 이산화탄소 가스 센서
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7
청구항 1에 있어서,상기 제1 금속 원소와 상기 제2 금속 원소는 서로 동일한 이산화탄소 가스 센서
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8
청구항 1에 있어서,상기 제1 금속 원소는 2가의 산화수를 갖는 코발트(Co+2)인 이산화탄소 가스 센서
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9
청구항 1에 있어서,상기 제2 금속 원소는 3가의 산화수를 갖는 코발트(Co+3)인 이산화탄소 가스 센서
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10
청구항 1에 있어서,상기 금속 산화물은 Co3O4인 이산화탄소 가스 센서
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11
청구항 1에 있어서,상기 감지층은 상기 금속 산화물 내에 도핑된 첨가물을 더 포함하고,상기 금속 산화물은 Co3O4이고, 상기 첨가물은 바륨(Ba)인 이산화탄소 가스 센서
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12
청구항 1에 있어서,상기 금속 산화물은 50℃ 내지 250℃의 온도에서 이산화탄소와 반응하는 이산화탄소 가스 센서
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