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카메라를 통해 촬영된 시료의 영상을 임계값 방법을 적용하여 이진화하여 이진화된 결과영상을 생성하는 이진화 처리부와,상기 생성된 이진화 영상에 외곽선 추적 알고리즘을 적용하여 시료의 패턴 외곽선을 추출하는 외곽선 추출부와,카메라로 촬영된 시료 영상, 이진화된 영상, 시료의 패턴 외곽선을 조합하여 시료의 유효화된 패턴 영상을 획득하는 유효화 처리부와,상기 유효화된 패턴을 출력하는 시료 출력부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 이진화 처리부는 카메라에서 촬영된 시료 영상의 각 픽셀에 임계값 방법을 적용하여 설정된 임계값을 기반으로 이진화를 수행하는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 이진화는 시료 영상이 각 픽셀이 설정된 임계값 이상이면 '1'로, 이하이면 '0'으로 대체하는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치
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제 3 항에 있어서,상기 외곽선 추출부는 이진화된 영상에서 '0'값을 가지는 픽셀군과 '1'값을 가지는 픽셀군의 경계부의 픽셀을 대상으로 미리 설정된 폭 값 이내의 패턴의 외곽선을 추출하는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 외곽선 추출부는 소벨(Sobel), 프르윗(Prewitt), 로버트(Roberts), 라플라시안(Laplacian), 캐니(Canny) 중 적어도 하나로 외곽선을 추출하는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유효화 처리부에서 조합은 시료의 이진화된 영상에서 시료의 패턴 외곡선 부분 픽셀을 '0'으로 대체하고 카메라로 촬영된 시료의 영상에 적용시키는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유효화 처리부는 상기 생성된 이진화 영상에서 상기 추출된 패턴 외곽선을 제거한 후, 패턴 외곽선이 제거된 이진화 영상을 상기 시료의 영상에 적응시켜 유효화하는 구성하는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치
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(A) 이진화 처리부를 통해 시료의 영상을 임계값을 적용하여 이진화하여 이진화된 결과영상을 생성하는 단계와,(B) 외곽선 추출부를 통해 상기 생성된 이진화 영상(이진화된 결과영상)에 외곽선 추적 알고리즘을 적용하여 시료의 패턴 외곽선을 추출하여 외곽선 추출 영상을 생성하는 단계와,(C) 유효화 처리부를 통해 상기 시료 영상, 이진화 영상, 외곽선 추출 영상을 조합하여 시료의 유효화된 패턴 영상을 획득하는 단계와,(D) 시료 출력부를 통해 유효화된 패턴을 출력하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 이진화는 카메라에서 촬영된 시료 영상이 입력되면, 미리 설정된 임계값을 시료 영상의 각 픽셀과 서로 비교하는 단계와,상기 비교결과, 각 픽셀이 미리 설정된 임계값 이상이면 '1'로 대체하고, 각 픽셀이 미리 설정된 임계값 이하이면 '0'으로 대체하여 이진화를 수행하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 (B) 단계는 이진화된 영상에서 '0'값을 가지는 픽셀군과 '1'값을 가지는 픽셀군의 경계부의 픽셀을 대상으로 설정된 폭 값 이내의 패턴의 외곽선을 추출하여 외곽선 추출 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 (B) 단계는이진화된 이진화 영상이 입력되면, 이진화 영상에서 두 값이 변하는 설정 폭을 설정하는 단계와,이진화된 영상에서 '0'값을 가지는 픽셀군과 '1'값을 가지는 픽셀군의 경계부의 각 픽셀을 대상으로 상기 설정된 폭 값과 비교하는 단계와,상기 비교결과, 각 픽셀이 설정된 폭 값 이내이면 해당 픽셀을 시료의 패턴 외곽선에 포함시키고, 각 픽셀이 설정된 폭 값 이상이면 해당 픽셀을 시료의 패턴 외곽선에서 제외시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 방법
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제 11 항에 있어서,상기 설정 폭은 영상의 픽셀크기 및 명암비 그리고 이웃하는 픽셀위치에 따라 설정되는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 (C) 단계는상기 이진화 영상(이진화된 결과영상)의 각 픽셀들 중 상기 추출된 패턴 외곽선에 해당되는 픽셀을'0'으로 대체하여 이진화된 영상의 외곽선에 해당되는 픽셀을 제외시키는 단계와,상기 외곽선이 제외된 이진화 영상을 시료의 영상에 적응시켜 유효화시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 방법
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제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 하나에 의한 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 방법의 각 단계를 실행하기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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