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실리콘 잉곳 제조 장치 및 원료 공급 방법(Production device for silicon ingot and method for supplying source)

  • 기술번호 : KST2016015418
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도가니 내의 열적분포도가 좌우 대칭이 유지되어 보다 균일한 성장을 할 수 있는 효과를 갖는, 실리콘 잉곳 제조 장치 및 원료 공급 방법에 관한 것으로서, 챔버; 실리콘 용탕을 수용하도록 상기 챔버의 내부에 설치되는 도가니; 상기 실리콘 용탕을 가열할 수 있도록 상기 도가니를 가열하는 히터; 상기 실리콘 용탕으로부터 성장되는 실리콘 잉곳을 인상할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 인상 장치; 상기 도가니의 일측에 실리콘을 주입할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 제 1 실리콘 공급기; 및 상기 도가니의 타측에 실리콘을 주입할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 제 2 실리콘 공급기;를 포함할 수 있다.
Int. CL C30B 15/00 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) C30B 15/02 (2006.01)
CPC C30B 15/02(2013.01) C30B 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020150021050 (2015.02.11)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0098869 (2016.08.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.11)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재학 대한민국 경상북도 경산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2015-0146358-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0057367-28
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0436990-15
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0791862-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0791859-88
7 등록결정서
Decision to grant
2016.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0779325-84
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버;실리콘 용탕을 수용하도록 상기 챔버의 내부에 설치되는 도가니;상기 실리콘 용탕을 가열할 수 있도록 상기 도가니를 가열하는 히터;상기 실리콘 용탕으로부터 성장되는 실리콘 잉곳을 인상할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 인상 장치;상기 도가니의 일측에 실리콘을 주입할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 제 1 실리콘 공급기; 및상기 도가니의 타측에 실리콘을 주입할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 제 2 실리콘 공급기;를 포함하고,상기 제 1 실리콘 공급기는,상기 도가니의 중심에서 제 1 방향으로 제 1 거리만큼 떨어진 위치에 실리콘을 공급하는 제 1 노즐을 포함하고,상기 제 2 실리콘 공급기는,상기 도가니의 중심에서 제 2 방향으로 상기 제 1 거리만큼 떨어진 위치에 상기 실리콘을 공급하는 제 2 노즐을 포함하고,상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 대칭되도록 서로 180도 각도를 이루는 것이고,상기 도가니는,실리콘을 상기 제 1 실리콘 공급기 및 제 2 실리콘 공급기로부터 공급받을 수 있도록 상기 도가니의 내부의 외측에 형성된 실리콘 수용부;공급받은 상기 실리콘을 잉곳으로 성장시키도록 상기 도가니의 내부의 내측에 형성된 잉곳 성장부; 상기 도가니 내부의 외측과 내측을 구분하도록 상기 도가니 내부에 형성되는 차단벽부; 및상기 실리콘 용탕이 상기 실리콘 수용부에서 상기 잉곳 성장부로 이동 가능하도록 상기 차단벽부에 복수개로 형성되는 실리콘 이동통로;를 포함하고,상기 실리콘 이동통로는 방사형으로 형성되고 등각 배치되는 것인, 실리콘 잉곳 제조 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 실리콘 공급기는,실리콘을 공급하도록 상기 챔버의 외부에서 내부로 연결된 제 1 주입관; 및상기 실리콘을 상기 도가니에 공급하도록 상기 제 1 주입관의 선단에 형성되는 제 1 노즐;을 포함하는, 실리콘 잉곳 제조 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 도가니의 다른 타측에 실리콘을 주입할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 제 3 실리콘 공급기; 및상기 도가니의 또 다른 타측에 실리콘을 주입할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 제 4 실리콘 공급기;를 더 포함하는, 실리콘 잉곳 제조 장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 제 1 실리콘 공급기는,상기 도가니의 중심에서 제 1 방향으로 제 1 거리만큼 떨어진 위치에 실리콘을 공급하는 제 1 노즐을 포함하고,상기 제 2 실리콘 공급기는,상기 도가니의 중심에서 제 2 방향으로 상기 제 1 거리만큼 떨어진 위치에 상기 실리콘을 공급하는 제 2 노즐을 포함하고,상기 제 3 실리콘 공급기는,상기 도가니의 중심에서 제 3 방향으로 상기 제 1 거리만큼 떨어진 위치에 상기 실리콘을 공급하는 제 3 노즐을 포함하고,상기 제 4 실리콘 공급기는,상기 도가니의 중심에서 제 4 방향으로 상기 제 1 거리만큼 떨어진 위치에 상기 실리콘을 공급하며,상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향과 상기 제 3 방향 및 상기 제 4 방향은 등각 대칭되도록 서로 90도 각도를 이루는 것인, 실리콘 잉곳 제조 장치
8 8
제 1 항에 있어서,상기 실리콘 잉곳을 냉각할 수 있도록 상기 실리콘 잉곳의 주변에 설치되는 냉각 장치;상기 실리콘 용탕으로부터 방사되는 열을 차단하도록 상기 실리콘 잉곳 주변을 둘러싸고 상기 실리콘 잉곳과 상기 도가니 사이에 설치되는 실드;상기 실리콘 용탕과 상기 실리콘 잉곳의 경계면인 고액계면을 확인할 수 있도록 상기 챔버의 일측에 설치되는 센서; 및상기 도가니를 회전시키도록 상기 도가니의 하부에 설치되는 회전 장치;를 더 포함하는, 실리콘 잉곳 제조 장치
9 9
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10 10
삭제
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1 산업통상자원부 영남대학교산학협력단 지역특화산업육성 대경 태양전지/모듈 소재 공정 지역혁신센터