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동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 형성하기 위한 적어도 하나의 스퍼터링 소스의 스퍼터링을 물리적으로 차단하는 셔터부;상기 셔터부의 열림 동작 또는 닫힘 동작을 제어하는 제어부;상기 제어부의 제어에 따라 상기 셔터부의 열림 동작 또는 닫힘 동작 시간을 설정하는 타이머부; 및상기 셔터부를 열림 또는 닫힘으로 구동하는 액츄에이터부를 포함하는, 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 셔터부의 열림 동작 또는 닫힘 동작의 시간을 주기적으로 조절하는, 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 타이머부는, 상기 동작 시간을 초 또는 밀리초 단위로 설정할 수 있는, 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 스퍼터링 소스는, 상기 다성분계 박막을 구성하는 원소들 중 그 구성비가 다른 원소들에 비해 상대적으로 낮은 원소를 스퍼터링 하기 위한 소스인, 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 소스의 스퍼터링을 위해 전원을 제공하는 파워 서플라이부를 더 포함하는, 박막 증착 장치
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제5항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 파워 서플라이부를 주기적으로 온/오프(on/off)하는, 박막 증착 장치
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다성분계 박막을 형성하기 위한 적어도 하나의 스퍼터링 소스의 스퍼터링 시간을 설정하는 단계;상기 스퍼터링 시간에 따라 상기 적어도 하나의 스퍼터링 소스에 대응하는 셔터부의 동작을 구동하는 단계; 및상기 셔터부의 닫힘 동작에 따라 상기 스퍼터링 소스의 스퍼터링을 물리적으로 차단하는 단계를 포함하는, 동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 제조하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 스퍼터링 소스의 스퍼터링을 물리적으로 차단하는 단계는,상기 다성분계 박막을 구성하는 주 원소의 스퍼터링과 동시에 수행되는, 동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 제조하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 적어도 하나의 스퍼터링 소스의 스퍼터링 시간을 설정하는 단계는,상기 셔터부의 열림 동작 또는 닫힘 동작의 시간을 주기적으로 조절하는, 동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 제조하는 방법
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제9항에 있어서,상기 셔터부의 열림 동작 또는 닫힘 동작의 시간은 초 또는 밀리초 단위로 설정할 수 있는, 동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 제조하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 적어도 하나의 스퍼터링 소스는, 상기 다성분계 박막을 구성하는 원소들 중 그 구성비가 다른 원소들에 비해 상대적으로 낮은 원소를 스퍼터링 하기 위한 소스인, 동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 제조하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 적어도 하나의 스퍼터링 소스의 스퍼터링을 위해 전원을 제공하는 단계를 더 포함하는, 동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 제조하는 방법
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제12항에 있어서, 상기 전원을 주기적으로 온/오프(on/off)하는 단계를 더 포함하는, 동시 스퍼터링을 이용하여 다성분계 박막을 제조하는 방법
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