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시료가 배치되는 측정부;상기 측정부의 측면을 향하여 제 1 광을 제공하는 제 1 광학계;상기 측정부의 하면을 향하여 제 2 광을 제공하는 제 2 광학계;상기 측정부 상면 상에 배치되어 상기 측정부에 제 3 광을 제공하고, 상기 측정부에 입사된 상기 제 1 광 또는 상기 제 2 광에 의해 상기 시료로부터 얻어지는 제 1 광신호를 검출하는 제 3 광학계; 및상기 제 3 광학계가 제공한 상기 제 3 광에 의해 상기 시료로부터 얻어지는 제 2 광신호를 검출하는 검출 광학계를 포함하는 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 제 3 광학계는:상기 측정부를 향하는 첨단부가 테이퍼지고, 상기 측정부로부터 상기 제 1 광신호를 획득하는 파이버 프로브 팁;상기 광 프로브 팁과 연결되고, 상기 제 1 광신호를 전달하는 광 파이버; 및상기 광 파이버로부터 상기 제 1 광신호를 전달받는 수광 소자를 포함하는 현미경
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제 2 항에 있어서,상기 수광 소자는 광 증배관(photomultiplier tube, PMT) 또는 포토다이오드(APD)를 포함하는 현미경
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 광학계는:상기 제 3 광을 제공하는 제 3 광원;상기 제 3 광원이 제공하는 상기 제 3 광을 전달하는 광 파이버; 및 상기 제 3 광을 상기 측정부에 제공하고, 상기 측정부를 향하는 첨단부가 테이퍼진 파이버 프로브 팁을 포함하는 현미경
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5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 제 3 광학계의 위치를 이동시키는 피에조 주사장치를 더 포함하는 현미경
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6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 제 1 광학계는:상기 측정부에 상기 제 1 광을 제공하는 광원부; 및상기 제 1 광이 상기 측정부에 입사되는 입사각을 조절하는 각도 조절부를 포함하는 현미경
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7 |
7
제 6 항에 있어서,상기 각도 조절부는:상하 이동이 가능한 마이크로미터;상기 마이크로미터에 연결된 돌출부;상기 돌출부와 물리적으로 연결되는 지렛대; 및상기 지렛대와 연결되어 상기 광원부의 각도를 조절하는 측각기를 포함하는 현미경
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8 |
8
제 6 항에 있어서,상기 광원부는:상기 제 1 광을 제공하는 제 1 광원;상기 제 1 광을 시준하는 시준기; 상기 측정부로 상기 제 1 광을 반사하는 반사경; 및상기 시준기와 상기 반사경 사이에 배치되는 필터부를 포함하는 현미경
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9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 측정부는 슬라이드 글라스, 프리즘 또는 슬라이드 글라스와 프리즘이 결합된 것 중 하나인 현미경
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10
제 9 항에 있어서,상기 프리즘은 1
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11
제 1 항에 있어서,상기 검출 광학계는:적어도 하나의 경통;상기 경통 상의 적어도 하나의 접안 렌즈; 및상기 접안 렌즈 상의 촬상 소자를 포함하는 현미경
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12 |
12
제 11 항에 있어서,상기 검출 광학계와 상기 제 2 광학계를 연결하는 연결부; 및 상기 연결부와 상기 측정부 사이에 제공되는 대물렌즈를 더 포함하는 현미경
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13 |
13
제 1 항에 있어서,촬상 소자;상기 측정부를 향하도록 배치되는 조명 장치; 및상기 촬상 소자 및 상기 조명 장치의 위치를 조절하는 조명 스테이지를 더 포함하는 현미경
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14 |
14
하우징의 상면 상에 배치되는 측정부;상기 하우징의 상면에 결합되는 각도 조절부;상기 각도 조절부와 접촉하고, 상기 하우징의 측벽에 결합되어 상기 측정부의 측면을 향하여 제 1 광을 제공하는 광원부;상기 측정부의 하면을 향하여 제 2 광을 제공하는 하부 광학계; 상기 측정부 상면 상에 배치되어 상기 측정부에 제 3 광을 제공하고, 상기 측정부에 상기 제 1 광 또는 상기 제 2 광을 전달받아 상기 시료로부터 얻어지는 제 1 광신호를 검출하는 상부 광학계;상기 상부 광학계가 제공한 상기 제 3 광을 전달받아 상기 시료로부터 얻어지는 제 2 광신호를 검출하는 검출 광학계; 및상기 검출 광학계 및 상기 상부 광학계를 이동시키는 스테이지를 포함하고,상기 상부 광학계는:광학부;상기 광학부와 연결되는 광 파이버; 및상기 광 파이버와 연결되고, 상기 측정부를 향하는 첨단부가 테이퍼지는 파이버 프로브 팁을 가지는 현미경
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15
제 14 항에 있어서,상기 광학부는 상기 제 2 광에 의해 상기 시료로부터 얻어지는 상기 제 1 광신호를 상기 광 파이버로부터 전달받는 수광 소자인 현미경
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제 14 항에 있어서,상기 광학부는 상기 제 3 광을 제공하는 광원인 현미경
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제 14 항에 있어서,상기 파이버 프로브 팁은 상기 측정부를 향하는 첨단부가 테이퍼지고, 상기 첨단부의 직경이 100nm 이하인 현미경
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18
시료가 배치되는 측정부;상기 측정부의 상면 상에 배치되고, 상기 측정부에 입사광을 제공하는 입사 광학계; 및상기 측정부의 하면 상에 배치되고, 상기 광학계가 제공하는 상기 입사광을 통해 상기 시료로부터 얻어지는 광신호를 검출하는 검출 광학계를 포함하고,상기 입사 광학계는:광원;상기 광원이 제공하는 상기 입사광을 전달하는 광 파이버; 및 상기 입사광을 상기 측정부에 제공하고, 상기 측정부를 향하는 첨단부가 테이퍼지는 파이버 프로브 팁을 가지는 현미경
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19
제 18 항에 있어서,상기 검출 광학계는:대물 렌즈;상기 대물 렌즈와 연결되는 적어도 하나의 경통;상기 경통 상의 적어도 하나의 접안 렌즈; 및상기 접안 렌즈 상의 촬상 소자를 포함하는 현미경
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