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가속기에서 조사된 입자빔의 이동 경로 상에 배치되어 상기 입자빔이 표적에 미리 설정된 패턴으로 분포되게 스캐닝하는 입자빔의 스캐닝장치로서,상기 입자빔이 통과할 수 있게 중앙에 입자빔통과공이 구비되고, 각각의 방향으로 착자된 자극을 구비하여 상기 입자빔통과공의 내부의 입자빔이 중심에서 일 측으로 이동되게 상기 입자빔의 이동경로를 조절하는 자기력이 형성될 수 있게 상기 입자빔통과공의 둘레에 할바흐 다이폴 배열(Halbach dipole array)을 이루게 배치되는 복수의 영구자석을 구비한 영구자석조립체;상기 영구자석조립체를 회전 가능하게 지지하는 회전지지부; 상기 영구자석조립체를 회전 구동시키는 구동부;상기 가속기의 동작 신호를 입력하는 신호입력부; 및상기 신호입력부의 신호 입력 시 상기 입자빔통과공을 통과한 입자빔이 상기 표적에 원주를 따라 분포된 핫스팟을 형성할 수 있게 상기 영구자석조립체가 적어도 1 회전될 수 있게 상기 구동부를 제어하는 제어부;를 포함하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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제1항에 있어서,상기 회전지지부는, 중공을 구비하여 상기 입자빔통과공의 내부에 삽입되는 수평지지부; 및 상기 수평지지부에서 하향 연장되어 상기 수평지지부를 바닥으로부터 이격지지하는 수직지지부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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제1항 또는 제3항에 있어서,상기 구동부는, 상기 영구자석조립체의 일 측에 구비되는 구동모터; 및 상기 구동모터의 회전력을 상기 영구자석조립체에 전달하는 동력전달부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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제4항에 있어서,상기 동력전달부는, 상기 구동모터의 회전축에 구비되는 구동풀리; 및 일 측은 상기 구동풀리에 결합되고 타 측은 상기 영구자석조립체의 둘레면에 결합되는 벨트;를 포함하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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가속기에서 조사된 입자빔의 이동 경로 상에 배치되어 상기 입자빔이 표적에 미리 설정된 패턴으로 분포되게 스캐닝하는 입자빔의 스캐닝장치로서,상기 입자빔이 통과할 수 있게 중앙에 입자빔통과공이 구비되고, 각각의 방향으로 착자된 자극을 구비하여 상기 입자빔통과공의 내부의 입자빔이 중심에서 일 측으로 이동되게 상기 입자빔의 이동경로를 조절하는 자기력이 형성될 수 있게 상기 입자빔통과공의 둘레에 할바흐 다이폴 배열(Halbach dipole array)을 이루게 배치되는 복수의 영구자석을 구비한 영구자석조립체; 상기 입자빔이 통과할 수 있게 중앙에 입자빔통과공이 구비되고, 각각의 방향으로 착자된 자극을 구비하여 상기 입자빔통과공의 내부의 입자빔이 중심에서 일 측으로 이동되게 상기 입자빔의 이동경로를 조절하는 자기력이 형성될 수 있게 상기 입자빔통과공의 둘레에 할바흐 다이폴 배열(Halbach dipole array)을 이루게 배치되는 복수의 영구자석을 구비하고, 상기 입자빔의 이동 경로를 따라 상기 영구자석조립체의 일 측에 구비되는 제2영구자석조립체;상기 영구자석조립체를 회전 구동시키는 구동부;상기 제2영구자석조립체를 회전 구동시키는 제2구동부; 상기 가속기의 동작 신호를 입력하는 신호입력부; 및 상기 신호입력부의 신호 입력 시 상기 제2영구자석조립체의 입자빔통과공을 통과한 입자빔이 상기 표적에 원주를 따라 분포된 핫스팟을 형성할 수 있게 상기 영구자석조립체 및 상기 제2영구자석조립체가 적어도 1 회전될 수 있게 상기 구동부 및 제2구동부를 제어하는 제어부;를 포함하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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제7항에 있어서,상기 제2영구자석조립체는 상기 입자빔의 이동방향을 따라 상기 영구자석조립체의 후방에 배치되고,상기 영구자석조립체를 회전 가능하게 지지하는 회전지지부; 및상기 제2영구자석조립체를 회전 가능하게 지지하는 제2회전지지부;를 더 포함하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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제9항에 있어서,상기 제어부는 상기 영구자석조립체에 의한 입자빔의 경로조절방향과 상기 제2영구자석조립체에 의한 입자빔의 경로조절방향이 달라지게 상기 영구자석조립체 및 상기 제2영구자석조립체가 상대 회전되게 상기 구동부 및 제2구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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제7항, 제9항 및 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는 상기 영구자석조립체에 대한 상기 제2영구자석조립체의 상대 위치 조절 후, 상기 영구자석조립체 및 상기 제2영구자석조립체가 미리 설정된 동일 회전 방향 및 동일 회전 속도로 회전되게 상기 구동부 및 제2구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치
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