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입사 레이저 빔의 품질을 향상시키기 위한 장치에 있어서,상기 입사 레이저 빔의 파면 점 영상을 측정하고 측정된 상기 파면 점 영상으로부터 파면 왜곡 정보를 추출하는 파면측정부;상기 파면측정부에서 측정한 상기 파면 점 영상에서 파면 정보가 없는 무정보 영역이 존재하는지 판별하는 무정보 판별기, 및 무정보 영역이 있을 경우 보간법을 이용하여 상기 무정보 영역을 보간함으로써 상기 파면 왜곡 정보를 업데이트하는 무정보 영역 보간기를 포함하여 이루어지는 능동적 파면정보 추출부;상기 무정보 판별기로부터 상기 무정보 영역의 존재 여부를 수신하여 무정보 영역이 존재하면 조날 제어모드로 제어모드를 설정하고, 무정보 영역이 존재하지 않으면 기설정된 제어모드를 유지하는 방식으로 보정 방법을 선택하는 능동적 보정모드 선택부;상기 능동적 보정모드 선택부로부터 전달된 파면 왜곡 정보를 바탕으로 파면보정부에 인가할 보정 전압 배열을 계산하는 제어부; 및각 구동축에 인가되는 상기 보정 전압 배열에 따라 형상이 변화되는 변형거울, 및 상기 제어부에서 계산된 상기 보정 전압 배열을 상기 구동축에 인가하여 상기 변형거울을 구동하는 변형거울 드라이버,로 구성되어, 상기 입사 레이저 빔의 파면 왜곡을 보정하는 파면보정부;를 포함하여 이루어지는 레이저 빔 품질 향상 장치
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제 1항에 있어서,상기 제어부에서 계산한 상기 보정 전압 배열에 포화 전압이 존재할 경우 상기 파면보정부에 인가할 전압을 재계산하여 2차 보정 전압 배열을 생성하는 능동적 보정전압 계산부;를 더 포함하여 이루어지는 레이저 빔 품질 향상 장치
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제 3항에 있어서, 상기 능동적 보정전압 계산부는,상기 제어부에서 계산된 상기 보정 전압 배열에서 포화 전압이 존재하는지 여부를 판별하는 포화 전압 판별기,포화 전압이 존재할 경우 해당 위치의 상기 구동축에 대한 고유값을 0 또는 전체 고유값 평균의 10% 이하인 값으로 설정하는 고유값 제어기, 및포화 전압이 존재할 경우 상기 보정 전압 배열을 재계산하여 상기 2차 보정 전압 배열을 생성하고 상기 파면보정부로 전달하는 보정전압 재계산기,를 포함하여 이루어지는 레이저 빔 품질 향상 장치
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제 1항에 있어서,상기 입사 레이저 빔의 파면 왜곡을 보정하기 전에 상기 레이저 빔 품질 향상 장치의 성능을 파악하는 사전 검사부;를 포함하여 이루어지는 레이저 빔 품질 향상 장치
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제 5항에 있어서, 상기 사전 검사부는,상기 파면측정부와 상기 파면보정부의 정렬 틀어짐 정보를 제공하는 사전 정렬 검사기를 포함하며,상기 사전 정렬 검사기는 상기 변형거울 구동축의 고유값들의 무게중심 이동량을 이용하여 정렬 틀어짐 정보를 제공하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 품질 향상 장치
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제 5항에 있어서, 상기 사전 검사부는,상기 변형거울 각 구동축의 포화 민감도를 제공하는 국소포화 감시기를 포함하며,상기 국소포화 감시기는 역영향함수에서 상기 각 구동축의 실효치 값을 이용하여 상기 각 구동축의 전압값 포화 민감도 정보를 제공하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 품질 향상 장치
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제 1항에 있어서, 상기 파면측정부는,상기 입사 레이저 빔을 각 하부 개구(sub-aperture) 별로 분할하여 집속하는 배열렌즈, 및각 하부 개구 별로 분할된 상기 입사 레이저 빔의 광 신호를 전기적 신호로 변환하여 상기 파면 점 영상을 생성하는 2차원 영상센서를 포함하여 상기 파면 점 영상에서 각 하부 개구 별로 파면 왜곡 정보를 추출하는 파면센서,로 이루어지는 레이저 빔 품질 향상 장치
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